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[发明专利]蓝宝石长晶炉置换坩埚装置及方法-CN201710148520.0有效
发明人：徐永亮;于海群 -专利权人：内蒙古恒嘉晶体材料有限公司
申请日： 2017-03-14 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：本申请实施例公开一种蓝宝石长晶炉置换坩埚装置及方法，该装置包括晶体生长室和坩埚置换室，晶体生长室设置于坩埚置换室的顶部，晶体生长室的底部与坩埚置换室连通，晶体生长室与坩埚置换室相连通的区域设置有开合部件；坩埚置换室内部设置有冷却平台、换料平台、上下料平台以及坩埚运送组件；通过本申请实施例提供的蓝宝石长晶炉置换坩埚装置及方法，可在坩埚置换室内，对装有退火后的高温晶体的坩埚与装有原料的坩埚进行置换，将装有原料的坩埚置换入长晶炉后直接升温、长晶；置换出的装有退火后的高温晶体的坩埚，可在坩埚置换室内自然冷却，缩短现有技术中，晶体自然冷却以及取坩埚所需要的时间，提升蓝宝石长晶炉的稼动率。
蓝宝石长晶炉置换坩埚装置方法

[发明专利]一种宝石炉炉底板及其加工工艺-CN202310974906.2有效
发明人：潘燕萍 -专利权人：常州市乐萌压力容器有限公司
申请日： 2023-08-04 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：本发明属于宝石炉加工技术领域，尤其涉及一种宝石炉炉底板及其加工工艺。该宝石炉炉底板应用于炉体中，所述炉体的内部设置有炉腔；该宝石炉炉底板包括：炉底板主体，所述炉底板主体与炉腔的内壁固定连接；冷却水套，所述冷却水套位于炉腔的内部设置；进水管，所述进水管与冷却水套的下表面固定连接；出水管，所述出水管与冷却水套的下表面固定连接；从而可以达到快速拆装的效果，进而实现方便清理水垢的效果，避免水垢腐蚀设备，随即通过进水管和出水管的相互配合使得冷却水套内通水对炉底板主体进行降温，避免炉底板主体因高温导致变形，无法承载内部宝石加工，保证炉体内部受热温度均匀，保证宝石晶体的生长及品质。
一种宝石底板及其加工工艺

[发明专利]蓝宝石炉晶体生长提拉机构-CN201410767368.0有效
发明人：刘海;贺贤汉;和野贵之;陆春生;叶国卿 -专利权人：上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2015-08-03 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：本发明蓝宝石炉晶体生长提拉机构，包括：机架，在机架内穿设有支撑轴；直线模组，直线模组设置在机架上，在直线模组上设有提拉伺服马达机构；提拉基座，提拉基座设置在直线模组上，提拉基座与提拉伺服马达机构连接；承重头，承重头的一端通过转轴与提拉基座转动连接；承重杆，承重杆通过紧固螺栓与承重头固定；提拉轴座，提拉轴座套设在承重杆的外侧，在提拉轴座上设有回旋接头，回旋接头与回旋伺服马达连接；提拉轴，提拉轴穿设于提拉轴座，提拉轴的一端与回旋接头连接；称重计，称重计设置在提拉基座上，称重计前端的调节称重压头与承重头的另一端贴合。本发明籽晶容易调整籽晶位置，满足晶体生长各种工艺要求。
蓝宝石晶体生长机构

[发明专利]一种宝石炉下炉室及其加工工艺-CN202310896091.0有效
发明人：潘燕萍 -专利权人：常州市乐萌压力容器有限公司
申请日： 2023-07-21 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：本发明属于物质生长炉技术领域，尤其涉及一种宝石炉下炉室及其加工工艺，该宝石炉下炉室包括内筒体和外筒体，所述内筒体和外筒体的顶端和底端固定连接有连接环，所述内筒体和外筒体之间设置有夹层，所述夹层内设置有水道；一组通风管，一组所述通风管与外筒体的外侧壁固定连接；在下炉室内温度过高时，可以启动电机，使得电机的输出端带动抽气扇叶进行转动，这时可以借助驱动机构将密封板打开，然后抽气扇叶可以将夹层内的热气抽走，提高对夹层内进行的散热效果，达到对下炉室内散热的作用，对下炉室降温完成后，密封板可以对通风管进行密封，防止下炉室在进行升温时，会有热量从通风管散发出去，影响到下炉室的升温效率。
一种宝石炉下炉室及其加工工艺

[发明专利]一种蓝宝石晶体炉侧屏结构-CN202310783962.8在审
发明人：侯绍刚;宋旭波;韩阳阳;魏超;杜迎虎;曲绍兵;刘云鹏;高贯涛;马永生 -专利权人：山东新升光电科技有限责任公司
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：本发明涉及蓝宝石晶体生长技术领域，公开了一种蓝宝石晶体炉侧屏结构，所述筒套机构以插放形式插合于底座机构的支座上方，所述第一侧屏机构的数量为多组，且多组第一侧屏机构以相互对夹的方式吊放安装于筒套机构的外腔室，所述第二侧屏机构的数量为多组，且多组第二侧屏机构以相互堆放的方式吊放安装于筒套机构的内腔室。本发明取代了传统一体安装的钼屏形式，具有良好的拆卸、拼装性能，当第一侧屏机构、第二侧屏机构中的钼屏在长久高温作用下出现损坏时，可独立对损坏部位进行拆装更换，无需整体拆装更换，其一方面能够降低拆装更换成本，另一方面拆装简单、便捷，操作强度较低。
一种蓝宝石晶体炉侧屏结构

[发明专利]一种表面图案化的多孔单晶材料及其制备方法和应用-CN202110048643.3有效
发明人：谢奎;程方圆 -专利权人：中国科学院福建物质结构研究所
申请日： 2021-01-14 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种表面图案化的多孔单晶材料及其制备方法和应用，所述表面图案化的多孔单晶材料中含有10nm～1000nm的孔。本申请中所述材料具有自支撑结构，为块状单晶时，作为一种新材料，在催化或基件材料中都有潜在的应用。
一种表面图案多孔材料及其制备方法应用

[发明专利]一种利用蓝宝石衬底错切角提高氮化硼外延厚层晶体质量的方法-CN202310574246.9在审
发明人：张纪才;鲁勇;刘婷;陈明昊 -专利权人：北京化工大学
申请日： 2023-05-22 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用蓝宝石衬底错切角提高氮化硼外延厚层晶体质量的方法，通过高温低压氢化物/卤化物气相外延法，以三氯化硼和氨为气源，采用具有c面偏向m面0.1°蓝宝石衬底进行外延生长六方氮化硼层。高温低压的条件有助于外延厚膜的快速沉积，利用具有错切角的蓝宝石作为异质衬底，有助于缓解异质衬底与外延层之间的晶格常数失配和热失配，从而可以减少外延层中的位错密度、释放外延层中的残余应力，最终达到提高六方氮化硼晶体质量的目的。
一种利用蓝宝石衬底切角提高氮化外延晶体质量方法

[发明专利]一种液相法生长碳化硅单晶的装置-CN202310677183.X在审
发明人：张泽盛;张广宇;韩永超 -专利权人：北京晶格领域半导体有限公司
申请日： 2023-06-08 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种液相法生长碳化硅单晶的装置，包括生长坩埚、籽晶杆、感应加热装置和可提供生长原料的物料块；生长坩埚包括坩埚主体和坩埚盖，坩埚主体装盛有生长原料，坩埚盖具有开口，籽晶杆用于固定籽晶的一端通过开口伸入坩埚主体内部；所述物料块的密度小于液态的生长原料的密度，所述物料块浮在液态的生长原料液面。本发明中的装置能够缩短供碳距离，并为碳化硅单晶生长过程提供充足且长时间稳定的碳源，大幅度地减少包裹物的产生，有效提高了单晶生长质量，同时还有效地抑制了坩埚壁被熔穿，防止了助溶液泄漏影响温场、甚至损毁单晶炉的情况发生。
一种液相法生长碳化硅装置

[发明专利]一种拉晶设备-CN202210143359.9在审
发明人：李岩;葛壮;陈召彬;胡文祥;李万朋;杨永远 -专利权人：连城凯克斯科技有限公司
申请日： 2022-02-16 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种拉晶设备，涉及蓝宝石晶体生长技术领域，提拉装置与炉盖连接，且部分穿设于炉盖；在提拉装置处于第一状态时，提拉装置与炉盖相对固定，此时，提拉装置可带动炉盖沿第一方向与炉体相对移动。在提拉装置处于第二状态时，提拉装置与炉盖滑动连接，提拉装置可带动蓝宝石晶体沿第一方向移动，实现正常的拉晶过程。水平运动机构与提拉装置连接，用于带动炉盖和提拉装置沿第二方向移动。通过设置上述的提拉装置和水平运动机构，即可实现炉盖的自动化开启或关闭，提升了生产效率。同时，无需在炉盖上额外设置吊装结构，仅利用提拉装置的状态切换，即可实现拉晶以及炉盖开闭这两个过程的切换，大大节省了设备的生产成本。
一种设备

[发明专利]一种可调节的钼隔热屏连接结构-CN202310589872.5在审
发明人：宋旭波;侯绍刚;杜迎虎;王亚东;魏超;孟雪静;王昕;王平;柴桂林 -专利权人：山东新升光电科技有限责任公司
申请日： 2023-05-24 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：本发明公开了蓝宝石单晶生长技术领域的一种可调节的钼隔热屏连接结构，包括：钼片，包括均匀分布在钼片上供杆件通过的孔部以及位于孔部的一侧用于限制钼片在杆件上移动的锁部，孔部内包括定位片；杆件，包括贯穿于多层直径不同钼片的杆体，杆体自底端面朝顶端面方向拉伸供定位片通过的深孔，通过钼质杆体上的深孔，对隔热屏钼片数量进行增减，该装置既方便快捷，还不会对原有的钼片进行损伤，达到晶体炉上部保温达到晶体生长环境需求，晶体炉引晶功率得到降低，同时达到节本降耗的作用，提升了晶体质量，为企业节约了生产成本。安装简单，方便快捷，并且耐用。
一种调节隔热连接结构

[发明专利]多孔结构及其制备方法-CN202310197727.2在审
发明人：庄文荣;卢敬权;叶国辉 -专利权人：东莞市中镓半导体科技有限公司;东莞市中器集成电路有限公司
申请日： 2023-03-02 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：本发明提供一种多孔结构及其制作方法，方法包括：在生长衬底上生长缓冲层；在缓冲层上生长表面具有缺陷孔的碳掺氮化镓层，通过控制碳的掺杂浓度控制缺陷孔密度；在碳掺氮化镓层的表面生长本征氮化镓层，在缺陷孔的位置形成延伸孔；在本征氮化镓层的表面生长硅掺氮化镓层，硅掺氮化镓层中的硅原子优先填充在缺陷孔及延伸孔位置处，并沿生长厚度增长的方向聚集生长，形成硅聚集区；采用电化学蚀刻的方式对硅掺氮化镓层进行蚀刻，在硅聚集区的硅原子发生电化学反应以形成孔隙。本发明可通过控制碳掺氮化镓层的碳掺杂浓度控制缺陷孔的数量及分布，进而控制最终孔隙的位置，且在非缺陷孔位置对应的硅掺氮化镓层位置上，最终的孔隙数量大大减少。
多孔结构及其制备方法

[实用新型]籽晶夹具-CN202320050587.1有效
发明人：麦尔旦·帕力提;李传文;宋亚滨 -专利权人：新疆蓝晶新材料科技有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2023-01-06 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：本公开涉及一种籽晶夹具，用于夹持籽晶，籽晶的一端设有夹持块，籽晶夹具包括扣合连接的第一夹块和第二夹块，第一夹块与第二夹块共同围成夹持空间，夹持空间包括相连通限位段和导通段，限位段用于容纳夹持块，导通段用于供籽晶贯穿且延伸至籽晶夹具外侧。如此，当第一夹块与第二夹块扣合时，围成用以夹持固定籽晶的夹持空间，其中设置在籽晶一端的夹持块设置在夹持空间的限位段内，通过限位段对籽晶进行夹持固定，无需再使用钨徕线对籽晶进行捆绑，避免了钨徕线的浪费，籽晶通过与限位段相连通的导通段伸至籽晶夹具外侧，伸出至籽晶夹具外的籽晶插入到熔融状态的三氧化二铝母液中，进而生产出蓝宝石原材料。
籽晶夹具

[发明专利]一种蓝宝石晶体的制备方法-CN202310253693.4在审
发明人：张雨菲;卢小溪 -专利权人：北京欧菲金太科技有限责任公司
申请日： 2023-03-16 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种蓝宝石晶体的制备方法，属于蓝宝石晶体制备技术领域。包括：将5N纳米α‑氧化铝熔化，得到熔体；将蓝宝石籽晶浸没在熔体中、旋转，得到清洗蓝宝石；将清洗蓝宝石与熔体的液面接触后进行引晶处理，得到处理蓝宝石；将处理蓝宝石进行放肩处理和等径生长处理，得到蓝宝石晶体。本发明的蓝宝石晶体生长均匀，晶体内气泡少、晶界少，晶体的质量高、尺寸大、性能好。
一种蓝宝石晶体制备方法

[发明专利]大尺寸蓝宝石晶体生长炉坩埚平衡支撑系统-CN202210172326.7有效
发明人：康森;鲁雅荣;石天虎;丁钰明;滕斌;杨博;李璐;闫霖 -专利权人：天通银厦新材料有限公司
申请日： 2022-02-24 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种大尺寸蓝宝石晶体生长炉坩埚平衡支撑装置，包括升降装置、水平调节装置及保险支撑装置，所述升降装置设于炉体底腔内，所述水平调节装置安装于升降装置上，且水平调节装置可在升降装置带动下在底腔内向上运动至炉体主腔内，所述保险支撑装置设于炉体底腔内顶部。水平调节装置采用软支撑结构，可随坩埚内熔液的重心调整坩埚左右方向的位置，确保坩埚内熔液达到平衡，还可减轻腔体底部承受的瞬间压力，提供稳定的支撑力和连接结构位置的密封性。保险支撑装置与计算机终端进行连接，不仅减少由于多次扳动摩擦导致保险装置失效还能增加操作的便捷性。水平调节装置与保险支撑装置共同作用，可增加支撑结构的可靠性和安全性。
尺寸蓝宝石晶体生长坩埚平衡支撑系统

[实用新型]一种带开槽半圆环的单晶炉发热体-CN202223262676.7有效
发明人：廖彬彬;王军;宋立强 -专利权人：中钨稀有金属新材料（湖南）有限公司
申请日： 2022-12-06 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带开槽半圆环的单晶炉发热体，包括U型钨杆和电极，所述U型钨杆设置有多根，各U型钨杆的两侧臂分别通过相对设置的开槽半圆环固定，各U型钨杆在圆周方向上均布；所述电极的两极分别与各U型钨杆的两侧臂连接。本实用新型通过多组开槽半圆环对U型钨杆进行约束，使得所有U型钨杆在同一个直径的圆周上保持均匀的间距，保持了热场温度的始终均匀，避免了出现新的晶核而生长出多晶体。
一种开槽半圆单晶炉发热

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