“干涉测量”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果1016528个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种用于物体振动测量的点衍射干涉装置及方法-CN201910367953.4有效
发明人：王道档;顾翰婷;孔明;许新科;赵军;刘维;郭天太 -专利权人：中国计量大学
申请日： 2019-05-05 - 公布日： 2021-04-16 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于物体振动测量的点衍射干涉装置及方法，包括：光源，发射初始光至光路处理模块；光路处理模块，将初始光转换为若干束出射光并入射至测量模块；测量模块，连接被测物体，采集入射光产生的干涉图并处理单纵模激光器发出的激光经光路处理模块后射入测量模块；入射光经偏振数字相机前置的偏振片阵列后发生干涉；记录四步移相干涉图及各瞬态位置的干涉图；根据干涉图对不同瞬态位置空间三维坐标值进行分析，测量出物体振动过程本发明通过将被测物体与测量探头固定，并利用偏振数字相机来采集振动过程中各个瞬态位置的干涉图，通过对各个瞬态位置的空间三维坐标进行分析，实现了对物体振动的测量，提高了装置的抗干扰能力。
一种用于物体振动测量衍射干涉装置方法

[发明专利]用干涉法测量物体微运动速度的方法-CN202211126948.2在审
发明人：杨利涛;甄西合 -专利权人：河南驭波科技有限公司
申请日： 2022-09-16 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： G01P3/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种用干涉法测量物体微运动速度的方法，包括干涉测量系统和检测镜，所述检测镜设置在物体的移动端上，所述干涉测量系统对检测镜表面进行测量，并记录光圈变化数量和对应的计数时间，根据光圈变化数量和对应的计数时间计算移动速度，移动速度＝光圈变化数量*半波长尺寸/空气折射率/计数时间，半波长尺寸为干涉测量系统的激光波长尺寸。本发明能够对精确测量微小运动速度，满足高精度运行环境使用。
干涉测量物体运动速度方法

[发明专利]多轴激光位移测量系统中干涉仪的安装偏差标定方法-CN201711013864.7有效
发明人：朱煜;胡金春;杜胜武;尚恩垚;张鸣;尹文生;杨开明;成荣 -专利权人：清华大学
申请日： 2017-10-26 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：多轴激光位移测量系统中干涉仪的安装偏差标定方法，所述方法是在激光干涉仪位移测量系统中，增加一个或多个冗余干涉仪。然后建立包含激光干涉仪安装偏差的位移解算方程，通过连续测量多个位置点的位移信息，得到冗余测量信息，组合形成的位移解算方程个数等于未知量个数，进而利用此方程组求解得到干涉仪的安装偏差。本发明采用冗余布置激光干涉仪方法，实现其安装偏差自标定。本发明无需借助其他更高精度的位移传感器，可解决工业应用中多轴干涉仪安装偏差难以标定的问题。
激光位移测量系统干涉仪安装偏差标定方法

[发明专利]基于频率盲估计的多表面面形测量方法-CN202010891522.0有效
发明人：常林;郑维伟;于瀛洁;闫恪涛;徐瞿磊;孙涛;王陈 -专利权人：上海大学
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于频率盲估计的多表面面形测量方法，使用波长移相干涉仪对干涉图进行采集，通过对多表面干涉图中的各表面干涉频率的盲估计，对所对应的信号频率特性进行精确求解和匹配。将求解得到的各信号的干涉频率带入到所构建的新型最小二乘求解方程求取被测件各干涉信号的幅值和初始相位，完成透明平行平板的多表面干涉测量。所设计的测量方法成本较低，避免了被测件平均厚度的测量，并且能够对被测件各表面的对比度进行精确求解。
基于频率估计表面测量方法

[发明专利]一种对比式抗干扰角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法-CN201510287507.4有效
发明人：张白;毛建东;盛洪江 -专利权人：北方民族大学
申请日： 2015-05-29 - 公布日： 2017-12-05 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种对比式抗干扰角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法，所述对比式抗干扰角反射镜激光干涉仪，包括有激光源、固定角反射镜、干涉测量光电探测器、移动角反射镜和分光镜组，还包括有反射测量光电探测器，激光束经所述移动角反射镜反射至所述分光镜组后还形成有反射激光束，所述反射激光束射向所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪，由于反射测量光电探测器可以测量移动角反射镜反射激光束的强度，根据反射激光束的强度确定激光干涉光束的干涉状态，如此实现抗环境干扰的目的。
一种对比抗干扰反射激光干涉仪标定方法测量方法

[发明专利]一种对比式抗干扰平面反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法-CN201510290446.7有效
发明人：张白;盛洪江;周春艳 -专利权人：北方民族大学
申请日： 2015-05-29 - 公布日： 2018-04-13 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种对比式抗干扰平面反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法，所述对比式抗干扰平面反射镜激光干涉仪，包括有激光源、固定平面反射镜、干涉测量光电探测器、移动平面反射镜和分光镜组，还包括有反射测量光电探测器，激光束经所述移动平面反射镜反射至所述分光镜组后还形成有反射激光束，所述反射激光束射向所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪，由于反射测量光电探测器可以测量移动平面反射镜反射激光束的强度，根据反射激光束的强度确定激光干涉光束的干涉状态，如此实现抗环境干扰的目的。
一种对比抗干扰平面反射激光干涉仪标定方法测量方法

[发明专利]一种干涉测量系统的减振反馈系统及其检测方法-CN202110430704.2有效
发明人：朱学亮;张梦瑶;南丹荣;田爱玲;王红军;刘丙才 -专利权人：西安工业大学
申请日： 2021-04-21 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： B23Q11/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种干涉测量系统的减振反馈系统及其检测方法。保证干涉测量系统和机床大理石工作台保证相对静止，进而提高原位干涉测量系统的检测精度。本发明通过采集加速度传感器的信号f1和压电传感器的信号f2；然后，两信号相减得到信号f3，将信号f3进行取反处理；再通过PID调节，控制音圈电机产生反作用力，对干涉测量系统的动态微运动进行控制，保证干涉测量系统和机床大理石工作台保证相对静止当信号f2极小或等于零时，信号f3取反后，推动音圈电机可以抵消干涉测量系统的振动，保持静止。
一种干涉测量系统反馈及其检测方法

[发明专利]单模光纤耦合器相移测量装置、方法、存储介质-CN202110931801.X有效
发明人：杨远洪;王瑞琴;李慧 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2021-08-13 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明属于光纤技术领域，具体涉及一种单模光纤耦合器相移测量装置、方法、存储介质，旨在解决现有耦合器相移测量方法测量过程繁杂且测量精度较低的问题。本装置包括光谱测量装置，配置为发射扫描光源至混合Sagnac干涉仪；还配置为采集混合Sagnac干涉仪互易端口和非互易端口的干涉光谱信号，并发送至计算模块；混合Sagnac干涉仪，配置为对输入的扫描光源进行分束，经保偏光纤后产生干涉光谱信号并输出；计算模块，配置为基于接收的干涉光谱信号提取谷值波长，计算单模光纤耦合器的相移值。本发明大大降低了耦合器相移的复杂度，并提高了测量精度。
单模光纤耦合器相移测量装置方法存储介质

[发明专利]一种高精度激光调制干涉空气折射率绝对测量装置及方法-CN201910661278.6有效
发明人：严利平;陈本永;杨晔 -专利权人：浙江理工大学
申请日： 2019-07-22 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本发明公开了一种高精度激光调制干涉空气折射率绝对测量装置及方法。单频激光器输出的激光经光隔离和正弦相位调制后，由侧向位移分光镜分成两平行光束，射向正弦相位调制干涉仪获得测量和补偿干涉信号，由两个探测器接收；长度可变真空腔放置在正弦相位调制干涉仪的测量光路中与光线传播方向平行，两平行光束分别经过真空腔内部真空光路和外部空气光路；测量时，直线位移工作台带动运动透光窗移动距离，实时计算两路干涉信号相位变化量，求出空气折射率。本发明测量精度高，抗环境干扰能力强，可广泛应用于激光干涉精密测量技术领域。
一种高精度激光调制干涉空气折射率绝对测量装置方法

[实用新型]一种对比式抗干扰平面反射镜激光干涉仪-CN201520362242.5有效
发明人：张白;盛洪江;周春艳 -专利权人：北方民族大学
申请日： 2015-05-29 - 公布日： 2016-01-20 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种对比式抗干扰平面反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法，所述对比式抗干扰平面反射镜激光干涉仪，包括有激光源、固定平面反射镜、干涉测量光电探测器、移动平面反射镜和分光镜组，还包括有反射测量光电探测器，激光束经所述移动平面反射镜反射至所述分光镜组后还形成有反射激光束，所述反射激光束射向所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪，由于反射测量光电探测器可以测量移动平面反射镜反射激光束的强度，根据反射激光束的强度确定激光干涉光束的干涉状态，如此实现抗环境干扰的目的。
一种对比抗干扰平面反射激光干涉仪

[发明专利]一种应力测量装置-CN202211488527.4在审
发明人：李利东;朱修剑 -专利权人：合肥维信诺科技有限公司;昆山国显光电有限公司
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本说明书公开了一种应力测量装置，该应力测量装置在干涉模块中设置了第一真空路径和第二真空路径，将光线传输路径中暴露在大气环境中的光程缩短，有利于减少大气温度变化导致的折射率变化对光程的影响，降低了测量零点漂移对测量精度的不良影响，提高了应力测量装置的测量精度。同时，该应力测量装置利用干涉模块形成携带待测样品应力信息的干涉图样，使得测量模块可以基于干涉图样进行应力测量，相较于通过测量反射角度测量待测样品的曲率半径的方式，具有测量精确的优势。
一种应力测量装置

[发明专利]一种套刻测量方法及系统-CN202010223683.2有效
发明人：高安 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2020-03-26 - 公布日： 2023-02-10 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供一种套刻测量方法及装置，包括：使测量光束照射至套刻标记并形成正负级次衍射光后，所述正负级衍射光以相同方向传播并发生干涉产生干涉光；利用能量探测器获取所述干涉光的光强。即，本发明采用使正负级衍射光发生相干产生干涉光，对干涉光的光强直接进行测量的方法来测量套刻误差，由于能够采集正负衍射级次所有光强，因此较现有的DBO方法有更大的动态范围。
一种测量方法系统

[发明专利]用于两侧测量的重叠共用路径干涉仪-CN200580044620.4无效
发明人： A·W·库拉维克;M·J·特罗诺洛恩;J·C·马龙;T·J·邓恩 -专利权人：康宁股份有限公司
申请日： 2005-12-14 - 公布日： 2007-12-12 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：两个共用路径的干涉仪共享一个测量腔，用于测量不透明的测试部件的相反的侧面。在测试部件的一个侧面与第一干涉仪的参照面之间、在测试部件的另一个侧面与第二干涉仪的参照面之间、以及在第一和第二参照面之间，形成干涉图案。两个干涉仪的参照面之间的后一种测量使测试部件的相反侧面的测量能够彼此关联起来。
用于两侧测量重叠共用路径干涉仪

[发明专利]一种激光准直收发一体式直线度测量的标定系统及方法-CN201910812967.2在审
发明人：段发阶;张聪;傅骁;刘文正;苏宇浩;鲍瑞伽 -专利权人：天津大学
申请日： 2019-08-29 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： G01B11/27 文献下载
摘要：本发明公开一种激光准直收发一体式直线度测量的标定系统及方法。标定系统包括直线度测量机构、激光干涉仪激光头、激光干涉仪干涉镜、激光干涉仪角锥棱镜和位移台，直线度测量机构由激光器、二维位置探测器、固定端基座和角锥棱镜组成，激光器和二维位置探测器均固定在固定端基座上，激光器的出射激光照射到角锥棱镜，经过角锥棱镜后的回射激光照射到二维位置探测器上，所述角锥棱镜放置于位移台上；激光干涉仪角锥棱镜放置于位移台上，位移台能够沿x方向水平移动，激光干涉仪干涉镜放置在激光干涉仪激光头与激光干涉仪角锥棱镜之间，使激光干涉仪激光头内激光干涉从而实现位移台的位移测量。
激光干涉仪角锥棱镜直线度测量二维位置激光器激光头位移台探测器标定系统激光照射干涉镜固定端收发一体式方向水平激光干涉激光准直位移测量出射回射移动

[实用新型]一种激光准直收发一体式直线度测量的标定系统-CN201921423004.5有效
发明人：段发阶;张聪;傅骁;刘文正;苏宇浩;鲍瑞伽 -专利权人：天津大学
申请日： 2019-08-29 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： G01B11/27 文献下载
摘要：本实用新型公开一种激光准直收发一体式直线度测量的标定系统；包括直线度测量机构、激光干涉仪激光头、激光干涉仪干涉镜、激光干涉仪角锥棱镜和位移台，直线度测量机构由激光器、二维位置探测器、固定端基座和角锥棱镜组成，激光器和二维位置探测器均固定在固定端基座上，激光器的出射激光照射到角锥棱镜，经过角锥棱镜后的回射激光照射到二维位置探测器上，所述角锥棱镜放置于位移台上；激光干涉仪角锥棱镜放置于位移台上，位移台能够沿x方向水平移动，激光干涉仪干涉镜放置在激光干涉仪激光头与激光干涉仪角锥棱镜之间，使激光干涉仪激光头内激光干涉从而实现位移台的位移测量。
一种激光收发体式直线测量标定系统