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[发明专利]一种基于欠采样与希尔伯特变换的白光干涉三维重建方法-CN202310111313.3在审
发明人：肖琴;王金玉;杜凯;尹韶云;邹劲松 -专利权人：重庆邮电大学
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明请求保护一种基于欠采样与希尔伯特变换的白光干涉三维重建方法，其包括以下步骤：根据光源波长和带宽选择欠采样的采样步长，使用白光干涉仪采集欠采样的白光干涉信号并进行高斯滤波；根据光源波长和带宽，模拟得到理想白光干涉信号；对处理后的白光干涉信号分别进行希尔伯特变换，得到欠采样白光干涉信号包络曲线即测量信号，以及理想白光干涉信号包络曲线即理想信号；将测量信号与理想信号进行归一化处理，得到测量序列与理想序列；测量序列与理想序列进行滑动相关计算，得到相关系数rs；找出相关系数rs的极大值点，即为极大相关点，以极大相关点为理想信号的起始点，将理想信号替换到测量信号中去，重新计算测量信号的包络峰值位置，解出高度。
一种基于采样希尔伯特变换白光干涉三维重建方法

[发明专利]共焦白光偏振干涉的多层透明介质厚度测量装置和方法-CN201610956898.9有效
发明人：赵斌;徐娅 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2016-10-27 - 公布日： 2018-12-28 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明属于白光干涉测厚领域，并公开了共焦白光偏振干涉的多层透明介质厚度测量装置和方法。包括被测物、第三透镜、第二透镜、第二小孔构成共焦结构，平行白光经第二棱镜后，一束作为测量光束经第三透镜汇聚到被测表面，另一束作为参考光束经过多次反射后与从被测表面反射回来的测量光束发生干涉，在第二棱镜和第二透镜之间设置提高干涉条纹的对比度的可旋转偏振片，实现在第一图像传感器上形成高对比度干涉条纹。本发明还公开了利用上述装置进行测量的方法。通过本发明，采用参考光束和测量光束在横向微小的偏离量，同时利用共焦和白光干涉技术，简单快速地形成了有限宽度的白光干涉条纹，从而实现了多层透明介质厚度的测量。
白光偏振干涉多层透明介质厚度测量装置方法

[发明专利]一种子孔径拼接干涉测量方法和装置-CN202010675574.4有效
发明人：胡摇;郝群;王臻 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2020-07-14 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种子孔径拼接干涉测量方法和装置，方法包括：(1)构建子孔径拼接干涉测量装置，使干涉仪与被测镜对心放置，干涉仪的出射光照射在被测镜中心子孔径区域，干涉仪采集的条纹图像满足干涉测量的要求；(2)使用干涉仪对被测镜中心子孔径区域面形进行检测并保存检测结果；(3)加入偏振光栅和λ/4波片，根据实际测量需求调整空间位置、偏转角度及俯仰角度；(4)旋转偏振光栅，使测量光依次照射被测镜除中心子孔径外其余各子孔径区域，完成对被测镜各子孔径区域的面形检测并保存结果；(5)如未覆盖被测镜全口径，换用空间周期更小的偏振光栅重复步骤(3)及(4)，以测量被测镜更外圈子孔径区域；(6)对多次检测结果拼接，得到被测镜的全口径面形。
种子孔径拼接干涉测量方法装置

[发明专利]一种卫星微振动位移测量系统及方法-CN202111619034.5在审
发明人：李艳辉;杨新峰;邓卫华;杨栋;白照广;陆春玲;徐云飞 -专利权人：航天东方红卫星有限公司
申请日： 2021-12-27 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种卫星微振动位移测量系统及方法，该系统包括：至少一个激光干涉位移测量光路子系统、环境补偿单元和数据处理单元，每个激光干涉位移测量光路子系统，用于形成卫星上待测位置所对应的激光干涉位移测量的光路以及通过光路形成干涉光信号，干涉光信号是由向待测位置发送的第一光信号与由第一光信号所反射的第二光信号干涉所得到的；环境补偿单元，与数据处理单元连接，用于生成补偿数据，补偿数据用于补偿校正环境对光路所产生的影响；数据处理单元，采集一路或多路光路所形成的干涉信号以及补偿数据，根据干涉信号以及补偿数据计算每路光路所对应的待测位置的微振动位移。本申请解决了现有技术中测量精度不高的技术问题。
一种卫星振动位移测量系统方法

[发明专利]一种采用比较法的非平衡光纤干涉仪臂长差测量装置及测量方法-CN201811591611.2有效
发明人：张军;赵涵;陈毅 -专利权人：中国船舶重工集团公司第七一五研究所
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： G01D18/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种采用比较法的非平衡光纤干涉仪臂长差测量装置及测量方法，主要包含激光器、信号生成器、光纤拉伸器、标准非平衡光纤干涉仪、光信号接收及处理器、被测非平衡光纤干涉仪等部件，激光器连接到光纤拉伸器的光纤输入接口所述的测量方法原理是：利用干涉光相位调制幅度恒定不变条件下，非平衡光纤干涉仪臂长差与交流电信号电压成反比的关系，结合已知的标准非平衡光纤干涉仪臂长差，得到未知的被测非平衡光纤干涉仪臂长差。本发明的有益效果为：通过构成简单、成本低廉的测量装置及简便的测量方法和操作步骤能快速、准确获得被测非平衡光纤干涉仪的臂长差。
一种采用比较法平衡光纤干涉仪臂长差测量装置测量方法

[发明专利]基于保偏光纤双臂异轴干涉仪的应变温度同时测量装置及方法-CN202011246818.3有效
发明人：杨军;田帅飞;喻张俊;祝海波;张毅博;苑勇贵;徐鹏柏;王云才;秦玉文 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2020-11-10 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01K11/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于保偏光纤双臂异轴干涉仪的应变温度同时测量装置及方法，采用全保偏光纤干涉仪作为传感测量光路，使干涉仪测量臂同时对应变、温度敏感，而参考臂只对温度敏感；将光源输出光同时注入保偏光纤干涉仪快慢轴中传输，并通过干涉仪一传感臂错轴焊接实现双臂异轴干涉，在同一干涉仪中构建对温度和应变具有不同响应的两套传感系统，由于两臂同时对温度敏感，使得干涉仪温度响应为两臂温度响应的差值，通过改变两臂传感光纤长度来调节两套传感系统温度响应系数，构建理想响应矩阵，实现温度和应变响应的彻底分离，完成两者同时精确测量。本发明解决了交叉敏感问题且测量结果精确稳定、灵敏度高，适合于工程应用。
基于偏光双臂干涉仪应变温度同时测量装置方法

[发明专利]一种基于显微白光干涉的纳米探针装置-CN201010295132.3无效
发明人：王生怀;王淑珍;谢铁邦;陈育荣;常素萍;潘文;杨波 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2010-09-29 - 公布日： 2011-02-16 - 主分类号： G01Q20/02 文献下载
摘要：一种基于显微白光干涉的纳米探针装置，包括干涉显微镜主体、参考物镜、反射镜、测量物镜、微悬臂探针和CCD探测器。干涉显微镜主体内部的白光经过分光后，一部分经过测量物镜会聚到微悬臂探针针尖顶部的反射镜上并被反射，进入干涉显微镜主体内部；另一部分通过参考物镜投射到反射镜上并被反射回干涉显微镜主体内部，与由微悬臂探针针尖顶部反射镜反射的白光汇聚，产生的白光干涉条纹。干涉条纹经干涉显微镜主体内部放大镜放大后，在CCD探测器成像平面上成像。该方法具有探针具有结构简单、能实现多探针同时测量、测量精度高和成本低的特点，可用于微米级位移、表面形貌与结构等的测量，分辨率可达1纳米。
一种基于显微白光干涉纳米探针装置

[实用新型]一种光纤干涉式检波器共振频率测量装置-CN201720352734.5有效
发明人：付群健;常天英;张瑾;崔洪亮;陈建冬;白杨 -专利权人：吉林大学
申请日： 2017-04-06 - 公布日： 2017-10-31 - 主分类号： G01H13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光纤干涉式检波器共振频率测量装置，该测量装置主要包括光源、隔离器、环形器、1×2光纤耦合器、光纤干涉型检波器、振动台、光电探测器、频域分析器。由光源发出的一束光，经过隔离器，从环形器的a端口进入，从环形器的b端口输出，进入一个1×2光纤耦合器，分成两束光，这两束光分别连接在光纤干涉型检波器内光纤干涉臂上。通过改变振动台的振动频率，带动光纤干涉型检波器以不同的频率振动。光纤干涉型检波器内光纤干涉臂反射光在耦合器中发生干涉，经过环形器的c端口输出，入射到光电探测器，然后进入频域分析器进行频谱分析。本实用新型测量速度快，提高了测量效率；测量精度高，动态响应范围大。
一种光纤干涉检波器共振频率测量装置

[发明专利]加工装置和振动检测方法-CN202210877936.7在审
发明人：吉田博斗;北原信康;高乘佑 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：加工装置中，振动检测单元包含：光源；干涉单元，其将来自光源的光照射至被测量部件，生成被测量部件的包含干涉图案的干涉图案图像；以及拍摄单元，其拍摄通过干涉单元而生成的被测量部件的干涉图案图像。控制单元具有：存储部，其将通过拍摄单元在规定的时机拍摄的第一干涉图案图像以及在与第一干涉图案图像不同的时机拍摄的第二干涉图案图像进行存储；比较部，其对存储于存储部的第一干涉图案图像与第二干涉图案图像进行比较；以及振动检测部，其根据通过比较部进行了比较的第一干涉图案图像与第二干涉图案图像而检测振动。
加工装置振动检测方法

[发明专利]一种印刷膜片表面粗糙度的干涉测量方法及装置-CN202310931995.2在审
发明人：黄木生;李冬梅;朱琪;林显竣 -专利权人：广东微容电子科技有限公司
申请日： 2023-07-26 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：本申请提出了一种印刷膜片表面粗糙度的干涉测量方法及装置。该干涉测量方法包括：在测试平台上滴设预定量的溶剂；将印刷膜片放置于所述溶剂上，以吸附固定于测试平台上；利用干涉条纹相位技术测量所述印刷膜片的表面粗糙度。本申请利用干涉条纹相位技术测量印刷膜片的表面粗糙度，即采用非接触测量式来测量印刷膜片的表面粗糙度，操作方便，快捷高效，且测量量程较大，测量结果精度高且可表现为立体示意图，直观立体的展示印刷膜片的厚度变化情况
一种印刷膜片表面粗糙干涉测量方法装置

[发明专利]一种光学材料面折射率的测量方法-CN201711113867.8在审
发明人：段存丽;赵鹏程;张玉虹;刘王云;郭荣礼;胡小英;于佳;万文博 -专利权人：西安工业大学
申请日： 2017-11-13 - 公布日： 2018-04-03 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本发明一种光学材料面折射率的测量方法，包括下述步骤1、光束通过扩束、准直、滤波后形成一束平面光波；2、一束平面光波经马赫泽德尔干涉装置形成两列相干光波，两列相干光波形成楔形虚平板，干涉场为等厚干涉条纹，测试干涉场的分布；3、把待测光学材料放在其中一列相干光波中进行测试，待测件的折射率的变化可转化为光波的相位差，测试干涉场的变化分布情况；4、对干涉场的数据进行处理，完成待测光学材料光场面的面折射率测量。本发明建立的折射率变化和干涉场条纹变化之间的数学模型，利用待测件插入前后的干涉图样的变化消除了干涉光路中的误差，实现了光学材料的面折射率绝对测量，并使测量误差降低，测量精度高。
一种光学材料折射率测量方法

[发明专利]基于双波长相移干涉测量光学非均匀性的方法-CN201110086719.8有效
发明人：王玉荣;郑箫逸;李杰;王青圃 -专利权人：山东大学
申请日： 2011-04-07 - 公布日： 2011-11-23 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于双波长相移干涉测量光学非均匀性的方法，是根据材料的色散特性，采用带有光波长不同的两个激光器或波长可调谐激光器的干涉仪，将待测样品在两种波长光波下的折射率非均匀性等同于待测样品所要测量的光学非均匀性；利用相移干涉术得到待测样品放入干涉仪之前在两种波长光波下获得的相移干涉图以及待测样品放入干涉仪之后在两种波长光波下获得的相移干涉图；采用相移干涉相位恢复算法得到在两种波长光波下待测样品放入干涉仪前后的物光波相位之差本发明自动消除了系统误差，测量过程无需调节待测样品，对待测样品前后表面的面形、平行度及加工精度无特殊要求，是一种真正的绝对测量方法，测量精度高。
基于波长相移干涉测量光学均匀方法

[发明专利]一种多波长干涉测量起点位置对齐方法-CN201610003487.8在审
发明人：翟中生;王选择;杨练根;吕清花;丁善婷;许忠保;周立 -专利权人：湖北工业大学
申请日： 2016-01-04 - 公布日： 2016-03-09 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明提供一种适于多波长干涉测量中起点位置对齐方法，提供的PZT驱“弓”字路径驱动方法结合算法实现了不同波长起始位置的对齐，弥补实际PZT驱动惯性造成的起始相移误差，提高了多波长干涉测量精度，提高了测量重复精度和可靠性；本发明所采用的技术方案特别适用于利用PZT驱动的干涉测量，能更好的解决多波长切换后起始位置一致性问题，极大提升了多波长干涉测量的实用价值。
一种波长干涉测量起点位置对齐方法

[发明专利]全息扫描曝光二维工作台位移和摆角测量光路结构-CN201410817175.1在审
发明人：李晓天;刘兆武;于海利;唐玉国;巴音贺希格;齐向东;李文昊;白志红 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2014-12-25 - 公布日： 2015-04-15 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：全息扫描曝光二维工作台位移和摆角测量光路结构属于全息平面衍射光栅制作领域，目的在于解决现有技术存在的干涉场承载平台热膨胀对测量精度的影响以及米级尺寸的Y轴长条反射镜的加工及装调难度大的问题。本发明包括的X轴测量系统包括X轴光束方向调节器、X轴干涉计、潜望镜结构、X轴测量反射镜和X轴参考反射镜；Y轴测量系统包括Y轴干涉计、Y轴参考反射镜和Y轴测量反射镜；双频激光器发出的激光经分光棱镜分出两束光，并分别通过转向棱镜进入到X轴测量系统和Y轴测量系统；X轴测量系统中X轴干涉计采用潜望镜结构实现工作台X轴相对位置的测量；Y轴测量系统采用多个Y轴干涉计实现Y轴相对位置的测量。
全息扫描曝光二维工作台位移测量结构

[发明专利]一种齿轮齿面形状误差的非接触柔性化的测量方法-CN202011058314.9有效
发明人：王晛;方素平;朱新栋;刘芸 -专利权人：西安理工大学
申请日： 2020-09-30 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种齿轮齿面形状误差的非接触柔性化的测量方法，沿测量光路设置有前双光楔、后双光楔；沿扫描测量光路设置有结构光传感器，前双光楔与后双光楔之间放置被测齿轮。将双光楔引入到了测量光路，定量改变入射角照射到被测面的角度，从而调整干涉条纹的密度分布方便相位数据处理；将结构光传感器引入干涉测量装置中，投射的结构光通过在测量过程中与被测物表面的相对运动，结合干涉测量数据，使得在对大螺旋角复杂螺旋曲面进行测量时可以保证全场测量。本发明的测量方法将空间相移技术引入到干涉测量装置中，通过单次测量拍摄能够得到多张移相干涉图，简化了操作流程步骤，提升了装置的抗干扰能力。
一种齿轮形状误差接触柔性测量方法