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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]激光照射方法和激光照射系统-CN201780096139.2在审
发明人：池上浩;若林理;老泉博昭;诹访辉 -专利权人：极光先进雷射株式会社;国立大学法人九州大学
申请日： 2017-12-21 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： H01L21/22 文献下载
摘要：一种激光照射方法，对在半导体基板上形成杂质源膜而构成的被照射物照射脉冲激光，其中，该激光照射方法包含以下步骤：A.读入照射到被照射物上所设定的矩形的照射区域的脉冲激光的每一个脉冲的注量和照射到照射区域的照射脉冲数，其中，在对被照射物照射照射脉冲数的脉冲激光的情况下，注量为杂质源膜产生烧蚀的阈值以上并且小于半导体基板的表面产生损伤的阈值；B.在设照射区域沿扫描方向的宽度为Bx、照射脉冲数为Nd、脉冲激光的反复频率为f的情况下，根据用Vdx＝f·Bx/Nd表示的关系式计算扫描速度Vdx；以及C.以反复频率f对照射区域照射脉冲激光，并使被照射物相对于照射区域相对地以扫描速度Vdx移动。
激光照射方法系统

[发明专利]激光照射装置、及激光照射方法-CN201880063196.5在审
发明人：水村通伸 -专利权人：株式会社V技术
申请日： 2018-11-08 - 公布日： 2020-05-15 - 主分类号： H01L21/20 文献下载
摘要：提供一种激光照射装置、及激光照射方法，在对基板上的指定的区域作激光退火的情况时，能够抑制激光的照射所需要的能量。本发明的一实施形态之中的激光照射装置是具备产生激光的光源、及激光头，包含柱面镜，而柱面镜接受激光，在平行于基板的移动方向的方向上产生细线状的激光束，其中激光头对覆膜了非晶硅薄膜的基板的指定的区域照射细线状的激光束
激光照射装置方法

[发明专利]激光照射装置以及激光照射方法-CN202111001625.6在审
发明人：奥村展;白种埈;苏炳洙 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2021-08-30 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开一种激光照射装置以及激光照射方法。激光照射装置可以包括：激光光源，产生激光束；第一透镜，供在所述激光光源中产生的所述激光束穿过；第一扫描仪，反射穿过所述第一透镜的所述激光束，并改变所述激光束的方向；第二扫描仪，反射在所述第一扫描仪中偏向的所述激光束，并改变所述激光束的方向；多个第二透镜，供在所述第二扫描仪中偏向的所述激光束穿过，并向一方向振动；以及光学元件，供穿过所述多个第二透镜的所述激光束穿过，并校正基板上所述激光束的入射角。
激光照射装置以及方法

[发明专利]激光照射头和激光照射装置-CN202180064769.8在审
发明人：藤原淳志 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L23/467 文献下载
摘要：本发明的激光照射头具备：半导体激光器模块，其包含半导体激光器元件和透镜；散热器，其具有制冷剂的流路；和第一配管连接器，其能够进行用于向流路供给制冷剂的第一配管的拆装；其中，散热器具有包含第一区域和处于与第一区域交叉的关系的第二区域的外表面，半导体激光器模块在第一区域相对于散热器被螺纹固定，第一配管连接器在第二区域相对于散热器被螺纹固定。
激光照射装置

[发明专利]激光照射装置和激光照射方法-CN202211384538.8在审
发明人：奥村展 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-11-07 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：提供激光照射装置和激光照射方法。一实施例涉及的激光照射装置包括：光束加工部，接收激光束的入射来将所述激光束加工之后射出，所述光束加工部包括彼此相向的入射面和射出面，所述入射面包括能够使所述激光束入射的入射区域以及与所述入射区域相邻的第一内部反射区域
激光照射装置方法

[发明专利]激光照射方法和激光照射装置-CN201410828127.2有效
发明人：金贤中;方勇植;朴建植;高秉昊;池昊真 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2014-12-26 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种激光照射方法以及激光照射装置。该激光照射方法包含：分析正被照射的激光且检测所述激光的第二峰值；以及根据所述所检测的第二峰值与参考峰值的比较和确定结果而控制是否将稀有气体或卤素气体供应到振荡所述激光的激光振荡器。根据实施例，当照射在薄膜上的激光脉冲的第二峰值小于参考峰值时，供应稀有气体以允许所述第二峰值增大且达到所述参考峰值。本发明的激光照射方法和激光照射装置能够监视激光且校准激光器。
激光照射方法装置

[发明专利]激光照射系统及激光照射方法-CN201010501890.6有效
发明人：李垧泽;申铉喆;郑元雄 -专利权人：三星移动显示器株式会社
申请日： 2010-09-29 - 公布日： 2011-04-27 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明公开激光照射系统及激光照射方法。该激光照射系统包括：激光束发生器，用于产生激光束；激光束照射器，用于将所述激光束发射到所述目标上；激光束导向装置，用于探测是否有激光束中的一束被反射回所述激光束照射器；探测器，用于将反射激光束转换为电信号数据；以及控制器，用于基于所述电信号数据控制所述激光束发生器的输出。
激光照射系统方法

[发明专利]激光照射设备和激光照射方法-CN200910150561.9有效
发明人：田中幸一郎;山本良明 -专利权人：株式会社半导体能源研究所
申请日： 2005-06-15 - 公布日： 2009-12-09 - 主分类号： H01L21/20 文献下载
摘要：本发明的目的是提供一种激光照射设备，它能通过改变向前和向后方向照射中照射光束的能量强度来制造均匀结晶的薄膜。本发明的激光照射设备包括激光振荡器和改变光束强度的装置，其中激光束斜着入射到半导体层的表面，相对于半导体层的表面扫描激光束，且光束强度根据扫描方向变化。而且，激光振荡器是连续波固体激光器、气体激光器或金属激光器。也可使用重复频率大于或等于10MHz的脉冲激光器。
激光照射设备方法

[发明专利]激光照射装置及激光照射方法-CN201780012908.6有效
发明人：奥间惇治 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2017-01-24 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：激光照射装置具备：激光光源，使激光产生；空间光调制器，具有显示相位图案的显示部，并将由激光光源所产生的激光对应于显示部所显示的相位图案来进行调制；光束直径转换机构，配置在位于激光光源与空间光调制器之间的激光的光路上，放大或缩小激光的光束直径；透镜插拔机构，具有改变激光的光束直径的透镜，并能够将透镜插入激光光源与空间光调制器之间的激光的光路上，并且能够将透镜从该光路上拔除；以及控制部，至少对显示于显示部的相位图案进行控制
激光照射装置方法

[发明专利]激光照射装置及激光照射方法-CN201780016099.6有效
发明人：伊崎泰则;中川爱湖;山田丈史 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2017-03-10 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： B23K26/04 文献下载
摘要：激光加工装置具备有激光光源、具有显示部的空间光调制器、物镜、转像光学系统、摄像机以及控制部。控制部执行第1显示处理和第2显示处理。第1显示处理是在用摄像机对图像进行摄像时，使显示部显示将由物镜聚光的激光的聚光位置作为第1聚光位置的第1相位图案。第2显示处理是在用摄像机对前述图像进行摄像时，使显示部显示将由物镜所聚光的激光的聚光位置作为在激光的照射方向上与第1聚光位置不同的第2聚光位置的第2相位图案。
激光照射装置方法

[发明专利]激光照射装置以及激光照射方法-CN201780015551.7有效
发明人：伊崎泰则;中川爱湖 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2017-03-03 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明的激光照射装置具备：激光光源，其产生激光；空间光调制器，其具有显示相位图案的显示部；物镜，其将通过空间光调制器出射的激光聚光于对象物；传像光学系统，其将显示部中的激光图像传送至物镜的入射光瞳面；反射光检测器，其对入射于对象物并在与激光入射面相反侧的反射面被反射的激光的反射光进行检测；以及，控制部，该控制部控制显示于显示部的相位图案。当反射光检测器对反射光进行检测时，控制部使反射光像差校正图案显示于显示部，该反射光像差校正图案是对在激光透过具有规定厚度的2倍厚度的对象物的情况下所产生的像差进行校正的相位图案。
激光照射装置以及方法

[发明专利]激光照射设备和激光照射方法-CN200580020022.3有效
发明人：田中幸一郎;山本良明 -专利权人：株式会社半导体能源研究所
申请日： 2005-06-15 - 公布日： 2007-05-23 - 主分类号： H01L21/268 文献下载
摘要：本发明的目的是提供一种激光照射设备，它能通过改变向前和向后方向照射中照射光束的能量强度来制造均匀结晶的薄膜。本发明的激光照射设备包括激光振荡器和改变光束强度的装置，其中激光束斜着入射到照射表面，相对于照射表面扫描激光束，且光束强度根据扫描方向变化。而且，激光振荡器是连续波固体激光器、气体激光器或金属激光器。也可使用重复频率大于或等于10MHz的脉冲激光器。
激光照射设备方法

[发明专利]激光照射装置及激光照射方法-CN201180061621.5无效
发明人：及川伸;松本力也;闵晟旭;赵在亨 -专利权人：住友化学株式会社;哈德润姆股份有限公司
申请日： 2011-12-22 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明提供输出变动被抑制且照射的激光输出得以稳定的激光照射装置及激光照射方法。为切断薄膜而对该薄膜照射激光的激光照射装置（10）包括：振荡发生激光L的激光振荡器（1）、将由激光振荡器（1）振荡发生的激光分为两束，并将作为反射光L1的激光照射于薄膜的光束分离器（3）、测定作为透射光L2的激光的强度的功率传感器（4）、及根据测定的强度值算出激光振荡器（1）的输出值，判断相对于设定值的上述输出值的大小，并进行校正以使激光振荡器（1）的输出值接近于设定值的处理台（5）。
激光照射装置方法

[发明专利]生成被用来通过激光照射来处理织物的表面的图案的系统和方法以及由其创建的织物-CN201480058109.9有效
发明人： D·J·小卡斯汀 -专利权人：莱沃拉泽有限责任公司
申请日： 2014-09-19 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： D06P5/13 文献下载
摘要：提供了生成被用来通过激光照射来处理织物的表面的图案的方法。该方法包括步骤：定义图案区域，图案区域具有像素的阵列。定义激光照射单元，其中激光照射单元区域包括至少一个像素。可以选择与图案区域关联的激光照射单元密度，其中照射单元密度对应于包括在图案区域中的激光照射单元指示器的数量。基于激光照射单元密度和所定义的激光照射单元区域在图案区域内布置多个激光照射单元指示器。为所述多个激光照射单元指示器中的每一个识别激光的有效施加功率。
生成用来通过激光照射处理织物表面图案系统方法以及创建

[发明专利]激光照射检测装置、激光照射检测方法以及激光照射检测系统-CN201780077756.8有效
发明人：汤舟秀太;平田卓哉;五十岚刚 -专利权人： JVC建伍株式会社
申请日： 2017-10-05 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： G01D21/00 文献下载
摘要：带通滤波器(3a～3c)使来自被摄体的光之中的预定波段的光通过，该预定波段包含作为检测对象的激光所具有的颜色的波长区域。摄像机(2a～2c)的拍摄部拍摄通过了带通滤波器(3a～3c)的光。控制部(4a～4c)当在特定亮度级别存在峰值且在帧内存在光线的轨迹时，检测为被照射激光的状态。
激光照射检测装置方法以及系统

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