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[发明专利]微机械可调法布里‑珀罗干涉仪装置及其生产方法-CN201310229267.3有效
发明人：亚尔科·安蒂拉;马尔蒂·布卢姆伯格 -专利权人： VTT技术研究中心
申请日： 2013-06-08 - 公布日： 2017-11-14 - 主分类号： G02B26/00 文献下载
摘要：本发明涉及微机械可调法布里‑珀罗干涉仪装置及其生产方法。其中，通过微机械（MEMS）技术生产可控法布里‑珀罗干涉仪。现有技术干涉仪的温度漂移造成不准确性并且需要复杂封装。根据本发明，该干涉仪装置在同一基板上具有电可调干涉仪和参考干涉仪两者。使用该参考干涉仪测量温度漂移，并且该信息用于补偿利用可调干涉仪进行的测量。因此，可提高测量的准确性和稳定性，并且减轻了对于封装的需求。
微机可调法布里干涉仪装置及其生产方法

[发明专利]一种倾斜入射相移干涉仪和直角棱镜大面测量方法-CN201910484615.9有效
发明人：王子瀚 -专利权人：南京英特飞光电技术有限公司
申请日： 2019-06-04 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： G01B9/0209 文献下载
摘要：本发明公开了一种倾斜入射相移干涉仪和直角棱镜大面测量方法。本干涉仪结构包括相移干涉仪主机、一体化载物工作台以及一对参考平晶。通过特定的入射角，本干涉仪在屏幕上所显示的干涉条纹，与常规正入射干涉仪的条纹完全一致，适合目视观察与快速判读。本干涉仪可以测量常规正入射干涉仪无法直接测量直角棱镜大面面形，无需对直角面进行涂覆。
一种倾斜入射相移干涉仪直角棱镜大面测量方法

[发明专利]一种大径向位移裕度激光外差干涉角度测量装置及方法-CN201710944238.3有效
发明人：张恩政;陈本永 -专利权人：浙江理工大学
申请日： 2017-10-12 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种大径向位移裕度激光外差干涉角度测量装置及方法。采用两个法拉第旋光器实现激光外差干涉角度测量光路中线偏振光偏振方向的准确正交转换；包括激光外差干涉角度探测光路部分和角度测量镜，利用法拉第旋光器、偏振分光镜、四分之一波片、平面反射镜共同构建的光路结构使得当测量镜存在大径向位移误差时，测量光束能够有效逆返。本发明解决了传统激光干涉角度测量技术中测量镜存在大径向位移误差导致测量光束偏离探测器上的初始探测孔径，影响干涉信号的正常生成甚至导致干涉测量中断的技术问题，可实现兼顾高分辨率和大测量范围的角度测量，适用于精密加工与制造、机械系统的装调和校准等领域所涉及精密工作台的角度测量与校准中。
一种径向位移激光外差干涉角度测量装置方法

[发明专利]双频激光光栅干涉测量方法及测量系统-CN201110174869.4无效
发明人：颜树华;王国超;杨俊;周卫红;杨东兴 -专利权人：中国人民解放军国防科学技术大学
申请日： 2011-06-27 - 公布日： 2012-02-15 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：一种双频激光光栅干涉测量方法及测量系统，该测量方法为先利用双频激光器输出双频激光，使普通光栅干涉测量的直流信号系统转变为交流信号系统，然后让双频激光通过一分光镜以形成参考光路和测量光路，再通过光栅的运动使测量光路光学拍干涉场的拍频发生变化，最后用数字相位测量法将各光学拍干涉场得到的高倍数光学细分信号进行高倍数电子细分，完成测量。本发明的测量系统包括双频激光器和第一分光镜；经第一分光镜后的反射、透射光束分别形成参考、测量光路，参考光路上设有检偏器和光电探测器，测量光路上设有光栅衍射干涉系统，光栅衍射干涉系统后的输出光路上设光电探测器本发明具有抗干扰能力强、稳定性好、使用方便、测量精度高等优点。
双频激光光栅干涉测量方法测量系统

[发明专利]基于宽带光干涉表面形貌测量方法及其测量仪-CN200510019154.6无效
发明人：郧建平;谢铁邦;常素萍 -专利权人：武汉大学
申请日： 2005-07-25 - 公布日： 2005-12-28 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：基于宽带光干涉表面形貌测量方法及其测量仪，采用宽带光干涉装置，将被测物放置在计量型垂直位移工作台上，计量型垂直位移工作台放置在共基面运动X－Y工作台上。测量光照射被测物表面，由被测表面的反射光和参考光产生干涉条纹，利用宽带光干涉原理进行非接触式测量；在物镜下放置平面反射镜，平面反射镜随探针的上下移动而摆动，测量光照射平面反射镜，由平面反射镜的反射光和参考光产生干涉条纹，利用宽带光干涉原理进行接触式测量。本测量方法及其测量仪具有大量程、高分辨率、可接触与非接触测量、速度快、性价比高的特点。本发明可对工程表面的形貌，包括形状、波度、表面粗糙度进行综合测量，可满足工程表面全范围的表面形状测量，同时对于MEMS的几何尺寸、形状、振动等均可实现非接触测量。
基于宽带干涉表面形貌测量方法及其测量仪

[发明专利]膜厚测量装置以及测量方法-CN201080010049.5有效
发明人：大塚贤一;中野哲寿;渡边元之 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2010-01-20 - 公布日： 2012-02-01 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：膜厚测量装置(1A)被构成为具有：测量光源(28)，其将包含第1波长(λ1)的测量光成分及第2波长(λ2)的测量光成分的测量光供给至测量对象物(15)；分光光学系统(30)，其将来自测量对象物(15)的上面的反射光与来自下面的反射光的干涉光，分解成第1波长(λ1)的干涉光成分、及第2波长(λ2)的干涉光成分；光检测器(31、32)，其检测第1、第2干涉光成分各自在各时点的强度；以及膜厚解析部(40)。膜厚解析部(40)基于第1干涉光成分的检测强度的时间变化中的第1相位与第2干涉光成分的检测强度的时间变化中的第2相位的相位差，求得测量对象物(15)的膜厚的时间变化。由此，实现了能够高精度地测量膜状的测量对象物的膜厚的时间变化的膜厚测量装置及膜厚测量方法。
测量装置以及测量方法

[发明专利]一种具有波长实时修正和稳定功能的半导体激光干涉仪-CN202010172854.3在审
发明人：蔡引娣;冯保凯;谢波;凌四营;范光照 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2020-03-13 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明属于精密测量领域，具体涉及一套具有激光波长实时修正和稳定功能的半导体激光干涉仪，包括：干涉仪模块部分、波长实时修正部分、波长实时稳定部分。干涉仪模块部分可以测量移动角锥棱镜的位移值；波长实时修正部分可以通过实时测量和修正半导体激光器的波长来提高干涉仪模块部分的测量精度；波长实时稳定部分可以通过实时稳定半导体激光器的波长来提高干涉仪模块部分的稳定性该半导体激光干涉仪结构简单，所需光学元器件少，装置整体体积较小，易集成在纳米定位平台上进行位移在线测量。
一种具有波长实时修正稳定功能半导体激光干涉仪

[发明专利]一种晶体折射率测量方法、装置及存储介质-CN202110990860.4在审
发明人：龙佳乐;刘馨悦;张建民;杜梓浩;丁毅 -专利权人：五邑大学
申请日： 2021-08-26 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶体折射率测量方法、装置及存储介质，其中方法包括获取由干涉仪产生的参考干涉图像和晶体干涉图像；对参考干涉图像和晶体干涉图像进行重心点计算得到第一重心点坐标和第二重心点坐标；计算重心相对移动量，根据重心相对移动量、参考干涉图像的条纹宽度、晶体的厚度和源光束的波长得到折射率；无需对晶体进行加工改变晶体形状即可直接进行折射率测量，且测量精度高，测量速率高，大大提升了晶体折射率测量的效率和准确率。
一种晶体折射率测量方法装置存储介质

[发明专利]一种激光干涉仪自动对光的测量方法-CN201710667421.3有效
发明人：刘志兵;冷寿阳;张路;王西彬;程继超;黄涛;籍永建;焦黎;颜培;赵轲;王东前;杨洪建 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2017-08-07 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明涉及机械工程领域，并涉及机械加工后的检测，具体涉及一种激光干涉仪自动对光的测量方法，本发明包括干涉仪，所述干涉仪包括干涉镜、反射镜、激光发生器以及连接激光发生器和反射镜的光纤，本发明中当镜组的测量角度发生改变时，只需通过伺服电机控制干涉镜和反射镜旋转相同的角度即可完成重新对光，而不用人为重新对光，实现了测量过程中激光干涉仪的自动瞄准；本发明在xy平面和yz平面均能进行对准，保证了该测量系统能够在整个空间内对机床进行测量
反射镜测量激光发生器激光干涉仪干涉镜干涉仪机械工程领域伺服电机控制测量过程测量系统机械加工激光干涉整个空间镜组机床对准光纤瞄准检测保证

[发明专利]基于飞秒光梳同步锁频的多波长干涉实时绝对测距装置-CN201510848465.7在审
发明人：颜树华;王国超;林存宝;罗玉昆;胡青青;魏春华;杜志广;厉泽环;王恩龙 -专利权人：中国人民解放军国防科学技术大学
申请日： 2015-11-27 - 公布日： 2016-05-18 - 主分类号： G01S17/36 文献下载
摘要：一种基于飞秒光梳同步锁频的多波长干涉实时绝对测距装置，包括基于飞秒光梳同步锁频的多波长发生器，用来出射多个高频率稳定度的目标波长激光；外差干涉仪，用来接收由飞秒光梳同步锁频后的多波长发生器输出的激光，经外差干涉仪发生干涉的返回测量光和参考光由透镜聚焦耦合到单模光纤中，形成混合的多波长外差干涉信号；同步相位解调模块，用来将外差干涉仪得到的混合干涉信号通过波长解调分离得到各个波长对应的干涉信号，并对各个波长的干涉信号进行同步相位测量处理，最终得到精确的绝对距离值。本发明具有量值溯源性强、测量精度高、非模糊度量程大、更新速率快和易于现场实时测量等优点，适合于工业生产、装备制造和等大尺寸精密测量领域。
基于飞秒光梳同步波长干涉实时绝对测距装置

[发明专利]利用双线条相机的断层摄影检查装置和方法-CN202110845182.2在审
发明人：权载桓;刘大源;朱艺娜 -专利权人：株式会社湖碧驰
申请日： 2021-07-26 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： G01N21/359 文献下载
摘要：所述断层摄影检查装置包括：光源，其产生入射至样品的内部的测量光；光束分束器，其将测量光分割为基准光和样品测量光，并将基准光照射至基准部的基准镜，将样品测量光照射至样品，并且使从基准镜反射的基准反射光和从样品反射的信号反射光)重叠以生成干涉光；扫描镜，其将样品测量光依次引导至样品上的多个检查位置；以及检测部，其依次检测信号反射光重叠的多个干涉光，以获得样品的内部影像信号，所述检测部包括：光束分束器，其将多个干涉光分割为第一干涉光和第二干涉光；第一线条相机，其检测多个第一干涉光中的第奇数个干涉光；以及第二线条相机)，其检测多个第二干涉光中的第偶数个干涉光。
利用双线相机断层摄影检查装置方法

[发明专利]光自相干传感光路结构、频移变化检测方法和传感装置-CN201710825711.6有效
发明人：代志勇;王大鹏;余力 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2017-09-14 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： G01K11/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种光自相干传感光路结构、布里渊频移变化检测方法和光纤动态应变或温度传感装置，光自相干传感光路结构包括环行器（1）、以及与环行器（1）连接的传感光纤（6）和干涉光路（7）；所述的传感光纤（6）上设置有预设应变或温度点（2）和第一测量点（3）；所述的干涉光路（7）包括干涉短臂（4）和干涉长臂（5）两条干涉臂，两条干涉臂长的长度差正好等于预设应变或温度点（2）和第一测量点（3）之间的距离，在预设应变或温度点（2）反射回来经干涉长臂（5）的光信号与在第一测量点（3）反射回来的经干涉短臂（4）的光信号发生干涉，获得布里渊频移变化量。本发明有效地缩短测量时间，实现快速的动态应变或温度测量。
相干传感结构变化检测方法装置

[发明专利]一种干涉-荧光原位耦合的荧光染色薄膜厚度测量系统-CN202310486789.5在审
发明人：王文中;陈虹百;梁鹤 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种干涉‑荧光原位耦合的荧光染色薄膜厚度测量系统，对干涉条纹法不适用于微米尺度以上的膜厚测量、荧光法微米尺度以下膜厚测量灵敏度欠佳的问题，本发明考虑到两种方法各自的优势，能够基于同一光路在原位分别得到待测薄膜的荧光强度分布与干涉条纹图像，进而可以分别使用荧光法与干涉法计算微米级、纳米级薄膜厚度，实现干涉‑荧光原位耦合的薄膜厚度测量，从而有效地提升薄膜厚度测量的灵敏度，扩展薄膜厚度测量的量程。
一种干涉荧光原位耦合染色薄膜厚度测量系统

[发明专利]一种基于波数分辨的低相干干涉绝对距离测量系统-CN201510626988.7有效
发明人：谢芳;赵可强;马森;王韵致 -专利权人：北京交通大学
申请日： 2015-09-28 - 公布日： 2017-11-14 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于波数分辨的低相干干涉绝对距离测量系统，属于光学测量技术领域。所述系统由宽带光源、光纤隔离器、3dB‑耦合器、自准直镜、光纤光栅、测量镜、参考镜、探测器、环行器、光栅、透镜、线阵探测器、压电陶瓷、反馈控制、A/D转换卡、计算机和结果输出组成。宽带光源发出的光经过干涉仪获取被测量信息，光栅将干涉仪输出的宽谱干涉信号色散成波长在空间连续分布的光片，由线阵探测器探测。将线阵探测器的各像元探测到干涉信号转换成对应的波数干涉信号，两相邻峰值之间的波数变化量与干涉仪光程差的绝对值成正比，测出两相邻峰值之间的波数变化量，即测出被测量的绝对值。反馈控制补偿环境的干扰使测量系统适合在线测量。
一种基于分辨相干干涉绝对距离测量系统

[发明专利]电光调制激光干涉线位移及角位移测量装置和方法-CN202011344390.6有效
发明人：黄腾超;王先帆;车双良;舒晓武 -专利权人：浙江大学
申请日： 2020-11-25 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： G01D5/353 文献下载
摘要：本发明公开了一种电光调制激光干涉线位移及角位移测量装置和方法，属于精密测量领域。该装置包括一个单频He‑Ne激光器、一个电光相位调制器、三个光电探测器、两个测量角锥反射镜以及若干光学元件，单频He‑Ne激光器用于产生及发射线偏振光，电光相位调制器给参考激光信号相位调制，一个光电探测器探测参考激光干涉信号，另外两个光电探测器分别探测由两个测量角锥反射镜得到的两个测量干涉信号，若干光学元件用于控制激光传输方向和偏振态，通过解调技术得到参考干涉信号和测量干涉信号的相位，继而分别得到两个测量干涉信号与参考干涉信号的相位差
电光调制激光干涉位移测量装置方法