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[实用新型]一种超精密机床直线度的测量装置-CN202123241202.X有效
发明人：余俊成 -专利权人：机械科学研究总院海西（福建）分院有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： G01B11/27 文献下载
摘要：本实用新型提供的一种超精密机床直线度的测量装置，包括机床主轴箱和设置在机床主轴箱下方的工作台，机床主轴箱上安装有干涉镜，工作台上安装有反射镜，干涉镜与反射镜均设置在激光干涉仪的测量路径上，机床主轴箱通过测量支架连接激光干涉仪，测量支架包括支架上梁和支架下梁，支架上梁上表面的一端设置有磁力座，支架上梁通过磁力座连接机床主轴，支架上梁远离磁力座的一端固定连接支架下梁，采用上述技术方案，利用磁力座将支架上梁固定吸附在机床主轴箱底部，再通过激光干涉仪安装座将激光干涉仪安装在支架下梁上，利用测量支架安装激光干涉仪，能够大幅减少激光干涉仪与干涉镜之间的空行程，空行程越短，测量的精度也就越高。
一种精密机床直线测量装置

[发明专利]一种红外干涉高精度位移装置及其测量方法-CN202210822265.4在审
发明人：李琪;张正东;杜彪;李轲;卢小新;徐晓雯;裴修尧;朱云鹏 -专利权人：中国计量科学研究院;北京易兴元石化科技有限公司
申请日： 2022-07-13 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开了本发明提供一种红外干涉高精度位移装置，涉及光学用机械装置技术领域，具备直线位移机构；固定在直线位移机构上的移动干涉反射镜；纳米光栅，安装在所述直线位移机构上，所述纳米光栅能够实时测量所述直线位移机构的位移并发出位移信号；数据采集机构，接收自所述纳米光栅发出的位移信号并进行等间隔采样；还提供了该红外干涉高精度位移系统的测量方法；本发明中的干涉反射镜测量轴与直线位移机构运动轴同轴，并采用纳米光栅实时读取当前位置干涉光程差，不需要引入第二套光干涉系统，也不需考虑两套干涉系统光轴同轴问题，通过一次测量即可确定红外干涉零光程差的位置，保证仪器快速响应和测量。
一种红外干涉高精度位移装置及其测量方法

[发明专利]用于测量激光的斐索干涉波长计、光学设备-CN202111504640.2有效
发明人：孟鑫;毛桂林;王周兵;刘艺璇;徐斌豪;杨培津 -专利权人：江苏师范大学
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：本发明涉及激光的测量和光学检测领域。用于测量激光的斐索干涉波长计，平行光束中的一部分光经过由平板后经过第一楔板结构形成密干涉条纹图像；平行光束中的另一部分光经过由平板后经过第二楔板结构形成疏干涉条纹图像；密干涉条纹图像、疏干涉条纹图像经过成像物镜成像在图像摄取装置上，分析装置对密干涉条纹图像数据、疏干涉条纹图像数据，进行分析获得入射激光的波长。光学设备，利用所述的用于测量激光的斐索干涉波长计测量激光源，并根据测量结果校准激光源。本发明提高波长测试精度、系统内部无运动部件、结构牢固可靠，稳定性好。
用于测量激光干涉波长光学设备

[发明专利]光纤迈克尔逊干涉仪非线性误差修正方法-CN201911036469.X在审
发明人：胡鹏程;董祎嗣;杨睿韬;乐志涛 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2019-10-28 - 公布日： 2020-01-17 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：光纤迈克尔逊干涉仪非线性误差修正方法属于光纤干涉测量技术领域；本发明在不需要改变第一反射镜和第二反射镜位置的前提下，通过给激光波长可调制光源进行波长预扫描，利用输出激光波长的连续变化使干涉仪的参考光束与测量光束之间的光程差产生连续的变化，使得探测器得到的干涉信号产生至少一个周期的相位变化，实现干涉信号特征参数的预提取，并利用预提取的特征参数在测量过程中实现非线性误差修正，进行高精度位移测量；本发明实现了对光纤迈克尔逊干涉仪干涉信号特征参数的预提取、能够有效解决干涉测量尤其是微小位移测量中非线性误差的修正问题，在精密测量领域具有显著的技术优势。
干涉信号特征参数预提取光纤迈克尔逊干涉仪非线性误差修正测量技术领域精密测量领域输出激光波长微小位移测量反射镜位置非线性误差可调制光源参考光束测量光束测量过程干涉测量光纤干涉激光波长技术优势精度位移相位变化有效解决反射镜光程差预扫描波长探测器测量修正干涉

[发明专利]光纤迈克尔逊干涉测振仪非线性误差修正方法-CN201911030986.6在审
发明人：胡鹏程;董祎嗣;冉明;初文豪 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2019-10-28 - 公布日： 2020-01-17 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：光纤迈克尔逊干涉测振仪非线性误差修正方法属于光纤干涉测量技术领域；本发明在不需要改变第一反射镜和第二反射镜位置的前提下，通过给激光波长可调制光源进行波长预扫描，利用输出激光波长的连续变化使干涉仪的参考光束与测量光束之间的光程差产生连续的变化，使得探测器得到的干涉信号产生至少一个周期的相位变化，实现干涉信号特征参数的预提取，并利用预提取的特征参数在测量过程中实现非线性误差修正，进行高精度振动测量；本发明实现了对光纤迈克尔逊干涉测振仪干涉信号特征参数的预提取、能够有效解决干涉测量尤其是微小振动测量中非线性误差的修正问题，在精密测量领域具有显著的技术优势。
干涉信号特征参数预提取非线性误差修正迈克尔逊干涉测振仪光纤测量技术领域精密测量领域输出激光波长微小振动测量反射镜位置非线性误差可调制光源参考光束测量光束测量过程干涉测量光纤干涉激光波长技术优势相位变化有效解决振动测量反射镜光程差预扫描波长探测器修正干涉

[发明专利]一种基于正弦调频干涉的动态绝对距离测量方法-CN202310918827.X在审
发明人：甘雨;姜昊天;孟祥彬;刘国栋 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-07-25 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01S17/36 文献下载
摘要：一种基于正弦调频干涉的动态绝对距离测量方法，涉及激光雷达相位解调技术领域。本发明是为了解决现有绝对距离测量方法存在精度低及测量范围受限的问题。本发明所述的一种基于正弦调频干涉的动态绝对距离测量方法，扫频光源射出的光信号输入至第一耦合器后分为两束光信号，两束光信号分别输入至测量干涉仪和辅助干涉仪；用椭圆拟合算法补偿输出信号的非对称性。利用反正切和解包裹运算对测量干涉仪与辅助干涉仪信号相位进行高精度提取，接着对测量干涉仪的相位滤波，低频部分直接解算目标的相对位移，高频部分先解算信号的包络，再解算辅助干涉仪相位的包络，最后两个包络作比值
一种基于正弦调频干涉动态绝对距离测量方法

[实用新型]激光光路调整校验大行程三坐标测量机精度的工装结构-CN202021736684.9有效
发明人：佘刚;罗杰;王国栋 -专利权人：思瑞测量技术（深圳）有限公司
申请日： 2020-08-18 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种激光光路调整校验大行程三坐标测量机精度的工装结构，包括激光干涉仪、线性干涉镜、安装轴、固定柱、底板、螺钉和光路调整机构，激光干涉仪通过安装轴固定安装在底板上，所述线性干涉镜通过固定柱安装在底板上，所述光路调整机构通过螺钉固定安装在线性干涉镜上，所述线性干涉镜上设置与线性干涉镜相配合的光路调整机构。本实用新型解决常用标准工具校验大行程三坐标测量机精度时存在的不能满足“每个方位的已校准的检测长度的最大长度至少是沿着坐标测量机测量线方向最大行程的66％”的局限性问题。借助激光干涉仪，可以根据实际行程的大小合理的设定测量方向上的校验测量值，保证测量机在全行程内精度一致性达到使用要求。
激光调整校验行程坐标测量精度工装结构

[实用新型]一种大尺寸长度测量装置组合-CN201220337857.9有效
发明人：武立群;樊永元;陈俊 -专利权人：内蒙航天动力机械测试所
申请日： 2012-07-06 - 公布日： 2013-05-29 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种大尺寸(＞100mm)长度测量装置组合，解决了在测长机上可直接测量任意大尺寸长度的测量问题，且具有测量精度高的特点。该组合包括测长机，激光头，反射镜和干涉镜，测长机作为测量机体用于安置被测物体，激光干涉仪的反光镜可移动地安装在测长机尾座上，激光干涉仪的干涉镜安装在测长机的头座上，在测长机上移动头座或尾座可使干涉镜和反射镜产生相对移动填补了目前测量大尺寸长度采用比较测量法(须有相同尺寸的标准器才能完成测量，且不是所有点都能测量)及采用直接测量法，测量范围小，测量精度低的缺陷。
一种尺寸长度测量装置组合

[发明专利]一种采用多波长剪切干涉测量物体表面形貌的方法-CN201310123513.7有效
发明人：冯雪;张长兴;董雪林 -专利权人：清华大学
申请日： 2013-04-10 - 公布日： 2013-08-07 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种采用多波长剪切干涉测量物体表面形貌的方法，涉及被测物体表面形貌测量、光学实验技术领域。该方法利用多波长剪切干涉测量被测物体表面形貌，同时得到多个波长的激光干涉条纹图，利用这些干涉条纹图像得到被测物体表面的斜率、曲率分布和形貌。本发明装置简单，易于实现，较普通单个波长剪切干涉测量被测物体表面形貌精度大大提高，实现全场实时在线高精度测量被测物体表面形貌。
一种采用波长剪切干涉测量物体表面形貌方法

[发明专利]一种基于视频合成孔径雷达的干涉测量方法-CN202210277301.3有效
发明人：闵锐;曹雨欣;余雷;徐浩典;李晋;皮亦鸣;杨晓波;曹宗杰 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2022-03-17 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： G01S13/90 文献下载
摘要：本发明属于雷达干涉测量技术领域，具体涉及一种视频合成孔径雷达的干涉测量方法。本发明将视频SAR各相邻孔径中主天线所成的复图像相融合，各相邻孔径中副天线所成的复图像相融合，得到主天线相邻孔径融合图和副天线相邻孔径融合图，再将主副天线的融合图进行配准后再共轭相乘，得到干涉图，之后再对干涉图进行干涉图数据处理得到高精度的目标高程值本方法旨在消除干涉测量过程中多次干涉图数据处理的冗余过程，节省重复干涉图数据处理的时间，为更快地视频SAR干涉测量提供了新思路。
一种基于视频合成孔径雷达干涉测量方法

[实用新型]基于激光双外差干涉的位移精密测量系统-CN201620669547.5有效
发明人：王凯;张娟;任志刚;刘卓;刘洋;武宏璋;孙培强;肖永生 -专利权人：西安计量技术研究院
申请日： 2016-06-29 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开的基于激光双外差干涉的位移精密测量系统，包括激光器，激光器发射的激光分光后分别送入参考干涉仪和测量干涉仪，参考干涉仪和测量干涉仪分别对应连接有第二测频系统和第一测频系统，第一测频系统和第二测频系统并联后依次连接有混频器本实用新型的基于激光双外差干涉的位移精密测量系统利用两组激光外差信号来构成两组干涉仪，对两组干涉光路的激光分别进行了声光移频，使每一个干涉组内的光束进行外差干涉，探测器接收到回波拍频信号后进行时间域的平均与频域解调，这样将传统的空间域信号处理变成由空间域转换为时间域处理，提高了测量系统的鲁棒性，使得测量系统的精度大大提高。
基于激光外差干涉位移精密测量系统

[发明专利]一种双波长同步干涉的表面形貌测量装置和方法-CN201811118755.6在审
发明人：刘乾;李璐璐;黄文;岳晓斌 -专利权人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
申请日： 2018-09-26 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种双波长同步干涉的表面形貌测量装置和方法。该装置的照明光源含有两个波长的成分，利用分光镜将干涉光分离，并以带通滤波的方式得到单波长干涉条纹，通过两个相机同步采集两个波长的干涉图。该方法从两个波长的干涉图中分别提取位相分布，然后以合成波长的方式复原样品表面高度分布。本发明的双波长同步干涉的表面形貌测量装置和方法通过一次短行程的扫描即可完成高精度的表面形貌测量，可以有效缩短测量时间，提高测量效率，也适用于带有台阶结构的表面测量。
表面形貌测量双波长波长干涉图干涉表面测量测量效率带通滤波干涉条纹高度分布合成波长台阶结构同步采集位相分布样品表面照明光源单波长短行程分光镜干涉光复原扫描相机测量

[发明专利]基于双频多极化差分干涉的地表形变测量方法及设备-CN202211318675.1有效
发明人：刘爱芳;夏犇;葛仕奇;朱力;徐辉 -专利权人：中国电子科技集团公司第十四研究所
申请日： 2022-10-26 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： G01S13/88 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于双频多极化差分干涉的地表形变测量方法及设备，属于雷达干涉测量技术领域。本发明的方法包括：对雷达数据中L频段多极化干涉SAR图像按地表的不同地物类型进行区域划分，得到各地物类型相应区域；对各区域，采用PS‑DInSAR方法进行大尺度形变测量，得到地表的L频段多极化干涉SAR大尺度形变量；获取X频段多极化干涉SAR永久散射体点：提取其微小形变对应的差分干涉相位；进行X频段多极化干涉SAR微小形变测量：融合地表的L频段多极化干涉SAR大尺度形变量、X频段多极化干涉SAR微小形变量本发明能够实现不同地物场景的高精度、多尺度地表形变测量。
基于双频多极化干涉地表形变测量方法设备

[发明专利]一种高精度激光干涉加速度计-CN201910016980.7在审
发明人：李祝;黄祥青;段会宗;骆颖欣;涂良成;叶贤基;覃璇 -专利权人：中山大学
申请日： 2019-01-08 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： G01P15/093 文献下载
摘要：本发明公开了一种高精度激光干涉加速度计，包括固定框架、激光器、第一干涉测量光路、第二干涉测量光路、质量块、第一高反膜、第二高反膜、磁吸复位装置以及数字反馈电路；所述数字反馈电路基于第一干涉测量光路以及第二干涉测量光路中干涉信号的相位的变化由于形成了两套干涉测量光路并通过差分形式输出进行测量加速度，将质量块的位移信号放大了一倍，抑制了环境、激光频率等共模噪声的影响，有效地提高了加速度计的测量精度。
干涉测量光路质量块加速度计高精度激光复位装置数字反馈高反膜磁吸电路测量干涉信号共模噪声固定框架激光频率位移信号形式计算形式输出激光器有效地干涉复位两套放大

[发明专利]一种基于光栅多级衍射同步干涉实现多分辨率、多自由度干涉测量的系统及方法-CN201610078959.6在审
发明人：戴宜全;桂成群;刘胜;雷金 -专利权人：武汉大学
申请日： 2016-02-04 - 公布日： 2016-06-29 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于光栅多级衍射同步干涉实现多分辨率、多自由度干涉测量的系统及方法。创造性的提出了一种集成屏替代通常云纹干涉测量中的读数栅，实现了多级次衍射光的干涉实现和利用（限于激光功率较低、读数光栅固定的衍射角度限制，利用超过正负1级衍射光线进行干涉测量的情况较少），尤其有利于亚纳米级测量，因为，对于纳米级、亚纳米级精度测量时其稳定性往往不好，以不同的灵敏度（利用多级衍射光进行干涉测量）、多次同步复测综合判断尤为重要；另一方面，最近几年激光器制作技术有了很大发展，利用高级次衍射光进行干涉测量逐渐成为可能
一种基于光栅多级衍射同步干涉实现分辨率自由度测量系统方法

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