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[发明专利]激光干涉波长杠杆式绝对距离测量方法与装置-CN201510100565.1有效
发明人：陈本永;严利平;张世华 -专利权人：浙江理工大学
申请日： 2015-03-06 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光干涉波长杠杆式绝对距离测量方法与装置。包括光源系统、波长杠杆式激光干涉系统和干涉信号处理及控制系统；光源系统输出波长分别为λ1和λ2的正交线偏振光束，射向波长杠杆式激光干涉系统，形成干涉光束射向干涉信号处理及控制系统；在波长杠杆式激光干涉系统中，合成波长与单波长和被测绝对距离与参考臂的角锥棱镜的运动位移形成波长杠杆式绝对距离测量关系；干涉信号处理及控制系统负责检测两单波长干涉信号的相位差、计算被测绝对距离和控制光源系统中波长λ2的改变。本发明能实现任意绝对距离的测量，能实现合成波长到单波长的过渡，适用于大型精密装备制造、空间工程和计量技术等领域的大长度或大尺寸、高精度的绝对距离测量。
激光干涉波长杠杆绝对距离测量方法装置

[发明专利]一种阵列式原子干涉重力梯度张量全分量的测量系统-CN201611217569.9有效
发明人：胡忠坤;毛德凯;周敏康;段小春;骆华清 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2016-12-26 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： G01V7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种阵列式原子干涉重力梯度张量全分量的测量系统，包括：n个阵列式排布的冷原子干涉单元，冷原子干涉单元包括：真空腔体；真空腔体包括上干涉区，下干涉区，探测区和原子团制备结构，上干涉区为一根细长型管道，且顶端安装有玻璃窗口；下干涉区为多窗口的腔体，且侧面安装有玻璃窗口。三束竖直激光操纵四团原子同时干涉，实现重力梯度张量中的分量的同时测量；三组水平激光操纵同一水平面上的三团原子同时干涉，实现重力梯度张量中的分量的同时测量。本发明可以测量重力梯度张量的所有五个独立分量，包含了重力梯度张量的全部信息。
一种阵列原子干涉重力梯度张量分量测量系统

[发明专利]一种基于白光干涉的微纳深沟槽结构快速测量方法-CN202110710393.5有效
发明人：张可欣;梁宜勇;李国忠 -专利权人：浙江大学
申请日： 2021-06-25 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于白光干涉的微纳深沟槽结构快速测量方法。本发明包括：搭建白光干涉系统，利用白光干涉系统测量沟槽的结构，CCD相机采集获得多组沟槽干涉图及各组中每张沟槽干涉图对应的编号；对沟槽样品的各组沟槽干涉图进行处理后，获得各组沟槽干涉图的最大对比度与局部结构三维重建图；提取各组沟槽干涉图对应的局部结构三维重建图中的分界面重建图；将所有组沟槽干涉图对应的分界面重建图进行拼接后获得沟槽样品的三维结构重建图，根据三维结构重建图测量沟槽样品的深度和宽度。本发明光路更为简洁，方法能对亚毫米级别的沟槽结构进行探测，宽度达到几百微米，深度达到几毫米，测量速度得到很大提升。
一种基于白光干涉深沟结构快速测量方法

[发明专利]一种基于希尔伯特变换的白光干涉信号非均匀采样的校正方法-CN202010223379.8在审
发明人：杨忠明;辛磊;刘兆军 -专利权人：山东大学
申请日： 2020-03-26 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于希尔伯特变换的白光干涉信号非均匀采样的校正方法，属于精密测量的信号处理技术领域。该方法主要是通过希尔伯特变换分别计算得到CCD相机采集的测量的干涉信号包络曲线，以及通过白光干涉公式仿真的到的理想干涉信号包络曲线，选取参考包络信号中的参考序列和测量包络信号中的匹配序列进行相关性计算，得到相关性系数曲线，找到最大相关位置，再用理想干涉信号替换测量干涉信号实现对信号中非均匀采样问题的校正，最后根据校正信号提取待测样品的高度信息。本发明能较好地补偿因非均匀采样产生的误差，极大地提高测量精度。
一种基于希尔伯特变换白光干涉信号均匀采样校正方法

[发明专利]基于条纹图像的晶体折射率测量方法、装置及存储介质-CN202111126314.2在审
发明人：龙佳乐;杜梓浩;张建民;刘馨悦;丁毅 -专利权人：五邑大学
申请日： 2021-09-24 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明公开了基于条纹图像的晶体折射率测量方法、装置及存储介质，其中方法包括获取参考干涉图像和晶体干涉图像；对参考干涉图像和晶体干涉图像进行重心点计算进而得到条纹变化量；计算参考干涉图像中暗条纹的第一平均宽度像素点数和亮条纹的第二平均宽度像素点数进而得到所述参考干涉图像的条纹宽度；根据条纹变化量、条纹宽度、晶体的厚度和源光束的波长得到折射率；无需对晶体进行加工改变晶体形状即可直接进行折射率测量，且测量精度高，测量速率高，大大提升了晶体折射率测量的效率和准确率。
基于条纹图像晶体折射率测量方法装置存储介质

[发明专利]一种共光路外差式激光干涉测量系统-CN201610366359.X在审
发明人：杨军;朱振宇;王霁;张大治;任冬梅 -专利权人：中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
申请日： 2016-05-28 - 公布日： 2016-07-20 - 主分类号： G01D5/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种适用于液体介质中位移与振动测量的外差式激光干涉测量系统，属于计量测试领域。本发明包括光源分系统、差频分系统、干涉分系统以及探测分系统。经典的激光干涉测量系统在测量水等液体介质中运动目标时，液体介质与空气之间的界面及相关窗口的运动给测量带来很大的误差，而本发明的一种共光路外差式激光干涉测量系统恰恰填补了以上传统激光干涉测量系统在上述测量过程中对于测量误差惊醒修正的空白，从而较好解决了对水下振动测试、液体动态压力计量、水声计量、水下目标探测实验室以及工业现场试验测试过程中存在的液体介质中目标运动或介质折射率静动态的测量误差的修正问题。
一种共光路外差激光干涉测量系统

[发明专利]一种扫频干涉动态绝对距离测量精度评估方法-CN202310668577.9在审
发明人：甘雨;段长昊;刘国栋;刘炳国 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-06-07 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明是一种扫频干涉动态绝对距离测量精度评估方法。本发明涉及绝对距离动态测量技术领域，本发明进行动态绝对距离测量精度准备，确定扫频干涉动态绝对距离测量系统的绝对简谐振动轨迹和当前位置的绝对简谐振动轨迹；对比扫频干涉动态绝对距离测量系统和光栅传感器(包括但不限于光栅传感器，还可采用激光干涉仪、激光测振仪等)的测量结果，确定两种测量的绝对简谐振动轨迹的最大示值误差，进行精度评估。本发明解决了由目标运动导致的扫频干涉动态绝对距离测量中无法进行动态精度评估这一难题。本发明可以在无法进行同步测量绝对轨迹时完成动态精度评估。本发明可以在无法获得光栅传感器测量信号时完成动态精度评估。
一种干涉动态绝对距离测量精度评估方法

[发明专利]基于正交色散谱域干涉仪的高精度间距测量系统和方法-CN201510063182.1有效
发明人：丁志华;鲍文;沈毅;陈志彦;赵晨;李鹏 -专利权人：浙江大学
申请日： 2015-02-06 - 公布日： 2017-05-17 - 主分类号： G01B11/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于全量程正交色散谱域干涉仪的高精度间距测量系统和方法。本发明基于谱域干涉仪布局，通过参考臂中设置的快速位移装置在多幅干涉光谱之间引入位相差，并利用实际检定的相位差来重建复干涉信号，基于复干涉信号的逆傅里叶变换获取高保真样品信息。在探测臂上使用基于虚像相控阵列和光栅的超高光谱分辨率的正交分光光谱仪进行探测，大幅提高测量量程。采用优化多通道光谱位相的光程测量方法，显著提高测量精度，并避免单通道测量可能导致的误差放大，实现快速高精度大量程的间距测量。
基于正交色散干涉仪高精度间距测量系统方法

[发明专利]干涉测量的测量装置-CN200680035993.X有效
发明人： S·弗朗兹;M·弗莱斯彻 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2006-09-15 - 公布日： 2008-10-01 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于具有第一干涉仪和第二干涉仪的干涉测量的测量装置的设备，其中通过辐射源向所述第一干涉仪输送短相干的辐射，所述辐射通过第一辐射分配器分为两个部分辐射，并且其中光程长度在一个部分辐射中长于在另一个部分辐射中，使得光程差大于所述辐射的相干长度，其中所述两个部分辐射在所述第一干涉仪的出口之前再度汇合并且输送给所述第二干涉仪，该第二干涉仪将所述辐射分为另外两个部分辐射，其中这两个部分辐射的光程长度不同，从而再度对在第一干涉仪中写入的光程差进行补偿，其中可以通过至少一个活动的光学元件来对在所述第一和第二干涉仪中的相应的部分辐射的光程长度进行调节，并且所述活动的光学元件以机械方式彼此相耦合。此外，本发明涉及一种用于在这样的干涉测量的测量装置中对光程差进行补偿的方法，其中通过以机械方式相耦合的活动的光学元件同时并且以相同的数值改变在所述两个干涉仪中的部分辐射之间的光程差。由此可以在一个工作步骤中改变在所述干涉仪的部分辐射中的光程差，其中保持遵守形成干涉的条件。
干涉测量装置

[发明专利]干涉测量式测量装置-CN03811950.1无效
发明人： D·马沙尔;M·－H·迪瓦辛;D·布雷德;P·德拉巴雷克 -专利权人：罗伯特－博希股份公司
申请日： 2003-03-28 - 公布日： 2005-08-17 - 主分类号： G01B9/00 文献下载
摘要：用于利用一个调制干涉仪(2)获得一个测量物体(8)表面的形状、粗糙度或距离的干涉测量式测量装置，由一个辐射源(1)将短相干的射线输送到所述调制干涉仪，并且该干涉仪具有一个用于将输送的射线分配成一个通过一个第一臂导引的第一分射线和一个通过一个第二臂导引的第二分射线(2.1’)的第一射线分配器(2.3)，其中所述一个分射线相对于另一分射线通过一个调制机构(2.2，2.2’)在其光相位或光频率上偏移，并移动一个延迟距离(2.9’)，并且紧接着将所述分射线在调制干涉仪(2)的另一射线分配器(2.10)上与一个同调制干涉仪(2)在空间上分开的且与该干涉仪通过一个光导纤维系统(6)已耦联或可耦联的测量探头(3)联合，在该探头中所述联合的分射线在一个公共臂中在一个部分透射的部位(3.3)中分成一个测量射线和一个基准射线，并在其中使在表面上反射的测量射线(r₁ (t))和在一个基准面上反射的基准射线(r₂ (t))重叠，并且通过一个接收机构一种用于即使在狭窄的空心空间中也能够可靠测量的有利结构的特征在于，所述部分透射的部位(3.3)通过一个探头纤维(3.1)的一个相对于光学探头轴线(3.5)以一个出射角(α)倾斜的出射面(3.31)和一个衔接在物体端的纤维段
干涉测量装置

[发明专利]一种刀具颤振状态的在线检测装置-CN202111157590.5有效
发明人：吉日嘎兰图;李文昊;刘兆武;尹云飞;王玮;糜小涛;李晓天 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种刀具颤振状态的在线检测装置，包括双频激光干涉仪、第一分光棱镜、激光干涉仪Y向测量单元、激光干涉仪X向测量单元、第三分光棱镜、二维光栅、二维光栅衍射结构单元、光栅Z向位移测量单元、光栅Y向位移测量单元、光栅X向位移测量单元、第三反射镜、二维光栅和第六反射镜。通过激光干涉仪Y向测量单元和激光干涉仪X向测量单元测量第三反射镜和第六反射镜的位移，将位移作为刀具的位移对照数据，通过二维光栅、光栅Z向位移测量单元、光栅Y向位移测量单元和光栅X向位移测量单元得到基于光栅测量原理得到的刀具位移基础数据，两种数据进行对照得出刀具颤振状态，本发明具有测量精度高的优点。
一种刀具状态在线检测装置

[发明专利]一种光学平面面形的绝对干涉测量方法-CN201010001177.5无效
发明人：陈凌峰;任雅青;李杰;周桃庚 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2010-01-15 - 公布日： 2010-06-30 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种光学平面面形的绝对干涉测量方法，属于光学测量技术领域。该方法首先从测量光纤衍射的球面波经被测平面镜反射，折向并透过平板分束镜，与参考光纤衍射并被平板分束镜反射的球面波前汇合而发生干涉；干涉图用标准方法分析和处理；该步测量得到被测平面镜和平板分束镜引入的像差然后，移除被测平面镜，移动测量光纤端面到关于被测平面镜的共轭位置，从测量光纤和参考光纤衍射的球面波汇合而再次发生干涉；该步测量得到平板分束镜引入的像差；将第一、二步测量结果相减即得到被测平面镜引入的像差本发明实现了光学平面的全面形逐点、高精度干涉测量，是一种平面绝对干涉测量方法。
一种光学平面绝对干涉测量方法

[发明专利]全息光栅周期高精度在线测量与调节装置-CN201811318508.0在审
发明人：贾伟;周常河;王津;项长铖;谢永芳;赵冬;薄启宇 -专利权人：暨南大学
申请日： 2018-11-07 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种全息光栅周期高精度在线测量与调节装置，该装置包括用于产生并调节光栅场的双光束全息干涉光路，用于产生同轴干涉的参考光栅和采集干涉信号的光电探测器，以及用于扫描全息光栅场的一维高精度移动台和测量位移的激光干涉仪系统其特点是在传统全息光路中引入参考光栅，使两束相干光产生同轴干涉，通过测量该干涉信号的周期变化，实现对全息光栅场的高精度在线测量，同时通过准直透镜的二维移动实现全息光栅周期的高精度在线调节。
全息光栅高精度在线测量参考光栅调节装置干涉信号光栅场光路同轴激光干涉仪系统双光束全息干涉高精度移动台光电探测器测量位移传统全息二维移动扫描全息在线调节周期变化准直透镜相干光干涉测量采集引入

[发明专利]一种基于外差干涉的扭秤本底噪声测量装置和方法-CN202310708551.2在审
发明人：王少鑫;齐克奇;刘河山;罗子人 -专利权人：中国科学院力学研究所
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种基于外差干涉的扭秤本底噪声测量装置和方法，测量装置包括：真空系统，形成有具有真空环境的试验腔体；扭秤，位于所述试验腔体中；外差激光干涉仪系统，至少部分位于所述试验腔体中，用于提供出射激光至所述扭秤，并返回形成干涉信号；数据采集处理系统，位于所述试验腔体外部，对所述干涉信号进行采集，并根据采集的所述干涉信号得到扭秤本底噪声。本发明基于真空下的高集成度设置方式，将外差干涉技术应用到扭秤测量中，从而提高了对扭秤本底噪声的测量精度。
一种基于外差干涉扭秤本底噪声测量装置方法

[发明专利]一种适用于斜入式激光干涉测量镜头成像畸变的标定方法-CN201910058504.1有效
发明人：杨鹏程;杨社强;肖渊;张蒙蒙;戴雨志 -专利权人：西安工程大学
申请日： 2019-01-22 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G06T7/80 文献下载
摘要：本发明的一种适用于斜入式激光干涉测量镜头成像畸变的标定方法，具体步骤包括：首先建立平板金属被测面的数学模型；通过建立的数学模型，利用光路光线追迹计算的仿真方法得到平板金属被测面的仿真干涉图像；利用激光干涉测量系统采集平板金属被测面的实测图像；通过分别将得到的平板金属被测面仿真干涉图像与平板金属被测面实测图像进行比较，建立斜入式激光干涉测量中镜头成像畸变的标定方法，弥补了当前斜入式激光干涉测量系统中无直接可用的镜头成像畸变校正方法的不足。
一种适用于斜入式激光干涉测量镜头成像畸变标定方法