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[发明专利]一种干涉量测量方法、系统、设备及介质-CN202211474292.3在审
发明人：潘作峰;林杰刚;马龙;邓玉伟;杨晓涛;阮时航 -专利权人：中国第一汽车股份有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： G01B21/02 文献下载
摘要：本发明具体涉及一种干涉量测量方法、系统、设备及介质，方法包括以下步骤:S1：将两个干涉的部件定义为部件A和部件B；S2：设定部件B为基准测量部件，将部件A和部件B在交接面上形成的干涉点进行标记；S3：将部件A与部件B干涉量最大点位置标记为5，部件A的质心位置标记为6，部件B的质心位置标记为7；S4：将任意两个干涉点进行连线，该连线即为干涉界面；S5：按照干涉界面的法线，将背离所述部件A质心点的方向定义为干涉方向；S6：按照干涉方向，分别拾取并测量部件A上各点到其质心的最大距离，获取干涉量最大点5；S7：测量干涉量最大点5到干涉界面的最短距离h,h为所求干涉量；主要有益效果是提升干涉检查工作的质量与效率。
一种干涉测量方法系统设备介质

[发明专利]一种基于干涉级数的高双折射光纤拍长测量方法及测量装置-CN201610008795.X有效
发明人：朱军;俞本立;曹志刚;汪辉;甄胜来 -专利权人：安徽大学
申请日： 2016-01-04 - 公布日： 2018-01-09 - 主分类号： G01M11/00 文献下载
摘要：本发明涉及高双折射光纤参数测量领域，具体为一种基于干涉级数的高双折射光纤拍长测量方法及测量装置。现有的拍长测量方法，计算结果依赖的测量参量均较多，导致计算结果误差较大。为解决上述问题，本发明提供一种基于干涉级数的高双折射光纤拍长测量方法及测量装置。测量方法步骤如下A.测量待测高双折射光纤的长度L；B.搭建以高双折射光纤快轴和慢轴构成干涉光路相位差的干涉仪；C.获得干涉光谱，采集相邻两个极值的波长，计算出极值波长所对应的干涉级数N；D.根据拍长计算公式计算出不同极值波长下的拍长本发明所述的测量方法，依赖参量少，测量误差小，测量精度高。本发明提供的测量装置，结构简单，易于实现。
一种基于干涉级数双折射光纤测量方法测量装置

[发明专利]形貌补偿式三光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置-CN201310475524.1有效
发明人：谭久彬;胡鹏程;毛帅 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2013-10-11 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：形貌补偿式三光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过三轴中空激光干涉镜组的中间通孔，被校准激光干涉仪测量光束平行置于以正三棱柱侧棱形式分布的三条平行标准测量光束中心位置处；在垂直于三条标准测量光束的平面内，由三条标准测量光束在该平面投影点构成的等边三角形区域中，三条标准测量光束和被校准激光干涉仪测量光束受环境干扰的程度差异很小，三条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；目标反射镜反射面表面形貌造成的测量误差补偿到线位移测量结果中，保证线位移测量值的准确性。
形貌补偿三光轴线位移激光干涉仪校准方法装置

[发明专利]形貌补偿式四光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置-CN201310475491.0有效
发明人：胡鹏程;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2013-10-11 - 公布日： 2014-01-08 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：形貌补偿式四光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔，被校准激光干涉仪测量光束平行置于以正四棱柱侧棱形式分布的四条平行标准测量光束中心位置处；在垂直于四条标准测量光束的平面内，由四条标准测量光束在该平面投影点构成的正方形区域中，四条标准测量光束和被校准激光干涉仪测量光束受环境干扰的程度差异很小，四条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；目标反射镜反射面表面形貌造成的测量误差补偿到线位移测量结果中，保证线位移测量值的准确性。
形貌补偿式四光轴线位移激光干涉仪校准方法装置

[发明专利]一种基于激光干涉原理的机床几何误差测量装置-CN202010022069.X有效
发明人：李海涛 -专利权人：陕西科技大学
申请日： 2020-01-09 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：一种基于激光干涉原理的机床几何误差测量装置，包括机械跟踪装置及其上安装的激光测量装置；机械跟踪装置包括激光干涉仪，激光干涉仪通过干涉仪调整云台和工作台球铰链连接，工作台球铰链底部安装在机床连接台上；干涉仪承载云台同时安装在上安装座一、下安装座三连接的伸缩杆一、二上，伸缩杆末端的连接板上安装有刀头处球铰链与线性反射镜，伸缩杆上的下安装座一、二上装有固定旋转镜和线性干涉镜组；本发明通过伸缩杆增大激光干涉仪量程，通过球铰链为激光干涉仪空间姿态调整提供保证，有效提高数控加工中心几何误差测量效率，通过计算机协同处理测量数据，实现测量自动化，具有运动灵活、操作简单、测量高效的优点。
一种基于激光干涉原理机床几何误差测量装置

[发明专利]一种基于近红外低相干光掺杂硅晶片表面形貌测量方法-CN201910303334.9在审
发明人：于连栋;闫新宇;程杰;卞点;陆洋 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2019-04-16 - 公布日： 2019-06-21 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：本发明属于硅晶片测量领域，公开一种基于近红外低相干光掺杂硅晶片表面形貌测量方法，其特征在于，包括如下步骤，1）选取近红外宽带光源的测量装置；2）搭建出具有可移动参考臂和测量臂的迈克尔逊干涉仪，迈克尔逊干涉仪的电路板对步进电机进行控制，从而使参考臂和测量臂之间的光程差渐变，实现对硅晶片待测表面的扫描干涉；3）最后利用近红外相机连续拍摄干涉图，通过算法解调出干涉信息得到需要测量的掺杂硅晶片物理特性。提高了硅晶片测量精度和干涉条纹对比度及表面形貌重构的效率和精度。
掺杂硅硅晶片低相干光晶片表面形貌测量参考臂测量臂测量干涉条纹对比度迈克尔逊干涉仪红外宽带光源迈克尔逊干涉电路板近红外相机表面形貌步进电机测量领域测量装置连续拍摄物理特性干涉图光程差可移动重构的干涉渐变调出晶片算法扫描

[发明专利]基于角锥棱镜的对角入射光激光外差干涉测量方法与装置-CN201310745318.8有效
发明人：谭久彬;胡鹏程;陈鹏 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2013-12-23 - 公布日： 2014-04-23 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：基于角锥棱镜的对角入射光激光外差干涉测量方法与装置属于激光应用技术领域；发明方法采用了两束具有不同频率的空间分离平行光，两平行光束在非偏振分光棱镜上的入射点位于入射面的对角线上，并关于入射面的中心点对称，并采用角锥棱镜作为参考棱镜和测量棱镜；该方法最终产生了两个具有相反多普勒频移的干涉测量信号来进行干涉测量；本发明方法及装置对被测目标的倾斜不敏感，消除了干涉仪中的频率混叠现象，提高了外差干涉测量的测量精度，同时将外差干涉测量的分辨率提高了一倍。
基于棱镜对角入射激光外差干涉测量方法装置

[发明专利]相敏光学相干断层成像测量前段的光学像差-CN201880062994.6有效
发明人： M·阿尔-贾兹 -专利权人：爱尔康公司
申请日： 2018-10-02 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G01B9/02091 文献下载
摘要：披露了用于测量眼睛的光学像差的技术。一种示例性方法包括将所述眼睛定位在光学相干断层成像(OCT)干涉仪设备的测量臂附近的测量位置，使得来自所述测量臂的源光进入到所述眼睛前段中；以及检测干涉图样，所述干涉图样是由从所述眼睛反射的光和从所述OCT干涉仪设备的参考臂反射的光的组合产生的。基于所述干涉图样来计算所述眼睛前段中的参考表面与所述眼睛中的测量表面之间的光学延迟，所述参考表面是角膜或晶状体的前表面，其中，所述计算包括基于所述检测到的干涉图样来测量所述参考表面与所述测量表面之间的光学相移
光学相干断层成像测量前段

[发明专利]数显式迈克尔逊干涉仪自动化测量系统及方法-CN201610070593.8有效
发明人：黎碧莲;黄金培 -专利权人：黎碧莲;黄金培
申请日： 2016-02-01 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种数显式迈克尔逊干涉仪自动化测量系统及方法，所述系统包括微调手轮驱动装置、干涉环测量装置、控制数显主机、迈克尔逊干涉仪以及干涉条纹观测屏；所述微调手轮驱动装置将迈克尔逊干涉仪的微调手轮卡住，带动微调手轮同步转动，使迈克尔逊干涉仪的动镜前进或后退；所述干涉环测量装置设置在干涉条纹观测屏上，并与微调手轮驱动装置连接；所述控制数显主机与微调手轮驱动装置连接。本发明系统结构精巧、合理，使用方便，满足了迈克尔逊干涉仪工作时的平稳运行的要求，保证了迈克尔逊干涉仪的测量精度，具有在同类产品中使用更广泛、性价比更高等优点。
数显式迈克干涉仪自动化测量系统方法

[发明专利]一种基于光学干涉测量的电机振动测量装置和方法-CN202211500134.0在审
发明人：张超;郭辉;孙裴 -专利权人：上海工程技术大学
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于光学干涉测量的电机振动测量装置和方法，包括用于发射激光束的半导体激光源,设置在所述半导体激光源的光路上的分光镜，其用于将半导体激光源发射的激光束分为测量光和参考光；设置在电机振动测量位置的反射块，其用于将反射测量光；设置在分光镜正上方的反射镜，其用于反射参考光；经反射的所述测量光和参考光产生干涉作用，形成干涉场；以及分别用于检测所述测量光、参考光和干涉场光强度的第一光电接收器、第二光电接收器和第三光电接收器本发明通过采用非接触测量的装置对汽车驱动电机进行振动测量，通过参考光以及测量光产生干涉信号光强的变化，基于光学干涉原理求解得到电机的振动数据。
一种基于光学干涉测量电机振动装置方法

[发明专利]平面面形子孔径拼接干涉测量装置和测量方法-CN201710143097.5有效
发明人：唐锋;卢云君;郭福东;王向朝;张国先 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2017-03-10 - 公布日： 2019-04-19 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种平面面形子孔径拼接干涉测量装置和测量方法，装置包括干涉仪、干涉仪拼接位移台、干涉仪倾斜调整台、被测件拼接位移台、被测件倾斜调整台、被测件，支撑平台及控制系统。本发明具有子孔径定位精度高、测量精度高和全自动测量的优点。
平面面形子孔径拼接干涉测量装置测量方法

[发明专利]流体流速测量装置及方法-CN201310001989.3无效
发明人：杜竞杉;陈水桥 -专利权人：浙江大学
申请日： 2013-01-05 - 公布日： 2013-04-24 - 主分类号： G01P5/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种流体流速测量装置及方法。它包括电压信号源、超声干涉源、超声接收器、放大器、电压测量装置，电压信号源、超声干涉源相连，超声接收器、放大器、电压测量装置顺次相连，超声干涉源和超声接收器分别置于被测流体两侧，被测流体流速垂直于干涉源与接收器的连线方向利用超声波干涉源在接收器位置形成干涉强度，当流体在干涉源和接收器间流动时，测量接收器测得的电压，代入计算或标准流场标定所确定的标准曲线，计算得到流体流动速度。本发明实现了流体流速的连续测量，在低流速下有高灵敏度，系统简单，测量过程不影响流体的流动。
流体流速测量装置方法

[发明专利]一种双波长共光路激光干涉测量装置及方法-CN202111438277.9在审
发明人：彭希锋;邓文;樊寅斌 -专利权人：中国工程物理研究院计量测试中心
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：针对现有迈克尔逊干涉仪、斐索干涉仪等测量装置进行线膨胀与变形测量时因测量臂光束与参考臂光束在空间上错位分布受空气折射率影响误差大，且无法进行双波长共光路激光干涉测量，本发明提出了一种抗空气环境干扰的双波长激光干涉测量装置和测量方法该测试装置和测试方法通过科学的光路设计，对称布置测量臂光束与参考臂光束，优选光学元器件实现双波长共光路激光干涉测量，从而大幅度降低了空气环境折射率的影响，提高了线膨胀与变形测量的精度。
一种波长共光路激光干涉测量装置方法

[发明专利]多波长干涉仪、测量设备以及测量方法-CN201210408101.3无效
发明人：山田显宏 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2012-10-24 - 公布日： 2013-04-24 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明涉及多波长干涉仪、测量设备以及测量方法。该多波长干涉仪包括：分束器，被配置为将多个光束分割成基准射束和测量射束；频率偏移器，被配置为偏移基准射束和测量射束中的至少一个的频率，以便使得基准射束和测量射束的频率彼此不同；光学系统，被配置为使得测量射束入射在测量表面上并且使得从测量表面反射的测量射束与基准射束干涉以便获得干涉光；分割单元，被配置为将干涉光分割成多个光束；以及检测单元，被配置为检测通过分割单元分割成的多个光束。
波长干涉仪测量设备以及测量方法

[发明专利]基于相位调制的双激光单频干涉纳米位移测量装置及方法-CN201610589039.0有效
发明人：严利平;陈本永 -专利权人：浙江理工大学
申请日： 2016-07-22 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于相位调制的双激光单频干涉纳米位移测量装置及方法。单频激光器输出单波长的线偏振光，射向由四个分光镜和两个角锥棱镜构成的双激光单频干涉仪，分别形成测量干涉信号和参考干涉信号，分别由两个光电探测器接收；光路中放置电光相位调制器并施加周期性的锯齿波电压信号，将测量和参考直流干涉信号调制为交流干涉信号；检测被测对象运动引起的两路干涉信号的相位差变化量，得到被测位移。本发明克服了单频干涉仪由于直流漂移引入的误差，避免了对测量干涉信号的直接细分带来的正弦误差或者非正交误差，具有亚纳米级测量精度，适用于高端装备制造与加工领域中的精密位移测量。
基于相位调制激光干涉纳米位移测量装置方法

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