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[发明专利]一种基于相位传递的双扫频干涉动态测量系统及测量方法-CN202210957840.1有效
发明人：甘雨;段长昊;刘国栋;孟祥斌 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-08-10 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G01S7/497 文献下载
摘要：本发明提出了一种基于相位传递的双扫频干涉动态测量系统及测量方法；两扫频光源的扫频带宽在频域上不交叠，测量干涉仪光路部分用于目标绝对距离解算，辅助干涉仪1光路用于提供调频非线性校正的相频坐标，辅助干涉仪2光路部分与气室光路部分用于在线标定辅助干涉仪1光程，声光调制信号用以实施对辅助干涉仪1信号的相位解调；本发明具有结构简单，抗噪能力更强，辅助干涉仪短，极大降低了采样率，基本不受色散失配和环境变化的影响，可实现非合作目标动态高精度测量及在线溯源等优势。
一种基于相位传递双扫频干涉动态测量系统测量方法

[发明专利]一种多探针平面度检测仪及其检测方法-CN201210094438.1有效
发明人：王生怀;卢文龙;谢铁邦;陈育荣;常素萍 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2012-04-01 - 公布日： 2012-08-01 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种多探针平面度检测仪及其相应的检测方法，该检测仪包括测量探针阵列、测量物镜、干涉显微镜、CCD成像装置、垂直扫描工作台和水平工作台，其中干涉显微镜和CCD成像装置设置在垂直扫描工作台上，分别用于形成光的干涉条纹和干涉条纹的成像；测量探针阵列包括多个探针，这些探针各自的前端具有探针针尖，后端具有平面反射镜；测量物镜固定安装在干涉显微镜下部并处于探针平面反射镜上方，用于对光线进行汇聚；水平工作台设置在测量探针阵列下方用于放置被测样品按照本发明，能够实现多探针同时测量，充分利用光干涉的高精度特性并有效避免测量时被测表面材料光学性能的影响，相应能够实现结构简单、测量精度高和成本低的效果。
一种探针平面检测及其方法

[发明专利]基于液晶计算全息图的同步移相干涉测量系统及方法-CN201710235095.9有效
发明人：胡摇;朱秋东;郝群;王劭溥 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2017-04-12 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开的一种基于液晶CGH的同步移相干涉测量系统和方法，属于光学测量领域。基于液晶CGH的同步移相干涉测量系统包括正交偏振激光器、扩束系统、分光镜、参考镜、液晶CGH、待测非球面、偏振分光棱镜、面阵探测器。液晶CGH是由取向正交的液晶分子不同区域间隔排列产生的位相光栅，有两方面作用，其一是补偿被测面像差，完成零补偿干涉测量；其二是配合正交偏振激光完成π相位移相，结合偏振分光棱镜完成分光，实现空间同步移相干涉测量本发明还公开用于所述的测量系统的一种基于液晶CGH的同步移相干涉测量方法。本发明利用液晶CGH同时完成补偿被测面像差和偏振移相的功能，进而实现精简空间同步移相干涉光路结构，具有系统简洁、抗干扰能力强、测量精度高的优点。
基于液晶计算全息图同步相干测量系统方法

[发明专利]一种干涉仪测向误差分布快速估计方法及系统-CN201910229327.9有效
发明人：陆安南;叶云霞 -专利权人：中国电子科技集团公司第三十六研究所
申请日： 2019-03-25 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： G01S3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种干涉仪测向误差分布快速估计方法及系统，属于干涉仪测向技术领域，解决了现有技术中步骤繁琐且计算复杂度较高的问题。一种干涉仪测向误差分布快速估计方法，包括以下步骤：对干涉仪入射连续波信号x(t)采样得到采样信号x(m)后，进行快速傅里叶变换，得到频域数据X(k)；获取X(k)为最大值时k的值k0；根据k0对信号相位测量误差的方差进行近似估计，得到信号相位测量误差的方差，根据所述信号相位测量误差的方差，得到信号相位测量误差符合的概率分布和分布函数；根据相位测量误差符合的概率分布得到所述干涉仪入射角测量误差分布。实现了快速得到信号相位测量误差符合的概率分布和分布函数，以及快速得到干涉仪入射角测量误差分布。
一种干涉仪测向误差分布快速估计方法系统

[发明专利]基于干涉仪模块的半导体激光六自由度误差测量系统-CN202010177627.X有效
发明人：蔡引娣;桑琦;谢波;文志祥;凌四营;范光照 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2020-03-13 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明属于定位平台运动误差测量领域，提出了基于干涉仪模块的半导体激光六自由度误差测量系统，包括干涉仪模块和五自由度误差测量模块。使用半导体激光器作为其光源。基于干涉仪测距原理的干涉仪模块用于测量线性定位平台和旋转定位平台的定位误差和轴向运动误差。干涉仪模块采用集成化设计，减小了各光学元件之间鬼影现象出现。同时，缩小了干涉仪模块的体积。基于激光准直和激光自准直原理的五自由度误差测量模块用于测量线性定位平台的二维线性度误差和三维角度误差或旋转定位平台的二维倾角误差、一维轴向运动误差和二维径向运动误差。通过不同安装方式，该测量系统可实现线性定位平台和旋转定位平台的运动误差在线、全参数和高精度测量。
基于干涉仪模块半导体激光自由度误差测量系统

[发明专利]测量三维折射率的微分干涉层析方法及其测量仪-CN200410054192.0无效
发明人：鲁阳 -专利权人：浙江大学
申请日： 2004-08-30 - 公布日： 2005-03-02 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本发明公开的测量三维折射率的微分干涉层析方法及其测量仪是基于迈克耳孙干涉和光学共焦滤波方法的组合，即使用聚焦探测光束，利用共焦光学滤波提取被测介质内部“点”的逆向散射光，通过连续扫描和干涉比较，计量微米量级微小区间的光程变化本发明不仅解决了以往用积分干涉方法不能有效测量三维折射率的问题，而且所提供的微分干涉层析测量仪测量精度高、结构简单。由于物质的温度、浓度、密度等多种其它物理性质都同折射率密切相关，而微分干涉层析测量以物质的折射率作为原始测量物理量，因此，本发明可以通过测量折射率来间接测定与折射率有关的其它多种物理量，在科学研究和工程领域均具有广泛的应用潜力
测量三维折射率微分干涉层析方法及其测量仪

[发明专利]用于测量表面的方法、干涉测量装置、机器可读介质-CN202010079701.4有效
发明人： F·皮尔扎格达;托马斯·延森 -专利权人：赫克斯冈技术中心
申请日： 2020-02-04 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本公开提供用于测量表面的方法、干涉测量装置、机器可读介质。通过将测量结果分类成有效或无效来估测表面的方法。一种用于测量表面(24)的方法，具体地根据光学相干层析成像的原理，由此基于干涉图(2)通过基于对相应干涉图(2)的相位变化(4)和幅度变化(4')的评价(7)将测量结果(2、11、13、19)分类(6a、6b、6b')成无效(6a)或有效(6b、6b')来基于干涉图测量到表面(24)的点的距离(D)。
用于测量表面方法干涉装置机器可读介质

[发明专利]一种基于数字全息的透镜焦距测量装置及方法-CN202110017744.4有效
发明人：楼宇丽;陈晓雪;李重光;代梦诗;孙其华 -专利权人：昆明理工大学
申请日： 2021-01-07 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开一种基于数字全息的透镜焦距测量装置及方法，属于透镜焦距测量技术领域。本发明所述方法使通过待测透镜的物光波与一束参考光波发生干涉，改变参考光波面半径，用电荷耦合器件在干涉场中记录干涉图像，再通过分析干涉图像信息及参考光波波面半径的改变量测量出待测透镜的焦距值；该方法不涉及复杂光程的直接测量，无需修正测量结果，减小实验误差，对数字全息图重建及透镜焦距测量方法给予有益的参考。
一种基于数字全息透镜焦距测量装置方法

[发明专利]用于对眼结构进行建模的设备-CN201680019219.3有效
发明人： P·扎卡洛夫;D·伯斯;M·穆罗辛;A·诺兰 -专利权人：诺华股份有限公司
申请日： 2016-03-16 - 公布日： 2019-12-17 - 主分类号： A61B3/103 文献下载
摘要：一种用于对眼睛参数进行运动补偿建模的设备，包括：用于相对于所述设备的光学参考坐标系测量所述眼睛的多个位置参数的第一测量装置；用于在多个光学参考坐标处测量干涉信号的第二测量装置，其中，所述多个位置参数的测量与所述干涉信号的测量在时间上是同步的；用于校正所述干涉信号以考虑所述多个位置参数中的某个参数的位移的装置；以及用于至少部分地基于校正后的干涉信号来对所述眼睛参数进行建模的装置。
用于对眼结构进行建模设备

[发明专利]横向相减差动共焦干涉元件多参数测量方法与装置-CN201910319735.3有效
发明人：赵维谦;邱丽荣;王允 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本发明公开的横向相减差动共焦干涉元件多参数测量方法与装置，属于光学精密测量技术领域。本发明将高层析、抗散射的共焦显微测量技术创新性地融入大尺寸元件参数测量的面形干涉测量系统中，利用自行提出的横向相减差动共焦测量技术来测量元件曲率半径、透镜折射率、透镜厚度、透镜顶焦距和镜组间隙等参数，利用自行提出的被测工件移向干涉面形测量技术来测量元件的表面面形，以期在同一测量装置上实现元件参数的高精度综合测量，大幅提高测量精度和测量效率，同时有效规避干涉测量无法测试精磨元件曲率半径等尺寸参数的难题，为光学球面加工摆脱传统样板检测束缚提供可能，具有广泛应用前景
横向差动焦干元件参数测量方法装置

[发明专利]一种多模式光学在线测量装置及测量方法-CN202011497868.9有效
发明人：张宇 -专利权人：东北电力大学
申请日： 2020-12-17 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明一种多模式光学在线测量装置及测量方法，属于光学测量技术领域，设计了一种多模式光学在线测量装置，在干涉测量技术的基础上引入差动共焦显微技术，满足不同动态范围光学曲面宏观面形以及表面粗糙度的在线测量；并提出了一种多模光学在线测量方法，实现了不同动态范围光学曲面宏观面形及其表面粗糙度在同一台装置中的在线测量，LED干涉显微测量、单波长激光干涉测量、双波长激光干涉测量及差动共焦显微测量四种工作模式的融合，形成了适合不同动态范围光学曲面宏观面形及表面粗糙度的光学测量技术，为光学在线测量提供了一种新的有利工具。
一种模式光学在线测量装置测量方法

[发明专利]一种用于微小角度测量的F-P标准具干涉成像质量评价方法-CN202011533267.9有效
发明人：刘源;沈小燕;李东升;禹静 -专利权人：中国计量大学
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于微小角度测量的F‑P标准具干涉成像质量评价方法，本发明通过测量并且评价F‑P标准具干涉成像图像的光强分布均匀性评价、图像的清晰程度评价、图像的椭圆化程度评价和图像的成像圆环之间最优选取评价，大大提高了成像质量，本发明弥补了在F‑P标准具干涉法测量微小角度中，缺少一个对干涉图像质量评价方法的不足，可实现用于微小角度测量的F‑P标准具干涉成像质量评价。
一种用于微小角度测量标准干涉成像质量评价方法

[发明专利]一种光刻机传感器校准方法-CN201210409067.1有效
发明人：虞晔;许琦欣;孙刚 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2012-10-24 - 公布日： 2014-05-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提出一种光刻机传感器校准方法，用于校正垂向测量干涉仪的阿贝臂和余弦角，通过调整工件台5自由度的姿态曝光校正垂向测量干涉仪的阿贝臂和余弦角，解决垂向干涉仪的标定问题，校正垂向测量干涉仪的阿贝臂和余弦角
一种光刻传感器校准方法

[发明专利]一种光栅干涉仪对准误差实时校正方法-CN201710673638.5在审
发明人：夏豪杰;张欣;于连栋;李维诗;陈长春;胡梦雯;张海铖;吴晓婷 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2017-08-09 - 公布日： 2017-11-14 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种光栅干涉仪对准误差实时校正方法，包括光栅干涉仪位移测量光路、位姿偏转检测光路、光电检测模块、干涉仪信号处理与误差补偿模块。光栅干涉仪位移测量光路主要由激光光源、光栅、非偏振分光镜、偏振分光镜、四分之一波片组成；位姿偏转检测光路主要由半透半反镜和聚焦透镜组成；干涉仪信号处理与误差补偿处理光栅干涉仪信号位移解调与光栅测量误差补偿本发明利用对称光路以及四象限探测器来测量光学读数头相对于光栅尺空间位姿绕x轴、y轴和z轴偏转量，通过误差补偿模型对位移测值实时进行实时校正，最终达到提高光栅干涉仪测量精度的目的，测量简单，误差小。
一种光栅干涉仪对准误差实时校正方法

[发明专利]一种纳米精度多维光学干涉测量系统及其测量方法-CN202111015157.8在审
发明人：王金玉;杜凯;李俊;熊亮;赵文豪;尹韶云;汪岳峰;胡建明 -专利权人：中国科学院重庆绿色智能技术研究院;重庆师范大学
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种纳米精度多维光学干涉测量系统及其测量方法，包括硅片台，硅片台用于安置硅片，硅片台的侧面有三轴集成干涉仪、四轴集成干涉仪和两轴集成干涉仪，两轴集成干涉仪到硅片台的距离与四轴集成干涉仪到硅片台的距离相等本发明依据同向冗余布置思路，在传统的六轴激光干涉仪的Y方向上增加一个冗余轴，成为七轴方案，根据反向冗余布置思路，在现有的Y和Z方向的测量轴对于XZ平面镜像位置各布置一个冗余轴，得到九轴冗余测量系统，基于此种拓扑设计的位移解算算法封闭，只包含较少的加减乘除，不存在迭代及超越函数运算，其所耗计算资源很小，解算结果精度可达纳米级，也可用于测量环境保障与环境补偿问题中，在超精密应用场合进行位移测量。
一种纳米精度多维光学干涉测量系统及其测量方法