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[发明专利]位置测量系统、干涉仪系统和光刻装置-CN201980024003.X在审
发明人： C·J·C·斯库尔曼斯;J·M·T·A·阿德里安斯;T·沃斯 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2019-03-01 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于确定物体的位置的位置测量系统，该位置测量系统包括第一干涉仪和第二干涉仪，该第一干涉仪和第二干涉仪被布置为当物体处于第一测量区域时通过将束发射到物体的目标表面上来确定物体在第一方向上的距离位置测量系统还包括第三干涉仪和第四干涉仪，该第三干涉仪和第四干涉仪被布置为当物体处于第二测量区域时通过将束发射到物体的目标表面上来确定物体在第一方向上的距离。来自第一干涉仪和第二干涉仪所发射的束的撞击在目标表面上的束斑在第二方向上的相对位置的布置与来自第三干涉仪和第四干涉仪所发射的束撞击在目标表面上的束斑在第二方向上的相对位置的布置不同。
位置测量系统干涉仪光刻装置

[发明专利]室内大长度标准装置量值传递中的增程方法及系统-CN202210412079.3在审
发明人：胡常安;吕菲;许悦 -专利权人：中国测试技术研究院机械研究所
申请日： 2022-04-19 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： G01B9/02017 文献下载
摘要：本发明公开了一种室内大长度标准装置量值传递中的增程方法及系统，系统包括激光干涉仪测量系统、长标尺导轨系统、自动控制系统和环境系统；激光干涉仪测量系统包括三台标准激光干涉仪、一台待测激光干涉仪，每台激光干涉仪均配有干涉镜组、反射镜组和角隅反射器；干涉镜组和反射镜组通过镜组固定架平行布置在第一滑台上，干涉镜组位于标准激光干涉仪与反射镜组之间，反射镜组的高度低于干涉镜组的高度，角隅反射器通过镜组固定架平行布置在第二滑台上；通过反射镜组与角隅反射器的配合，使激光干涉仪的光程增加了一倍，实现了在室内对测量范围为80m的激光干涉仪的检定，利用室内增程方法对于大长度激光测量仪器的比对测量具有重要意义。
室内长度标准装置量值传递中的方法系统

[发明专利]光学面形局部大误差的补偿干涉测量装置与方法-CN202011382187.8有效
发明人：陈善勇;戴一帆;薛帅;翟德德;刘俊峰;彭小强;熊玉朋 -专利权人：中国人民解放军国防科技大学
申请日： 2020-12-01 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种光学面形局部大误差的补偿干涉测量装置与方法，本发明补偿干涉测量装置包括干涉仪、二维姿态调整平台和三维平移台，所述干涉仪安装固定在二维姿态调整平台上，所述二维姿态调整平台安装固定在三维平移台上，所述干涉仪内部设有探测器以及内部光路系统，所述干涉仪的出光口设有球面镜头，且所述干涉仪的外部光路上安装有针孔板和补偿器，可用于光学面形局部大误差的补偿干涉测量，具有结构简单，光路容易对准的优点；本发明方法基于零位补偿的激光波面干涉原理，测量的分辨率和精度都很高，动态范围大，能测得全口径测量时无法解析的局部大误差，通过多个不同部位的测量数据的拼接，能获得被测镜面上全口径可解析的面形误差。
光学局部误差补偿干涉测量装置方法

[发明专利]干涉仪设备及其运行方法-CN200880117054.9有效
发明人： W·霍尔扎普费尔 -专利权人：约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司
申请日： 2008-10-01 - 公布日： 2010-10-20 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明涉及干涉仪设备及其运行方法。干涉仪设备包括具有干涉仪光源的干涉仪，干涉仪光源发出的辐射可分配到测量臂和参考臂中，其中测量对象被布置在测量臂中并且干涉仪提供依赖于测量对象位置的干涉仪信号。干涉仪设备还包括检测装置，用于检测测量臂和/或参考臂中的空气的折射率的波动。在此，检测装置包括光谱仪单元；光谱仪单元具有至少一个光谱仪光源以及至少一个光谱仪探测器单元。由光谱仪光源发出的射束与干涉仪光源的射束相叠加，其中光谱仪光源发出具有如下波长的辐射：该波长处于至少一种确定的空气成分的吸收线范围内。光谱仪探测器单元用于生成光谱仪信号，光谱仪信号表征空气成分在测量臂和/或参考臂中关于光谱仪光源波长的吸收。
干涉仪设备及其运行方法

[发明专利]基于EMCCD的干涉瑞利散射速度脉动测量方法-CN201510245218.8在审
发明人：杨富荣;陈力;鲍伟义;苏铁;陈爽;刘亭序;李仁兵 -专利权人：中国空气动力研究与发展中心设备设计及测试技术研究所
申请日： 2015-05-14 - 公布日： 2015-11-11 - 主分类号： G01P5/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于EMCCD的干涉瑞利散射速度脉动测量方法，其特征在于：包括1）将激光束聚焦于气体流场测量点；2）以较小立体角收集测量点气体流场瑞利散射光；3）将收集的瑞利散射光形成法布里-珀罗干涉仪多光束干涉条纹；4）利用EMCCD采集记录所述多光束干涉条纹；5）用EMCCD采集激光器输出的窄线宽激光形成的法布里-珀罗干涉仪多光束干涉条纹，作为参考；6）用数字图像处理算法，计算瑞利散射干涉条纹相对于参考激光形成的干涉条纹的位置偏移量；7）数据处理分析，获得流场速度脉动测量结果。该方法不外加示踪粒子就能对气体流场速度脉动的非接触测量，具有测速范围广，测量精度高、速度快，不干扰流场等优点。
基于 emccd 干涉瑞利散射速度脉动测量方法

[发明专利]一种基于双拍频单辅助干涉仪的分布式双向偏振测量装置-CN202110941018.1在审
发明人：秦玉文;李培炯;黄明阳;喻张俊;杨军;徐鹏柏;温坤华;王云才 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2021-08-16 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： G01J4/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基于双拍频单辅助干涉仪的分布式双向偏振测量装置，属于光纤测量领域。包括可调谐激光源、光频域干涉反射测量模块、光频域干涉透射测量模块、待测器件模块、辅助干涉仪模块、信号处理模块，其特征是：还包括信号滤波模块、延长光纤模块；可调谐激光源输出的连续光作为问询光注入待测器件模块，其中的瑞利散射光返回注入光频域干涉反射测量模块中，而偏振耦合光则注入光频域干涉透射测量模块中，经辅助干涉仪匹配校正扫频非线性后，分别获得光纤器件的分布式瑞利散射谱、分布式偏振串扰谱。该装置通过一个辅助干涉仪使用半反半透镜和全反射镜，利用不同光程差产生双拍频信号去匹配校正光源的扫频非线性，并快速获得光纤器件的透反射信息。
一种基于拍频辅助干涉仪分布式双向偏振测量装置

[发明专利]透明半球壳体零件的形位误差干涉测量装置与方法-CN202110210618.0有效
发明人：陈善勇;戴一帆;薛帅;王序;翟德德;刘俊峰 -专利权人：中国人民解放军国防科技大学
申请日： 2021-02-25 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种透明半球壳体零件的形位误差干涉测量装置与方法，本发明形位误差干涉测量装置包括分别安装有激光波面干涉仪以及干涉仪光轴方向平移台的隔振平台，所述激光波面干涉仪的出光口设有球面镜头，所述干涉仪光轴方向平移台上安装有壳体偏摆转台，所述壳体偏摆转台上安装有壳体回转转台，所述壳体回转转台上安装有壳体对心平台，所述壳体对心平台上设有用于安装被测量的半球壳体的安装位，且壳体偏摆转台与壳体回转转台的轴线交汇于被测量的半球壳体的球心，可用于透明半球壳体的内外球面面形误差和厚度差的干涉测量，具有结构简单，精度高的优点；本发明方法基于相移干涉子孔径扫描拼接原理，测量范围大而分辨率高。
透明半球壳体零件误差干涉测量装置方法

[发明专利]一种光纤干涉式检波器共振频率测量装置及测量方法-CN201710220556.5有效
发明人：常天英;崔洪亮;张瑾;陈建冬;白杨;付群健 -专利权人：吉林大学
申请日： 2017-04-06 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： G01H13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种光纤干涉式检波器共振频率测量装置及测量方法。该测量装置主要包括光源、隔离器、环形器、1×2光纤耦合器、光纤干涉型检波器、振动台、光电探测器、频域分析器。由光源发出的一束光，经过隔离器，从环形器的a端口进入，从环形器的b端口输出，进入一个1×2光纤耦合器，分成两束光，这两束光分别连接在光纤干涉型检波器内光纤干涉臂上。通过改变振动台的振动频率，带动光纤干涉型检波器以不同的频率振动。光纤干涉型检波器内光纤干涉臂反射光在耦合器中发生干涉，经过环形器的c端口输出，入射到光电探测器，然后进入频域分析器进行频谱分析。本发明测量速度快，提高了测量效率；测量精度高，动态响应范围大。
一种光纤干涉检波器共振频率测量装置测量方法

[发明专利]一种干涉式角度测量系统及测量方法-CN202210535094.7在审
发明人：周春艳;张白 -专利权人：北方民族大学
申请日： 2022-05-17 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本发明属于角度测量领域，具体涉及一种干涉式角度测量系统及测量方法。包括棱柱反射镜和第一检测模组，所述棱柱反射镜用于与被测物品连接，所述第一检测模组设置于所述棱柱反射镜外部；所述第一检测模组包括，激光器，所述激光器用于发出测量激光；激光分散单元，所述激光分散单元与所述激光器对应设置，用于将所述激光器发出的单束激光分散为两束激光，并引导两束激光照射至棱柱反射镜；透镜，所述透镜用于接收所述棱柱反射镜反射出的两束激光，并将两束激光聚焦至干涉分析单元；干涉分析单元，干涉分析单元用于分析干涉状态变化本发明提供一种干涉式角度测量系统及测量方法，其目的在于解决现有的角度测量方法无法达到高精度测量的问题。
一种干涉角度测量系统测量方法

[发明专利]基于可移动真空波纹管的空气折射率测量装置和方法-CN202110910779.0有效
发明人：崔建军;张鹏;陈恺 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2021-08-10 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本申请公开了基于可移动真空波纹管的空气折射率测量装置和方法，本装置包括：真空波纹管、第一谐振平面镜、第二谐振平面镜、反射镜、光源装置、控制模块、光电探测单元；光源系统同时产生两束波长不等的光束，谐振平面镜、真空波纹管和反射镜用于形成测量干涉光束，光电探测器用于生成测量干涉信号，控制模块控制真空波纹管的拉伸长度和反射镜的位置，同时对测量干涉信号进行解调，计算空气折射率。本方法包括：同时得到两束波长不等的光束的测量干涉光束，进而得到测量干涉信号，在真空波纹管的两种拉伸长度下分别对测量干涉信号进解调判断，计算空气折射率。本申请抗干扰能力强，且能够实现10‑9的测量精度。
基于移动真空波纹管空气折射率测量装置方法

[发明专利]干涉仪和采用干涉仪的测量方法-CN99124887.2无效
发明人：鸣海达也 -专利权人：株式会社三丰
申请日： 1999-11-17 - 公布日： 2000-05-24 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：提供了高精度快速初步与主要测量的干涉仪和方法。激光与白光连续导入同一个干涉仪室。激光从激光源导入,利用CCD与个人机检测以基准镜作为基准的干涉条纹。把干涉条纹置成预置值,调节工件位置。然后导入白光,移动直角移动架,检测以基准镜作为基准的干涉条纹,执行工件的初步测量。再导入激光,检测以基准镜作为基准的干涉条纹,作工件的主要测量。
干涉仪采用测量方法

[实用新型]数显式迈克尔逊干涉仪自动化测量系统-CN201620101725.4有效
发明人：黎碧莲;黄金培 -专利权人：黎碧莲;黄金培
申请日： 2016-02-01 - 公布日： 2016-07-13 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种数显式迈克尔逊干涉仪自动化测量系统，所述系统包括微调手轮驱动装置、干涉环测量装置、控制数显主机、迈克尔逊干涉仪以及干涉条纹观测屏；所述微调手轮驱动装置将迈克尔逊干涉仪的微调手轮卡住，带动微调手轮同步转动，使迈克尔逊干涉仪的动镜前进或后退；所述干涉环测量装置设置在干涉条纹观测屏上，并与微调手轮驱动装置连接；所述控制数显主机与微调手轮驱动装置连接。本实用新型系统结构精巧、合理，使用方便，满足了迈克尔逊干涉仪工作时的平稳运行的要求，保证了迈克尔逊干涉仪的测量精度，具有在同类产品中使用更广泛、性价比更高等优点。
数显式迈克干涉仪自动化测量系统

[发明专利]光干涉测距传感器-CN202310198621.4在审
发明人：木村和哉;早川雅之;长崎裕介;儿岛清志朗 -专利权人：欧姆龙株式会社
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G01S17/08 文献下载
摘要：本发明提供能够根据到测量对象物的测量距离设定适当的测量条件的光干涉测距传感器。光干涉测距传感器(100)具备：光源(110)，边改变波长边投射光；干涉仪(130)，被供给从光源投射的光，并生成基于测定光和参照光的干涉光，测定光是通过传感头(131)照射到测量对象物(T)并被反射的光，参照光是沿至少一部分与测定光不同的光路行进的光；受光部(140)，接收来自干涉仪的干涉光并转换为电信号；处理部(150)，基于经受光部转换后的电信号，算出从传感头至测量对象物的距离；辨别单元(160)，基于以干涉仪生成的差拍信号辨别传感头；以及设定单元(170)，设定与通过辨别单元辨别出的传感头对应的测量条件。
干涉测距传感器

[发明专利]一种单幅载波干涉条纹成像质量实时监测调整方法-CN201510457851.3有效
发明人：顾营迎;李昂;马军;吴清文 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2015-07-30 - 公布日： 2017-07-14 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：单幅载波干涉条纹成像质量实时监测调整方法，属于光学测量技术领域，为解决单幅载波干涉条纹面形反演测量中干涉条纹拍摄质量不受控、人为主观因素大的问题，该方法包括获取成像系统技术指标；获取图像数据流；处理帧数据；以图像形式显示中间行数据和中间列数据；调整中间行列数据显示帧频；根据显示的中间行、列图像调整干涉仪与被测镜的位置关系；通过在线实时定量方法评价载波干涉条纹的成像质量，辅助测量人员快速将载波干涉条纹图像调整到适合图像处理的状态，确保将质量可控、蕴含面型信息完整的载波干涉条纹图像作为测量的原始图像，降低后续图像处理、面形反演的技术处理难度，该方法可有效控制面型测量的精确度，提高测量的重复精度。
一种单幅载波干涉条纹成像质量实时监测调整方法

[发明专利]一种光纤傅立叶变换白光干涉测量法-CN200710177837.3有效
发明人：江毅;唐才杰 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2007-11-21 - 公布日： 2008-04-09 - 主分类号： G01J3/28 文献下载
摘要：一种光纤傅立叶变换白光干涉测量法，对传感干涉仪的输出白光光谱作傅立叶变换，傅立叶谱以干涉仪光程差决定的频率为载频，在频率空间分开为对称的两组载频分量；滤出其中一组分量作反傅立叶变换和取复对数运算，传感干涉仪的相位信息作为信号的虚部从光源光谱轮廓和干涉条纹对比度形成的背景中分离出来；针对运算过程中传感干涉仪的相位信息限制在[－π，π]内，对相位信息的2π相位跃变作相位展开，测量范围不受2π相位限制；从相位信息计算出传感干涉仪的绝对光程差，从而实现测量。本发明方法相对白光光谱峰值测量法和傅立叶变换峰值频率测量方法，测量精度有很大的提高。
一种光纤傅立叶变换白光干涉测量