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[发明专利]波阵面分割型单程正交光路干涉仪-CN202111022768.5在审
发明人：董仕 -专利权人：重庆米森科技有限公司
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： G01B9/02015 文献下载
摘要：本发明公开了基于波阵面分割、参考光束和测量光束的光路传播为单程、然后以正交合束的方式构成的干涉仪装置，涉及精密测量与干涉测量领域，本干涉测量装置通过分割波阵面为平面波的平行光、并通过正交转折的方式使其具有各自独立且不闭合的行波路径进行合束干涉，可用于光各向异性物质特性检测、静态或动态场物质、以及运动振动检测、空间波长测量等方面。
波阵面分割单程正交干涉仪

[发明专利]星载SAR非沿迹模式差分干涉形变测量方法-CN202310189630.7在审
发明人：王岩;丁泽刚;张鹏程;王震;曾涛 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G01B15/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种星载SAR非沿迹模式差分干涉形变测量方法。本发明建立了非沿迹场景下的重轨干涉成像处理模型，实现对非沿迹局部地形的干涉相位处理和地形测量反演。本发明主要针对星载非沿迹SAR构型下基于三轨测量法利用重轨干涉能力进行地形形变测量问题提出设计方案，填补非沿迹局部地形形变测量能力的不足。
星载 sar 非沿迹模式干涉形变测量方法

[发明专利]一种步进相移光纤白光干涉测量方法-CN201610453057.6有效
发明人：江毅;高红春;姜澜;陈淑芬;张恒利 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2016-06-21 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种步进相移光纤白光干涉测量方法，属于光纤传感技术领域。本发明的目的是为了解决微型传感器小光程差测量需求的问题，提供一种步进相移光纤白光干涉测量方法，该方法基于对一路白光干涉信号的相移处理来获得干涉仪的光程差，方法简单，测量动态范围可达50um‑10000um，在光程差较小(小于100um)时依然能够高精度测量。
一种步进相移光纤白光干涉测量方法

[发明专利]一种基于Morlet小波变换的白光干涉信号漏采样校正方法-CN201910898078.2在审
发明人：杨忠明;辛磊;刘兆军 -专利权人：山东大学
申请日： 2019-09-23 - 公布日： 2020-01-17 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明涉及白光干涉测量方法的校正方法，属于精密测量信号处理技术领域。一种基于Morlet小波变换的白光干涉信号漏采样校正方法，包括以下步骤：将CCD采集到的干涉信号先进行高斯滤波处理，再进行Morlet小波变换处理，获得小波系数；根据小波系数找出漏采样位置，用三次样条插值法拟合干涉信号，补全光强变化曲线，获得经校正的新的干涉信号。本发明的方法，对干涉信号具有降噪及漏采样的校正作用，能够提高干涉测量结果精确性。
干涉信号校正小波系数采样白光干涉测量白光干涉信号信号处理技术变化曲线变换处理采样位置干涉测量高斯滤波精密测量三次样条插值法降噪拟合全光采集

[发明专利]一种干涉环臂长差的测量装置及方法-CN202111223981.2在审
发明人：刘仁德;唐世彪;栗帅 -专利权人：科大国盾量子技术股份有限公司
申请日： 2021-10-20 - 公布日： 2023-04-21 - 主分类号： H04B10/079 文献下载
摘要：本发明公开了一种干涉环臂长差的测量装置及方法，其基于光脉冲在干涉环中发生干涉的结果与作用于相位调制器上的调制电信号之间的干涉环工作原理，提出通过控制光脉冲和调制电信号之间的相对延时，在干涉环中利用两个光脉冲分量分别对调制电信号的波形进行扫描，并基于扫描结果获取干涉环的臂长差。由此，可以以简单的测量结构和控制过程，精确地实现对干涉环臂长差的测量。
一种干涉环臂长差测量装置方法

[发明专利]测量光学表面形状的方法以及干涉测量装置-CN200980162499.3有效
发明人： R.弗赖曼;B.多尔班德;S.舒尔特;A.霍夫;F.里彭豪森;M.曼格;D.纽格鲍尔;H.艾斯勒;A.比科 -专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
申请日： 2009-09-18 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：提供一种测量测试物体（12）的光学表面（14）的形状的方法。该方法包括以下步骤：提供产生测量波（18）的干涉测量装置（16），在不同测量位置处相对于彼此连贯地布置该干涉测量装置（16）和测试物体（12），从而由该测量波（18）照明该光学表面（14）的不同区域（20），在该不同测量位置，测量该测量装置（16）关于该测试物体（12）的位置坐标，通过在每个测量位置处使用测量装置（16）干涉地测量该测量波（18）在与该光学表面（14）的各个区域（20）相互作用之后的波前而获得表面区域测量，通过基于该干涉测量装置（16）在每个测量位置处所测量的位置坐标计算地组合子表面测量而确定该光学表面（14）的实际形状。
测量光学表面形状方法以及干涉装置

[发明专利]激光移相干涉三角微位移测量装置及方法-CN201810471725.7有效
发明人：黄向东;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2018-05-17 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：激光移相干涉三角微位移测量装置及方法，属于超精密测量技术领域。本发明将移相干涉技术和激光三角技术结合起来，以实现大范围高精度微位移测量。本发明装置主要包括基于Ronchi光栅分光的同步移相干涉分系统和激光三角位移测量分系统。本发明方案根据移相干涉原理和激光三角测距原理，通过光栅分光和四象限检偏器组同步获取四路依次相移90°的干涉信号，同时激光三角分系统利用部分漫反射光获得位移的粗测量数据，当激光三角测量误差小于1/4干涉位移信号周期时本发明测量精度高、测量范围大、抗干扰能力强，适用于微结构器件中的台阶高度，膜厚，以及运动部件的位移等的测量。
激光三角移相干涉微位移测量装置光栅分光激光测量激光三角测量测量精度高超精密测量抗干扰能力微结构器件微位移测量测距原理干涉信号技术结合漫反射光同步获取同步移相位移测量位移信号运动部件粗测量检偏器四象限干涉解算膜厚相移

[发明专利]一种全场Z向位移测量系统-CN201410430984.7有效
发明人：黄源浩;许宏淮;张程煜 -专利权人：深圳奥比中光科技有限公司
申请日： 2014-08-28 - 公布日： 2017-03-22 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明涉及全场激光测振系统技术领域，尤其涉及一种全场Z向位移测量系统。通过使用空间域相移法在传统激光剪切散斑干涉法的基础上实现动态测量，并进一步利用激光剪切散斑干涉法与多普勒干涉法的同质性和相似的测量精度，通过单点的时间域多普勒干涉法帮助激光剪切散斑干涉法实现绝对位移测量，经过这几个方面的改进，本发明所述的测量系统可以实现全场Z向位移测量，能实现高精度全场绝对值振动测量，能进行瞬态深度测量，在深度测量、三维传感，以及航空、航天的振动测量和新材料表征检测等领域的深度测量具有重要应用
一种全场位移测量系统

[发明专利]双硅片台交换系统的交换位置测量装置及其测量方法-CN201210138025.9有效
发明人：刘育;刘剑;袁志扬 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2012-05-04 - 公布日： 2013-11-06 - 主分类号： G01D5/26 文献下载
摘要：本发明提出一种双硅片台交换系统的交换位置测量装置及其测量方法。每个硅片台的交换位置测量装置包括：X向位置测量系统和Y向位置测量系统，其中，X向位置测量系统包括设置在硅片台上的两个X向干涉仪和X向反射镜；上述两个X向干涉仪与X向反射镜结合测量硅片台在X向的位置；Y向位置测量系统包括两个Y向干涉仪和两个Y向反射镜，上述两个Y向干涉仪设置在硅片台上，上述两个Y向反射镜分别与两个Y向干涉仪结合测量硅片台在Y向的位置。本发明的交换位置测量装置结构筒单，避免测量范围受硅片台尺寸的限制，同时受外界各种干扰影响小。
硅片交换系统位置测量装置及其测量方法

[发明专利]光学系统及其干涉物镜模块-CN202080072381.8在审
发明人：何端书 -专利权人：安盟生技股份有限公司
申请日： 2020-10-19 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： A61B5/00 文献下载
摘要：本文提供了干涉物镜模块，其包括物镜以及干涉模块，该干涉模块包括与物镜分开安置以提供参考臂的参考板、用于分离来自从物镜源光的分束器，以及用于传输来自分束器的分束光以提供样品臂的样品板，其中干涉模块被配置用于使干涉物镜模块的焦平面和干涉平面的距离在测量期间变化，并且其中干涉物镜模块的焦平面与干涉平面在测量期间相交。
光学系统及其干涉物镜模块

[发明专利]带有操作参数传感器的干涉工具-CN200780024188.1有效
发明人：鲁宾·马丁内斯;马修·比林哈姆;托多·希里托夫;保罗·贝古因 -专利权人：普拉德研究及开发股份有限公司
申请日： 2007-04-27 - 公布日： 2009-07-08 - 主分类号： E21B44/00 文献下载
摘要：提供了一种干涉工具(100)，用在井孔内侧，包括能在井下实施干涉操作的干涉模块(70)和与干涉模块通信并配置成控制干涉模块的驱动电子模块(40)。该工具还包括一个或多个传感器(25、45、65、85)，所述传感器在干涉操作期间测量干涉操作的一个或多个操作参数。然后根据测量的至少一个操作参数优化干涉操作。
带有操作参数传感器干涉工具

[发明专利]激光波长调制测量装置及其测量方法、测量系统-CN202110278736.5在审
发明人：刘红弟;张梦影;黄治家;刘健;成学平 -专利权人：深圳市杰普特光电股份有限公司
申请日： 2021-03-15 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种激光波长调制测量装置及其测量方法、测量系统，涉及激光技术领域。该激光波长调制测量装置包括控制器、电源、波形发生器、激光器驱动板、待测激光器、单模光纤、干涉仪和数据采集器；电源向激光器驱动板输入驱动电流信号，波形发生器向激光器驱动板输入三角波调制信号；激光器驱动板将经过三角波调制信号调制的驱动电信号输入至待测激光器以驱动待测激光器发射激光束并通过单模光纤进入干涉仪；干涉仪将待测激光器发射的激光束进行干涉；数据采集器采集和记录干涉仪的干涉信号；控制器对干涉信号进行处理和分析。该激光波长调制测量装置测量精度高且成本较低，能够解决现有技术中采用光谱分析仪测量激光波长时，其测量精度受限的问题。
激光波长调制测量装置及其测量方法系统

[实用新型]一种振动校准用激光干涉仪-CN200920167845.4无效
发明人：左爱斌;于梅;刘爱东;杨丽峰;马明德 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2009-07-30 - 公布日： 2010-08-04 - 主分类号： G01H17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种振动校准用激光干涉仪，包括激光器和普通分光棱镜，普通分光棱镜位于激光器的输出光路上，普通分光棱镜的分光面与普通分光棱镜的输出光路夹角为45°，激光器输出光分为呈90°夹角的参考光与测量光，参考光方向上设有参考反射镜，测量光方向上设有测量反射镜，测量反射镜与振动物体固定并随振动物体移动，参考光和测量光经普通分光棱镜汇集形成总干涉光，总干涉光方向设有将总干涉光分成偏振方向正交的两个支路干涉光的偏振分光装置，两个支路干涉光光路上分别设有光电接收器。本实用新型的激光干涉仪能够扩展振动传感器灵敏度的测量范围、满足振动传感器灵敏度相移测量的光学要求、准确测量振动传感器灵敏度相移。
一种振动校准激光干涉仪

[发明专利]来自模式选择调谐器的光学反馈-CN200580031528.4有效
发明人： T·J·邓恩;N·O·法米加;A·W·库拉维克;J·C·马龙 -专利权人：康宁股份有限公司
申请日： 2005-09-20 - 公布日： 2007-08-22 - 主分类号： H01S3/098 文献下载
摘要：例如，频移干涉仪的频率可调谐源的输出可监控来支持更加精确的干涉数据的获取或处理。用于进行由测量光束不同部分传输通过的光程长度差的所需测量的第一干涉仪可联系于用于进行测量光束自身测量的第二干涉仪。附加干涉数据可根据本发明解释以提供光束频率和强度的测量。
来自模式选择调谐器光学反馈

[发明专利]一种全光纤式的激光调谐频率测量方法和测量装置-CN202110905981.4有效
发明人：靳刚;成永杰;刘星汛;黄承祖;彭博;代明珍;康宁;齐万泉 -专利权人：北京无线电计量测试研究所
申请日： 2021-08-06 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种全光纤式的激光调谐频率测量方法和测量装置，所述测量方法包括步骤：被测取样分束、单臂延时、双光束合束光学干涉、马赫曾德尔干涉条纹探测，以及根据干涉条纹的时域内峰峰值信号反推激光频率调谐范围；其根据激光干涉的强度随时间变化特征，通过干涉的高分辨能力将激光的频率调谐范围转换为双光束激光干涉信号的强度信息，提取干涉极强值和极弱值条纹间距，结合干涉仪中的两臂等效光程差，换算成被测激光频率移动差值，在时域上即可得到被测激光的频率调谐范围；能实现较大可测激光频率范围、更宽调谐带宽、更高的测量精度。
一种光纤激光调谐频率测量方法测量装置