专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种低成本碳化钽涂层的制备方法-CN201611179306.3在审
  • 袁振洲;刘欣宇;何丽娟 - 北京世纪金光半导体有限公司
  • 2016-12-19 - 2017-05-24 - C04B41/50
  • 本发明公开了一种低成本碳化钽涂层的制备方法,所述方法为首先对基体进行预处理,然后采用碳化钽、烧结助剂、粘接剂与溶剂配置悬浊液,将悬浊液均匀喷涂或刷涂于所述基体表,最后将喷好或刷好涂层的基体进行预温与烧结处理本发明可以在基体表包敷一层完全致密结构的TaC涂层,该涂层可以使基体表受到很大程度的隔离与保护;可用于晶体、半导体生产用装置或部件的高性能涂层的制备,防止晶体生长时装置或部件表层颗粒进入晶体内,进而造成晶体缺陷与CVD沉积技术相比,本发明工艺过程成本低、相对简单,易操作,重复性好,可直接在材料表面形成成致密、无裂纹的涂层。
  • 一种低成本碳化涂层制备方法
  • [实用新型]一种变桨系统调试器-CN202221272599.0有效
  • 吴飞;吴廷波 - 上海溥灵能源科技集团有限公司
  • 2022-05-25 - 2022-11-22 - F03D7/00
  • 本实用新型公开了一种变桨系统调试器,包括调试器本体,所述调试器本体外表面的一侧开设有滑槽,所述滑槽的内壁滑动连接有盖板,所述盖板的一侧面固定连接有固定柱,所述固定柱的外表面插接有螺纹杆,所述螺纹杆内壁的一侧面滑动连接有定位杆,所述螺纹杆的外表面螺纹连接有螺纹板。该一种变桨系统调试器,通过盖板对调试器本体表晶体屏进行遮挡,然后固定柱插入到调试器本体额内部,然后固定柱通过螺纹杆进行固定,实现将盖板固定在调试器本体表,从而实现对调试器本体表晶体屏进行保护,避免晶体屏受到碰撞,达到解决现有的调试器使用后,晶体屏和操作界面均暴露在外侧,容易受到外界的撞击,导致调试器损毁的问题。
  • 一种系统调试
  • [实用新型]一种用于提升晶片晶向角度的工装-CN202121888235.0有效
  • 许子俊;马曾增;陈伟 - 江苏中科晶元信息材料有限公司
  • 2021-08-12 - 2022-01-07 - B24B19/22
  • 本实用新型涉及一种用于提升晶片晶向角度的工装,包括水平设置在晶向角度磨削机上的底座,所述底座上表面等距开设有晶体放置槽,所述底座上方设有X轴总成,所述X轴总成上设有激光测距仪。该用于提升晶片晶向角度的工装,通过气缸推动有效的提高磨削速度,通过底座在晶体行走的方式,判断晶体基准面是否垂直,以保证晶体的完好无损,同时激光测距仪使测量速度增快,加工精度高,精度可达到±3′,确保了晶体晶向角度的高精度及表面高品质,符合加工要求,使晶片表面无明显切割痕迹,高平整度可控制在±3′,确保成品率及其稳定性,不会对晶体产生划痕、压碎、磕边、污染等不良现象。
  • 一种用于提升晶片角度工装

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