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- [实用新型]直拉硅单晶检测用测量道的制作装置-CN201120247003.7有效
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赵娟
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西安华晶电子技术股份有限公司
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2011-07-13
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2012-02-15
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B24B23/02
- 本实用新型公开了一种直拉硅单晶检测用测量道的制作装置,包括水平固定在工作平台上且用于固定被检测硅单晶的U形槽和与U形槽相配合使用且在被检测硅单晶的晶体表面打磨测量道的打磨工具,被检测硅单晶为采用直拉法生产的单晶硅棒材固定安装在传动轴前端部的角磨片、固定安装在传动轴后部的手持式把手和安装在手持式把手内且带动传动轴进行连续转动的电动驱动机构,传动轴与电动驱动机构之间通过传动机构进行传动连接,角磨片为在传动轴带动下在被检测硅单晶的晶体表面打磨测量道的磨头本实用新型结构简单、设计合理、使用操作简便且使用效果好,硅单晶晶体表面测量道的制作过程易控,并且不会对外界环境造成任何污染。
- 直拉硅单晶检测测量制作装置
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