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[发明专利]光栅测量装置-CN201610614519.8有效
发明人：吴萍;张志平 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2016-07-29 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种光栅测量装置，包括：光源模块，用于产生频率不同的两束光束，两束光束中的一束作为测量光束，另一束作为参考光束；光栅以及光栅测量探头，包括双频入光模块、垂向测量模块、垂向探测模块及参考探测模块，双频入光模块接收测量光束和参考光束，垂向测量模块将测量光束投射到光栅上，收集经光栅二次衍射后衍射光的零级衍射光，并将零级衍射光投射至垂向探测模块，零级衍射光束与参考光束在垂向探测模块中发生干涉形成垂向干涉信号，参考探测模块中的所述测量光束和参考光束发生干涉形成参考干涉信号；信号处理模块接收垂向干涉信号和参考干涉信号后计算光栅的垂向位移。本发明可以在任意工作距离下，实现大范围垂向位移测量。
垂向探测模块光栅参考光束干涉信号测量光束参考光栅测量装置零级衍射光测量模块光模块双频投射零级衍射光束信号处理模块工作距离光源模块光栅测量接收测量位移测量衍射光干涉探头衍射

[发明专利]一种相移量实时在线测量装置及方法-CN202210102116.0有效
发明人：吕晓旭;周成鑫;刘胜德;汪卉 -专利权人：华南师范大学
申请日： 2022-01-27 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种相移量实时在线测量装置及方法，该装置包括Wollaston棱镜、可移动透镜、偏振片和图像传感器。该发明根据Wollaston棱镜的偏振分光特性，将从偏振干涉测量光场分离出的共路传输正交偏振光变为偏振方位相互垂直、传输方向有一定夹角的两束光波，经可移动透镜合束后，通过偏振片将二者投影到相同偏振态，最后由相移量测量数字相机采集得到空间载频干涉条纹利用相移量测量相机与干涉测量系统自身携带的相机同步地采集相移干涉条纹图，即可利用相移量测量数字相机采集得到的空间载频干涉图高精度地提取出与测量光场同步的相移量。从而消除相移与标称值不符而产生的相位测量误差，大幅度提高相移干涉测量的精度。
一种相移实时在线测量装置方法

[发明专利]基于无线电干涉技术的山体滑坡监测系统-CN201110091416.5无效
发明人：袁恩;齐望东;刘鹏;威力;黄珊;张苏 -专利权人：中国人民解放军理工大学
申请日： 2011-04-11 - 公布日： 2011-11-23 - 主分类号： G01S11/04 文献下载
摘要：本发明涉及基于无线电干涉技术的山体滑坡监测系统。本发明在滑坡区域布设监测单元，监测单元由至少4个位于同一平面的节点组成；监测单元中4个节点组成1个测量组合，其中2个发射节点和1个接收节点位于稳定坡面，1个接收节点位于滑动坡面；测量组合在测量周期内利用无线电干涉技术在N个测量频率上进行M次干涉测量获得2个接收节点的相位差；利用偏差搜索函数计算干涉距离从而根据不同测量周期间干涉距离的变化推导滑动坡面的变化或者利用不同测量周期间相位差的变化推导滑动坡面的变化。本发明通过充分利用节点测量带宽和多次测量的方法提高了干涉测距的精度，具有成本低、自动化程度高的优点，适合长期、连续、实时地监测。
基于无线电干涉技术山体滑坡监测系统

[发明专利]利用光纤光栅的光纤干涉型在线微位移测量系统-CN200710063770.0无效
发明人：谢芳;芦毅 -专利权人：北京交通大学
申请日： 2007-02-09 - 公布日： 2007-08-08 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种微位移测量系统，特别是一种适用于在线测量的微位移测量系统。利用光纤光栅特性和波分复用技术构成光纤复合迈克尔逊干涉仪，该干涉仪包含二个反射镜独立但光路几乎重合的光纤迈克尔逊干涉仪。一个干涉仪用于测量，另一干涉仪经反馈控制以补偿由于环境干扰给测量带来的影响，从而使系统适用于在线测量。本发明只用一只谱宽为1.5nm中心波长为1550nm的半导体激光器发出的光同时作用于两个干涉仪中，这不仅使系统成本低，方便实现自动测量，而且反馈控制电路对压电陶瓷的放电不对测量产生影响，使测量能连续进行
利用光纤光栅干涉在线位移测量系统

[发明专利]一种屈光状态的客观验光系统及方法-CN202310112080.9在审
发明人：杨扬 -专利权人：湖南火眼医疗科技有限公司
申请日： 2023-02-01 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： A61B3/103 文献下载
摘要：本申请提供了一种屈光状态的客观验光系统及方法，包括：激光光源发射蓝激光、绿激光以及红外激光三束激光，光学分束器将其分束成参考光路及测量光路；平面镜将参考光路原路反射，由干涉测量装置进行接收；光线调节装置对测量光路进行折射，以实现对测量物的范围测量，折射后的测量光路由测量物进行原路反射后被干涉测量装置接收；之后，干涉测量装置根据入射的测量光路及参考光路获取干涉测量信号，数据处理设备根据干涉测量信号获取测量物的屈光因素数据，并根据屈光因素数据获取测量物的屈光验光数据。本申请通过一次测量就可以实现由多种设备才能完成的眼科检查，可以快速了解眼球真实状态和判断近视情况，提高近视检查效率。
一种状态客观验光系统方法

[发明专利]一种基于干涉位移测量系统的滚转角测量系统和方法-CN202111623670.5有效
发明人：王亮亮;商正君;杨美婷;杨静;董姗;赵建海;于涌 -专利权人：中国科学院上海天文台
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于干涉位移测量的滚转角测量系统和方法，包括底座和两单频干涉位移测量系统；所述底座上设有直线导轨，所述直线导轨上安装有负载平台，所述待测运动轴的轴向与所述直线导轨的线性运动方向一致；两所述单频干涉位移测量系统沿待测运动轴对称固定在所述底座的上方；两所述单频干涉位移测量系统的条形平面反射镜沿待测运动轴对称固定到负载平台上；解决了现有滚转角双频干涉测量技术中测量速度受到频差限制，系统复杂且安装调试难度大的问题。
一种基于干涉位移测量系统转角方法

[发明专利]基于电光调制的相移数字全息测量装置与方法-CN202111412671.5在审
发明人：陈本永;严利平;林烨;谢建东;楼盈天 -专利权人：浙江理工大学
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G01B9/021 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于电光调制的相移数字全息测量装置与方法。装置由相移数字全息干涉光路和正交探测单频干涉光路两个部分组成，电光相位调制器放置在两套干涉光路的公共臂，对电光相位调制器施加直流电压对两套干涉光路进行相同的相位调制，利用正交探测单频干涉光路对相位调制量即相移量进行精确测量和控制，实现多幅全息干涉图的精确相移，提高数字全息测量精度。本发明无需机械移相，相移速度快、测量效率高、相移精度高，可广泛应用于相移干涉测量技术领域。
基于电光调制相移数字全息测量装置方法

[发明专利]一种两束干涉仪出射平面波光束间角度偏差标定方法-CN201610820673.0有效
发明人：闫力松;王辉华;李强;陈晓晨;史要涛;姜永亮;许伟才;王玉雷;胡海力 -专利权人：湖北航天技术研究院总体设计所
申请日： 2016-09-13 - 公布日： 2018-12-25 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种两束干涉仪出射平面波光束间角度偏差标定方法，包括以下步骤：(1)利用第一干涉仪对平面反射镜进行干涉测量，测量过程中通过调整平面反射镜的角度将干涉条纹调至零条纹；通过激光跟踪仪对平面反射镜面形进行测量，利用测量点拟合第一平面；(2)调整平面反射镜位置，利用第二干涉仪对平面反射镜进行干涉测量，测量过程中通过调整平面反射镜的角度将干涉条纹调至零条纹；通过激光跟踪仪对平面反射镜面形进行测量，利用测量点拟合第二平面
一种干涉仪平面波光束角度偏差标定方法

[发明专利]用于干涉式距离测量的装置-CN201810646995.7有效
发明人：马库斯·迈斯纳;沃尔夫冈·霍尔扎普费尔 -专利权人：约翰内斯.海德汉博士有限公司
申请日： 2018-06-21 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： G01S17/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于干涉式距离测量的装置。装置具有多波长光源，其提供具有至少三种不同波长的光束并且构造为纤维激光器，纤维激光器包括至少三个不同的布拉格光栅，其光栅常量与生成的波长相协调。此外设置有干涉仪单元，其将光束分解为测量光束和基准光束。测量光束在测量臂中在测量反射器的方向上传播并且在那里进行背向反射；基准光束在基准臂中在静止的基准反射器的方向上传播并且在那里进行背向反射。由测量和基准反射器背向反射的测量和基准光束干涉地叠加成干涉光束。经由探测单元实现干涉光束分解，使对于每波长分别产生多个相移的子干涉信号。借助信号处理单元基于不同波长的子干涉信号确定有关测量反射器的绝对位置信息。
用于干涉距离测量装置

[发明专利]具有减少的重力引起的误差的用于测量光掩模平坦度的系统和方法-CN201980057695.8在审
发明人： T·J·邓恩;J·W·弗兰克维奇;R·D·格雷伊达;C·A·李;M·R·米勒奇亚;中村吉弘 -专利权人：康宁股份有限公司
申请日： 2019-07-26 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： G03F1/84 文献下载
摘要：本文所公开的方法包括在接近垂直的第一测量位置处和第二测量位置处记录光掩模表面的相应的第一干涉图和第二干涉图，并将差图定义为该第一干涉图和该第二干涉图之间的差。在该第一测量位置处和该第二测量位置处还测量了该光掩模上的相应的第一法向力和第二法向力。法向力的变化用于定义缩放因子，该缩放因子被应用于差图以定义经缩放的差图。通过从该第一干涉图中减去经缩放的差图来获取由重力引起的形状贡献得以减少的经补偿平坦度测量值。还公开了基于干涉仪的平坦度测量系统。
具有减少重力引起误差用于测量光掩模平坦系统方法

[发明专利]双侧多重平面倾斜波面干涉仪及其检测方法-CN202010054305.6有效
发明人：唐锋;王向朝;郭福东;卢云君 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2020-01-17 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：一种双侧多重平面倾斜波面干涉仪，系统包括光源模块、第一干涉仪主机、第二干涉仪主机、双面标准平板、双面标准平板调整架、被测非透明平板元件、单点厚度测量传感器、控制处理单元；所述的第一干涉仪主机和第二干涉仪主机均为多重平面倾斜波面干涉仪，通过点源阵列发生器出射多个方向的平行测量光进行被测非透明平板元件的双侧形貌及厚度测量，本发明具有测量动态范围大、测量精度与效率高、相移方式灵活，系统误差可原位标定的特点。
多重平面倾斜干涉仪及其检测方法

[发明专利]一种外差式时间序列散斑干涉测量物体变形的方法-CN201010101252.5有效
发明人：高瞻;陈筱磊;林泽鸣 -专利权人：北京交通大学
申请日： 2010-01-26 - 公布日： 2010-07-07 - 主分类号： G01B11/16 文献下载
摘要：本发明公开了属于激光散斑干涉测量领域的一种外差式时间序列散斑干涉测量物体变形的方法。该方法结合了时间序列散斑干涉测量和外差式干涉测量方法，直接给出时变场的相位函数，并引入频率差，确保形变测量精度。
一种外差时间序列干涉测量物体变形方法

[发明专利]利用波长调谐移相干涉仪测量平行平板光学均匀性的方法-CN201310250503.X有效
发明人：栾竹;孙建锋;刘立人 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2013-06-21 - 公布日： 2013-10-02 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：一种利用波长调谐移相干涉仪测量平行平板光学均匀性的方法，该方法利用干涉测量原理，样品斜放置于光路中，通过四步波面测量，计算得到样品的光学均匀性。特别适合于待测元件超过干涉仪测试口径的大口径平行平板元件测量。测试结果中去除了样品前后表面波面误差和干涉仪两个标准镜波面误差，为绝对测量结果。
利用波长调谐相干测量平行平板光学均匀方法

[发明专利]一种位移测量装置-CN201810700244.9在审
发明人：卢敏;阮长柏 -专利权人：广州华研精密机械股份有限公司
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： G01B7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种位移测量装置，包括安装座和位移检测元件，位移检测元件穿设于安装座，还包括导向杆、弹性组件、测量组件和防干涉组件，导向杆穿设于安装座，导向杆的轴线用于与从动件的轴线平行，导向杆用于与从动件同步移动，测量组件、防干涉组件分别位于导向杆的两端，测量组件、防干涉组件随导向杆同步移动，测量组件通过弹性组件与安装座活动抵接，位移检测元件用于测量测量组件的位移量，防干涉组件可转动地安装于导向杆上，防干涉组件用于与从动件活动接触本发明能够避免旋转运动对测量结果造成影响，提高位移测量的精准度。
导向杆测量组件防干涉安装座位移检测元件从动件位移测量装置弹性组件同步移动穿设活动抵接活动接触位移测量轴线平行精准度可转动位移量测量

[实用新型]一种位移测量装置-CN201821027917.0有效
发明人：卢敏;阮长柏 -专利权人：广州华研精密机械股份有限公司
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： G01B7/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种位移测量装置，包括安装座和位移检测元件，位移检测元件穿设于安装座，还包括导向杆、弹性组件、测量组件和防干涉组件，导向杆穿设于安装座，导向杆的轴线用于与从动件的轴线平行，导向杆用于与从动件同步移动，测量组件、防干涉组件分别位于导向杆的两端，测量组件、防干涉组件随导向杆同步移动，测量组件通过弹性组件与安装座活动抵接，位移检测元件用于测量测量组件的位移量，防干涉组件可转动地安装于导向杆上，防干涉组件用于与从动件活动接触本实用新型能够避免旋转运动对测量结果造成影响，提高位移测量的精准度。
导向杆测量组件防干涉安装座位移检测元件从动件位移测量装置本实用新型弹性组件同步移动穿设活动抵接活动接触位移测量轴线平行精准度可转动位移量测量