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[发明专利]一种基于相位传递的扫频干涉动态测量系统及测量方法-CN202210956514.9有效
发明人：段长昊;甘雨;刘国栋;孟祥斌 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-08-10 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G01S7/497 文献下载
摘要：本发明提出了一种基于相位传递的扫频干涉动态测量系统及测量方法，其中测量干涉仪光路部分主要应用于目标绝对距离解算与目标相对运动轨迹测量、辅助干涉仪1光路用于提供调频非线性校正的相对频率坐标，辅助干涉仪2光路部分提供声光频移干涉信号用以实施对辅助干涉仪1信号的相位解调，气室光路部分用于在线标定辅助干涉仪1的群延迟；本发明具有结构简单、非线性校正效果良好、能够实现动态目标实时轨迹追踪，抗噪能力更强，短辅助干涉仪无需高采样率，基本不受色散失配和环境变化的影响
一种基于相位传递干涉动态测量系统测量方法

[实用新型]一种迈克尔逊干涉风速测量装置-CN201720702176.0有效
发明人：唐慧强;李祺;吕雪驹 -专利权人：南京信息工程大学
申请日： 2017-06-16 - 公布日： 2018-03-23 - 主分类号： G01P5/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种迈克尔逊干涉风速测量装置，包括检测平台，固定于检测平台上的外壳，设于检测平台上并产生干涉条纹的迈克尔逊干涉组件，两端分别固定于外壳和检测平台并感受风压的弹性柱，设置在检测平台上并对准迈克尔逊干涉组件采集干涉条纹位移图像的摄像头本实用新型提供一种迈克尔逊干涉风速测量装置，本装置外壳的结构设计可以避免恶劣天气对测量精确度的影响，本实用新型基于迈克尔逊干涉方法，这样能够检测物体极其微小的位移，通过对干涉条纹进行自动记录和处理实现微小位移的精确测量
一种迈克干涉风速测量装置

[发明专利]一种温盐深同步测量光纤传感器及测量方法-CN202310402354.8在审
发明人：杨玉强;高佳乐;张钰莹;李雨婷;宋坤;李承勇 -专利权人：广东海洋大学深圳研究院
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G01D5/353 文献下载
摘要：本发明公开了一种温盐深同步测量光纤传感器及测量方法，传感器包括：宽谱光源、光纤环形器、耦合器、光谱仪、第一干涉计、第二干涉计、第三干涉计和第四干涉计，所述宽谱光源发出入射光经过所述光纤环形器进入所述第一干涉计，由所述第一干涉计反射后，经过所述光纤环形器和所述耦合器，分别进入所述第二干涉计、所述第三干涉计和所述第四干涉计进行反射，经过所述耦合器，被所述光谱仪接收；其中，所述第一干涉计、所述第二干涉计、所述第三干涉计和所述第四干涉计串联，所述第二干涉计、所述第三干涉计和所述第四干涉计并联。本发明不但可以产生游标效应，而且可实现温盐深多参数测量。
一种温盐深同步测量光纤传感器测量方法

[发明专利]一种时域多波长外差散斑干涉测量物体变形的方法-CN201110084059.X有效
发明人：高瞻;邓彦;韦成;段怡婷;冯其波 -专利权人：北京交通大学
申请日： 2011-04-02 - 公布日： 2011-10-19 - 主分类号： G01B11/16 文献下载
摘要：本发明提供了一种时域多波长外差散斑干涉测量物体变形的方法，结合了时域散斑干涉测量技术、外差式干涉测量技术和多波长测量技术。引入多波长以扩大测量范围，引入外差以保证测量精度，时域技术可以直接给出时变场的相位函数。本发明中精简了物体变形检测系统，使用了两个中心波长不同的激光器，实现多波长测量，扩大了测量范围。
一种时域波长外差干涉测量物体变形方法

[发明专利]基于三维拼接的大口径干涉测量系统和算法-CN201710442927.4有效
发明人：裘恩明;徐华俊 -专利权人：杭州齐跃科技有限公司
申请日： 2017-06-13 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于三维拼接的大口径干涉测量系统，采用迈克尔逊干涉系统并搭配超长工作距离的物镜和相机，其特征在于：利用步进电机实现干涉信号自动查找，压电陶瓷实现信号扫描，计算机对采集到的图像进行分析并实现测量，单个视场测量完成后，系统控制X轴和Y轴工作台移动，测量下一个视场，多个视场的测量结果用三维拼接算法拼接，得到大口径范围的测量结果。在原先常规干涉仪系统中，采用单色光和白光切换的方式实现单色光干涉和白光干涉，利用其各自的优缺点来合理的选择测量方案。同时，在检测样品部位添加两维自动移动平台，实现被测区域的自由切换和实时拼接等。
三维拼接大口径视场干涉测量系统测量单色光算法拼接迈克尔逊干涉系统超长工作距离自动移动平台干涉仪系统白光干涉步进电机干涉信号检测样品系统控制信号扫描选择测量压电陶瓷自动查找自由切换白光物镜搭配相机采集图像干涉计算机移动分析

[发明专利]抗振动菲索干涉测量装置及方法-CN201910554795.3有效
发明人：李建欣;陈国梁;宗毅;段明亮;卢文倩;朱日宏 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2019-06-25 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种抗振动菲索干涉测量装置及方法，可降低振动对测量结果的影响。装置包括用于对光源进行扩束准直及偏振态调制的短相干光源模块；用于检测被测镜与参考镜振动相位平面的辅助干涉测量模块；用于测量被测镜相位分布的主干涉测量模块。光源模块为短相干光源，结合迈克尔逊干涉测试光路，可得到一对具有特定光程差的正交线偏振光；主光路与辅助光路分别单独成像获得干涉图，其中辅助光路为双通道设计，可分别测量参考镜与被测镜的振动平面。最后对得到的三组干涉图进行相位解算即可得到被测光学元件面形。本发明的装置和方法不仅抗振动效果好、而且测量精度高，成本较低。
振动干涉测量装置方法

[发明专利]差分干涉仪系统和配有该系统的平版印刷分步扫描装置-CN97190435.9无效
发明人： J·E·范德维尔夫;P·迪尔克森 -专利权人： ASM石版印刷公司
申请日： 1997-03-04 - 公布日： 2004-01-07 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明描述了一种用于测量第一个物体(WH)和第二个物体(MH)相互位置和运动的差分干涉仪系统，该系统包括带有第一测量反射器(RW)的第一个干涉仪部件(1，2，3，4)，和带有第二测量反射器(RM)的第二个干涉仪部件由于测量光束(bm)既通过第一又通过第二个干涉仪部件，而且既被第一又被第二个测量反射器反射，并且由于测量光束和参考光束(br)至少在两个干涉仪部件之间通过相同的路程，故可以非常迅速地进行精确测量。该干涉仪系统可以很便利地被应用在分步扫描平版印刷投影装置中。
干涉仪系统配有平版印刷分步扫描装置

[发明专利]与3D轮廓术组合的相位步进错位干涉法的低相干干涉系统-CN201210517057.X无效
发明人： P·布雷恩;Y·瑞诺特;S·哈布雷肯;P·瓦鲁克斯 -专利权人：考克利尔维修工程;列日大学
申请日： 2012-12-05 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明涉及与3D轮廓术组合的相位步进错位干涉法的低相干干涉系统，提供了一种便携工业仪器，该便携工业仪器用来按集成和双路方式，对待测试的物体进行干涉条纹投影和错位干涉，从而，当双路干涉仪（1）与相干或准相干投影装置（2）相关联时，仪器能够通过干涉条纹投影，测量物体的3D形状，也称作波纹法，并且当双路干涉仪（1）与记录或成像装置（4）相关联时，仪器能够对物体进行错位干涉测量，当从一种测量配置移动到另一种时，在干涉仪
轮廓组合相位步进错位干涉相干系统

[发明专利]具有平行光束偏光元件的直线度干涉测量装置-CN202310349143.2在审
发明人：冯福荣;张和君;张琥杰;陈源 -专利权人：深圳市中图仪器股份有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本公开提供一种具有平行光束偏光元件的直线度干涉测量装置，包括：干涉仪主机系统，包括激光发射光学系统和探测接收单元，激光发射光学系统发射测量光束，探测接收单元解析干涉信号；双渥拉斯顿棱镜，测量光束经过双渥拉斯顿棱镜后分成两束正交偏振的光；双面直角屋脊反射镜，两束正交偏振的光经过双面直角屋脊反射镜反射后回到探测接收单元；以及平行光束偏光元件，发射的测量光束先经过平行光束偏光元件，再经过双渥拉斯顿棱镜后分成两束正交偏振的光。根据本公开，能够显著提高直线度干涉测量装置的测量精度并能够消除现有直线度干涉测量装置存在测量盲区的问题。
具有平行光束偏光元件直线干涉测量装置

[发明专利]一种氢同位素结晶高度及表面粗糙度干涉测量装置及方法-CN201911274436.9有效
发明人：刘东;臧仲明;张鹄翔;陈楠;刘崇;彭韶婧 -专利权人：浙江大学
申请日： 2019-12-12 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种氢同位素结晶高度及表面粗糙度干涉测量装置及方法，其中，装置包括干涉测量系统、位移系统和计算机处理模块；方法包括：在显微观测模式下，操控位移系统扫描拍摄整个结晶生长面，并进行图像拼接，得到全部区域图像，确认需要监控的精确位置；将测量系统观察视场对准监控区域，切换到干涉测量模式，利用干涉图条纹相位测量技术实现对待测区域生长高度及生长最终状态表面粗糙度测量。利用本发明的装置及方法，可实现对氢同位素低温结晶生长高度及表面粗糙度的非接触式测量，消除真空室玻璃、生长基底强反射光及生长过程边界断裂等对常见干涉显微系统的影响，实现高精度测量。
一种氢同位素结晶高度表面粗糙干涉测量装置方法

[发明专利]基于激光自混合干涉效应的光纤光栅信号解调系统及方法-CN201210244797.0有效
发明人：杨明伟;汪磊;杨远洪;吴长莘 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2012-07-13 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： G01B11/16 文献下载
摘要：本发明提出一种基于激光自混合干涉效应的光纤光栅信号解调系统及方法，可用于光纤光栅动态应变的测量。由于采用激光自混合干涉测量方式，因此本发明与现有方法相比，不但具有干涉测量方法精度高的优点，同时还因为只有一个测量通道使得系统具有结构简单、尺寸小的优点；采用激光器端电压测量干涉信号的方法，使得测量带宽不再受光电探测器带宽的限制，可以实现高速的动态测量，而且因减少了光电探测器降低了系统成本，同时也提高了系统的可靠性；同时由于激光自混合干涉信号独特的特点，该方法还具有动态应变变化方向辨识的功能。
基于激光混合干涉效应光纤光栅信号解调系统方法

[发明专利]非接触式微纳三维测量方法及其装置-CN201610051047.X在审
发明人：雷枫;李少博;问孝明 -专利权人：淮安普瑞精仪科技有限公司
申请日： 2016-01-27 - 公布日： 2016-06-15 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种非接触式微纳三维测量方法，在白光干涉测量模式下，测量样品的三维分布；在扫描探针精密测量模式下，使用扫描探针技术，将白光干涉和非接触扫描探针测量技术有机结合在一起，最终实现三维形貌的精确测量；非接触式微纳三维测量装置，包括白光干涉系统，探针传感系统、Z轴精密扫描系统、探针定位系统，XY轴精密扫描系统、控制与数据处理系统。本发明将白光干涉和非接触扫描探针测量技术有机结合在一起，可实现高速，高精度三维形貌测量。
接触式微三维测量方法及其装置

[发明专利]转台相交度和垂直度测量装置与方法-CN201910276846.0在审
发明人：李艳红;柴娟芳;赵吕懿;朱炜;陈强华;荆娜;沈涛;张琰;冯晓晨;田义;杨扬 -专利权人：上海机电工程研究所
申请日： 2019-04-08 - 公布日： 2019-07-26 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种转台相交度和垂直度测量装置与方法，所述转台相交度和垂直度测量方法包含以下步骤：分光步骤：将双频总光线分光成多路双频子光线；干涉光路形成步骤：使用双频子光线对转台进行测量，获得参考光与测量干涉光路；转台检测步骤：根据参考光与测量干涉光路的相位差，得到位移测量信号，根据多个测量干涉光路对应的位移测量信号，得到转台的相交度和/或垂直度。本发明使用一个公共靶标，大大优化了多轴转台的测量过程，且靶标的安装与拆卸不需拆卸转台本身。
转台干涉光路相交测量双频垂直度测量装置位移测量信号参考光分光拆卸垂直度测量测量过程垂直度相位差靶标多路多轴检测优化

[发明专利]宽光谱干涉显微测量方法、装置、电子设备及介质-CN202210160959.6在审
发明人：张为国;孙艳林;熊欣;邓晓洲;杜春雷 -专利权人：珠海迈时光电科技有限公司
申请日： 2022-02-22 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供一种宽光谱干涉显微测量方法、装置、电子设备及介质，该宽光谱干涉显微测量方法包括：获取待测样品的干涉图；确定干涉图的调制度，通过调制度标识干涉图的第一区域，第一区域用于表征符合设定阈值的相位展开区域；对第一区域执行相位展开，得到干涉图多个焦面的真实相位图；对多个焦面的真实相位图相位拼接，得到干涉图的相位分布；根据相位分布确定待测样品的表面高度分布。本发明的有益效果为：以干涉条纹调制度量化条纹质量，以相位展开方法获得在设定区域的样品高度分布；将不同焦面位置获取的样品高度进行拼接，可获得扩展量程的高精度形貌测量结果，适用用于高精度、大量程宽光谱干涉显微测量
光谱干涉显微测量方法装置电子设备介质

[发明专利]基于单波长相位校准的白光移相干涉测量装置及方法-CN202310369236.1在审
发明人：陈善勇;戴一帆;陈威威;彭小强;熊玉朋;刘俊峰 -专利权人：中国人民解放军国防科技大学
申请日： 2023-04-07 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开一种基于单波长相位校准的白光移相干涉测量装置及方法，该装置包括：干涉图样生成模块，用于产生白光光束后分为测量光束和参考光束，测量光束透过干涉显微物镜照射至待测样品的表面，经待测样品反射后在干涉显微物镜内与参考光束干涉，形成干涉图样；图像采集模块，用于将干涉图样的聚焦成像分成两路成像光，其中一路为基于白光光谱的主成像光路，直接成像至第一CCD相机，另一路为相差校正光路，经滤波后成像至第二CCD相机；主控模块，用于控制干涉显微物镜移相扫描，接收干涉图数据进行数据处理；样品调整台，用于实现被测件的调节。本发明具有实现简单、成本低以及测量精度高等优点。
基于波长相位校准白光相干测量装置方法