专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种半导体原料研磨设备-CN202211738770.7有效
  • 唐玉金 - 汉斯半导体(江苏)有限公司
  • 2022-12-31 - 2023-10-27 - B24B37/00
  • 本发明公开了一种半导体原料研磨设备,其包括研磨组件和锁定组件,所述研磨组件包括安装板、第一固定管、转轴和磨砂轮,所述安装板外侧固定连接第一固定管外壁,第一固定管内壁转动连接转轴,转轴底壁固定连接磨砂轮;所述锁定组件包括主轴、卡板、连接板和第一伸缩杆,所述主轴底端固定连接安装板上表面。卡板上的限位槽能够卡在方杆段上,对方杆段转动的角度进行限位,保证方杆段或主轴转动的角度为90°,以提高安装板转动90°时,将下一个磨砂轮移动到研磨半导体原料的位置的精度,进一步提高打研磨的精度,避免由于新旧磨砂轮的位置存在偏差,半导体原料表面精度造成影响。
  • 一种半导体原料研磨设备
  • [实用新型]一种金属材料的研磨加工装置-CN202321222393.1有效
  • 刘月;陈琪;张炼 - 度边电子科技(黄石)有限公司
  • 2023-05-19 - 2023-10-27 - B24B37/00
  • 本实用新型公开了一种金属材料的研磨加工装置,涉及研磨装置技术领域,包括台体和研磨盘;台体:底面设有箱体,所述台体的顶面固定有支架,所述支架内部的左右两侧面均安装有主直线电机,所述主直线电机动子座的内侧面与固定架的端部连接,所述台体的顶面开设有研磨槽,所述研磨盘转动连接在研磨槽的内部,所述箱体内部的顶面固定有电机,所述电机输出轴的顶端与研磨盘底面的中部连接,支架的顶面设有模拟单元,台体的后侧面设有清理单元,固定架的内部设有限位单元;其中:还包括控制器,控制器设在台体的前侧面,主直线电机和电机的输入端电连接控制器的输出端,该金属材料的研磨加工装置,清理方便,研磨效果好。
  • 一种金属材料研磨加工装置
  • [发明专利]一种磁芯中柱气隙研磨设备-CN202311071644.5在审
  • 陈红;蒋兵 - 东莞市顺通机械有限公司
  • 2023-08-24 - 2023-10-24 - B24B37/00
  • 本发明属于磁芯加工设备技术领域,尤其为一种磁芯中柱气隙研磨设备,包括:研磨台,所述研磨台上方设有安装盒,所述安装盒上转动设有研磨轮,所述安装盒内固定设有用于带动研磨轮转动的研磨电机;固定机构,设于所述研磨台上,用于将待研磨加工的磁芯以其上侧面为研磨基准面固定;升降机构,设于所述研磨台上,用于带动所述研磨轮上下移动以将磁芯研磨以及复位;通过固定机构将待研磨加工的磁芯以其上侧面为研磨基准面固定,然后启动研磨电机带动研磨轮转动,随后通过升降机构带动研磨轮下移与磁芯上侧面接触开始研磨,直至将磁芯中环研磨至设定深度,操作简单,使用方便,有效提高磁芯中柱气隙研磨精度,保证加工良率。
  • 一种磁芯中柱气隙研磨设备
  • [发明专利]一种用于金刚石涂层刀具的预处理设备-CN202310958298.6在审
  • 李洪文;阮宇翔;裘剑锋 - 绍兴文理学院
  • 2023-07-31 - 2023-10-24 - B24B37/00
  • 本发明提供一种用于金刚石涂层刀具的预处理设备,包括工作台、第一转轴、电机和研磨液桶,所述工作台上开设有限位槽,所述研磨液桶固定设置于限位槽内,所述研磨液桶的内圆面上开设有若干转动插孔,所述第一转轴贯穿工作台设置于所述研磨液桶内,所述第一转轴位于研磨液桶内的一端固定连接有研磨机构。本方案通过电机驱动转动研磨盘在以第一转轴为轴芯转动的同时进行自转,并通过于转动研磨盘上开设多个刀柄限位孔用于固定刀具的方式,使多个刀具通过一道工序完成预处理并同时得到研磨液的充分研磨,从而达到提升研磨效率的目的。
  • 一种用于金刚石涂层刀具预处理设备
  • [发明专利]一种CMP的晶圆信息匹配方法、装置、终端、介质、设备-CN202210332613.X在审
  • 鲁容碩 - 成都高真科技有限公司
  • 2022-03-31 - 2023-10-24 - B24B37/00
  • 本发明公开了一种CMP的晶圆信息匹配方法、装置、终端、介质、设备,方法,包括建立查阅表,确定晶圆ID,并将其填入查阅表,确定晶圆批号,并将其填入查阅表,在查阅表中将晶圆ID与晶圆批号绑定,获取待确认晶圆的晶圆ID,阅表内的晶圆批号匹配,并输出对应的匹配信息;装置包括依次连接的视觉传感器、工具服务器、主机服务器;本发明通过获取晶圆的晶圆ID,同时建立查阅表,并将查阅表内将晶圆ID与晶圆批号匹配,从而在后续的加工中,通过采集晶圆的图像数据,并将图像中获取晶圆ID,然后通过晶圆ID即可以获取与之匹配的晶圆批号,从而避免了需要将晶圆批号蚀刻在晶圆上。
  • 一种cmp信息匹配方法装置终端介质设备
  • [实用新型]一种研磨机构及半导体晶体处理一体化装置-CN202320998155.3有效
  • 刘砚滨;于会永;赵春锋;赵中阳 - 南京集溢半导体科技有限公司
  • 2023-04-27 - 2023-10-24 - B24B37/00
  • 本实用新型公开了一种研磨机构及半导体晶体处理一体化装置,包括研磨单元,包括第一箱体、设置于第一箱体内部的升降组件,以及设置于第一箱体上表面的研磨组件;第一箱体上设有贯穿的开孔,开孔正对研磨组件;清洗单元,包括设置于第一箱体上表面一端的第一电动推杆、设置于第一箱体内部的污水回收箱,以及正对于电动推杆的清洗组件;收料单元,包括第二箱体,以及设置于第二箱体内部的收料组件;清洗单元与收料单元联通设置。本实用新型的有益效果为本实用新型能对研磨过程中的晶圆及研磨组件进行限位,提高研磨效率,同时机构实现对晶圆的研磨清洗及收料等工序进行集成,大大减轻了工作人员的工作量,进一步降低了人工成本。
  • 一种研磨机构半导体晶体处理一体化装置
  • [实用新型]一种连续加工的冲子研磨机-CN202321109933.5有效
  • 李治坤 - 昆山福尔瑞精密模具有限公司
  • 2023-05-10 - 2023-10-20 - B24B37/00
  • 本实用新型公开了一种连续加工的冲子研磨机,属于冲子研磨领域,包括工作台,工作台的上端贴安装有用于驱动冲子旋转的研磨驱动组件,所述工作台的上端安装有用于压紧工件的压紧组件,所述工作台的上端安装有用于自动上下料的上料组件,所述上料组件位于底座的后方。通过上述方式,电机的转动带动主轮左和主轮右的旋转,可以控制启停,由于电机仅通过一个旋转杆就可以同时带动两个主轮同向匀速转动,提升了工件研磨时的精准度,通过第二气缸带动压轮下压,给予工件恒定的压力,通过旋转气缸可以对上料块在一定角度范围内旋转,实现上料的全自动化,增加了冲子研磨机工作的连续性。
  • 一种连续加工冲子研磨机
  • [实用新型]一种自动化高效半导体研磨机-CN202321175926.5有效
  • 常梁俊 - 苏州浚泰新能源设备有限公司
  • 2023-05-16 - 2023-10-20 - B24B37/00
  • 本实用新型公开了一种自动化高效半导体研磨机,包括研磨机主体,所述研磨机主体的后端定位安装有支撑座,所述支撑座上的前端位置开设有滑轨,所述滑轨上活动设置有研磨控制机构,所述研磨机主体上端开设有研磨槽,研磨槽上活动安装有研磨盘,研磨机主体的外侧定位有研磨液箱,研磨液箱连接有研磨液喷射器。本实用新型所述的一种自动化高效半导体研磨机,设有多功能切换式研磨机构与研磨液喷射机构,能够方便在进行研磨的时候对零件进行吸附上料与负压研磨切换操作,研磨机构反向旋转,且设置两组研磨器,其中一组是吸附上料与负压研磨,另一组是对研磨盘进行修复,保证精度,工作更为稳定,同时喷射研磨液,增加研磨效果。
  • 一种自动化高效半导体研磨机
  • [实用新型]一种机械加工研磨装置-CN202320623421.4有效
  • 孔敏;张建飞 - 沅江市经昌工贸有限公司
  • 2023-03-27 - 2023-10-20 - B24B37/00
  • 本实用新型公开了一种机械加工研磨装置,涉及机械加工设备技术领域;而本实用新型包括底板,底板的上表面固定设有气缸,气缸的输出端设有矩形板,矩形板的上表面固定设有第一电机,第一电机的输出端设有第一连接杆,第一连接杆贯穿矩形板,第一连接杆的下端固定设有打磨盘,底板的上表面固定设有固定块,本实用新型可将需要加工的工件放置在支撑板的上表面,之后通过开启电动伸缩杆使其推动其中一个夹块向支撑板的中部移动,通过滑块使其中一个齿板移动,从而带动与其啮合的齿轮转动,齿轮带动另一齿板向中间移动,通过另一滑块配合另一穿槽从而使另一夹块也向中间移动,从而夹持固定住工件,可防止其在研磨的过程中发生移动。
  • 一种机械加工研磨装置
  • [实用新型]一种便捷高效石材研磨机-CN202320908371.4有效
  • 许登伟;许辉 - 晋江伟业机械有限公司
  • 2023-04-21 - 2023-10-20 - B24B37/00
  • 本实用新型涉及一种便捷高效石材研磨机,属于石材研磨技术领域,包括机台、升降气缸和加工放置台,升降气缸固定安装在机台的顶部,加工放置台固定安装在升降气缸的顶部,机台的顶部固定安装有支撑杆,支撑杆的一端上固定安装有顶部支架,顶部支架内移动安装有安装板,安装板的顶部固定安装有方向切换电机,方向切换电机的输出轴上固定安装有连接罩,连接罩的底部固定安装有U形板,U形板的底部设置有固定板,固定板上固定安装有手把,固定板的顶部固定安装有研磨电机,研磨电机的输出轴上设置有研磨组件,当待研磨的石材较宽时,通过效率增加组件可增加第一研磨盘的研磨面积,以提高对石材的研磨效率,且研磨电机可取下单独使用,方便快捷。
  • 一种便捷高效石材研磨机
  • [发明专利]一种氮化镓多基片研磨设备和方法-CN202311041449.8在审
  • 赵少峰;谢勇 - 东科半导体(安徽)股份有限公司
  • 2023-08-16 - 2023-10-13 - B24B37/005
  • 本发明实施例涉及一种氮化镓多基片研磨设备和方法。设备包括:多片研磨载台同时容纳多片GaN衬底;加热系统对多片研磨载台和多片研磨载台上承载的GaN衬底加热;磨片盘设置于多片研磨载台的上方,对多片研磨载台上承载的GaN衬底进行研磨;磨片盘的中心设有液体供给管路;研磨液供给系统和清洗液供给系统分布包括研磨液储存罐、泵、流量计和控制阀,研磨液供给系统通过液体供给管路将研磨液输送至磨片盘与GaN衬底之间;清洗液供给系统通过液体供给管路将清洗液输送至磨片盘与GaN衬底之间;氧化气氛供给装置用于在研磨过程中提供可控的氧化环境;多片研磨载台、加热系统、磨片盘、研磨液供给系统、清洗液供给系统和氧化气氛供给装置与控制系统相连。
  • 一种氮化镓多基片研磨设备方法
  • [发明专利]使用神经网络的光谱监测-CN202310801698.6在审
  • B·切里安 - 应用材料公司
  • 2017-11-22 - 2023-10-03 - B24B37/005
  • 处理基板的方法包括以下步骤:使基板经受修改所述基板的外层的厚度的处理,在处理期间测量从所述基板反射的光的光谱,缩减测得的光谱的维度以产生多个分量值,使用人工神经网络产生表征值,以及基于所述表征值来确定停止处理所述基板或调整处理参数中的至少一个。所述人工神经网络具有接收所述多个分量值的多个输入节点、输出所述表征值的输出节点以及将所述输入节点连接至所述输出节点的多个隐藏节点。
  • 使用神经网络光谱监测
  • [发明专利]一种便于定位的自动钻针研磨机-CN202311004353.4在审
  • 张辉;张伟 - 惠州市伟业鑫电子有限公司
  • 2023-08-09 - 2023-10-03 - B24B37/00
  • 本发明公开了一种便于定位的自动钻针研磨机,包括工作台,所述工作台上通过第一气缸连接有研磨件,所述工作台的上端水平滑动连接有由第二气缸驱动的安装板,所述安装板上贯穿转动连接有多个由驱动组件驱动转动的安装筒,多个所述安装筒的内径不同。本发明结构设计合理,通过两个第一夹持板和两个第二夹持板共同作用,能够将不同尺寸的钻针稳定定位,避免其发生晃动现象,有利于研磨工作的进行,研磨过程中,安装筒转动能够调节钻针角度,研磨工作完成后,将U型板从对应的卡口内拉出,第一弹簧能够推动推板向安装筒外滑动,将钻针从安装筒内推出,便于将钻针取出,操作简便,工作效率及研磨质量较高。
  • 一种便于定位自动研磨机

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