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[发明专利]一种基于匹配校正光频域干涉的分布式双向偏振测量装置-CN202110817517.X有效
发明人：温坤华;李培炯;黄明阳;喻张俊;杨军;徐鹏柏;王云才;秦玉文 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2021-07-20 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G01J4/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基于匹配校正光频域干涉的分布式双向偏振测量装置，属于光纤测量领域。该装置包括可调谐激光源、光频域干涉反射测量模块、光频域干涉透射测量模块、待测器件模块、第一辅助干涉仪模块、第二辅助干涉仪模块、信号处理模块；激光源输出的连续光作为问询光注入待测器件模块，其中的瑞利散射光返回注入光频域干涉反射测量模块中，而前向传输光和偏振耦合光则注入光频域干涉透射测量模块中，经过第一辅助干涉仪、第二辅助干涉仪匹配校正扫频非线性后，分别获得光纤器件的分布式瑞利散射谱、分布式偏振串扰谱。该装置利用多个具有不同光程差的辅助干涉仪匹配校正扫频非线性，提升了系统的空间分辨率，快速获得光纤器件的透反射信息。
一种基于匹配校正光频域干涉分布式双向偏振测量装置

[发明专利]飞秒激光器分布式干涉仪系统-CN201910917274.X在审
发明人：张少林;张万祯;周秋玲 -专利权人：深圳市威富视界有限公司
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本申请提供一种飞秒激光器分布式干涉仪系统。通过第一光学频率梳和第二光学频率梳发出的光分为多路子测量光和多路子本振光。一路子测量光和一路子本振光一一对应，并入射至一个干涉仪装置。此时，子测量光经干涉仪装置照射至被测物体，经被测物体反射后入射至干涉仪装置，干涉仪装置出射的子测量光与子本振光合并，形成干涉信号。干涉仪装置根据干涉信号获取被测物体的测量信息。通过一路子测量光、一路子本振光和一个干涉仪装置实现对一个被测物体的测量信息进行检测。飞秒激光器分布式干涉仪系统实现了双光梳光源同时测量多个所述被测物体，可以实现检测大量的所述被测物体，大幅度降低了系统成本，节省了检测时间，提高了检测效率。
干涉仪装置被测物体本振光测量光飞秒激光器干涉仪系统光学频率梳检测干涉信号测量子测量系统成本出射入射双光反射光源照射合并申请

[实用新型]飞秒激光器分布式干涉仪系统-CN201921620223.2有效
发明人：张少林;张万祯;周秋玲 -专利权人：深圳市威富视界有限公司
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本申请提供一种飞秒激光器分布式干涉仪系统。通过第一光学频率梳和第二光学频率梳发出的光分为多路子测量光和多路子本振光。一路子测量光和一路子本振光一一对应，并入射至一个干涉仪装置。此时，子测量光经干涉仪装置照射至被测物体，经被测物体反射后入射至干涉仪装置，干涉仪装置出射的子测量光与子本振光合并，形成干涉信号。干涉仪装置根据干涉信号获取被测物体的测量信息。通过一路子测量光、一路子本振光和一个干涉仪装置实现对一个被测物体的测量信息进行检测。飞秒激光器分布式干涉仪系统实现了双光梳光源同时测量多个所述被测物体，可以实现检测大量的所述被测物体，大幅度降低了系统成本，节省了检测时间，提高了检测效率。
激光器分布式干涉仪系统

[发明专利]利用光纤光栅及波分复用技术的台阶高度在线测量系统-CN200710122404.8无效
发明人：谢芳;张琳 -专利权人：北京交通大学
申请日： 2007-09-25 - 公布日： 2008-02-20 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用光纤光栅及波分复用技术的台阶高度在线测量系统。利用光纤光栅反射布拉格波长特性和波分复用技术构成光纤复合干涉仪，该干涉仪含二个反射镜独立光路几乎重合的光纤迈克尔逊干涉仪。一个干涉仪用于测量；另一个干涉仪用于稳定，经反馈控制电路补偿环境干扰对测量系统的影响，从而使系统适用于在线测量。谱宽40nm的超辐射发光二极管发出的光被三个布拉格波长不同的光纤光栅反射包含三个波长的光进入系统，一个波长作用于稳定干涉仪中，稳定系统；另二个波长作用于测量干涉仪中，产生合成波干涉，实现测量。调节作用于测量干涉仪的二个波长的大小，可得不同大小的合成波长，实现对不同高度台阶测量。
利用光纤光栅波分复用技术台阶高度在线测量系统

[实用新型]一种抗干扰阶梯型平面反射镜激光干涉仪-CN201520182494.X有效
发明人：张白;潘俊涛;康学亮 -专利权人：北方民族大学
申请日： 2015-03-30 - 公布日： 2015-07-08 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及激光干涉测量技术领域，具体涉及一种抗干扰阶梯型平面反射镜激光干涉仪，包括激光源、分光镜、阶梯型平面反射镜、移动反射镜、光电探测器组以及微动平台，阶梯型平面反射镜的反射面为n个阶梯平面，相邻两个反射平面间距为img file="DDA0000690779770000011.GIF" wi="184" he="128" />(k为自然数)，所述激光源可以生成多束平行激光，所述光电探测器组有n个光电探测器，激光干涉测量过程中，n个光电探测器将交替处于激光最强干涉状态或最弱干涉状态，测量精度可以达到同时对于测量过程中严格满足多光路干涉状态交替变化的情况才对其进行计数，即在多光路干涉测量中引入交流信号，将传统的激光干涉测量中直流电平的测量转换为交流信号的测量，提高了干涉仪的抗干扰能力。
一种抗干扰阶梯平面反射激光干涉仪

[发明专利]四光轴补偿及气浴式线位移激光干涉仪校准方法与装置-CN201310475571.6有效
发明人：胡鹏程;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2013-10-11 - 公布日： 2015-02-11 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：四光轴补偿及气浴式线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔，被校准激光干涉仪测量光束平行置于以正四棱柱侧棱形式分布的四条平行标准测量光束中心位置处；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，四条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布，使四条标准测量光束的空气折射率平均值更加接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；目标反射镜反射面表面形貌造成的测量误差补偿到线位移测量结果中，保证线位移测量值的准确性。
光轴补偿气浴式线位移激光干涉仪校准方法装置

[发明专利]三光轴补偿及气浴式线位移激光干涉仪校准方法与装置-CN201310475481.7有效
发明人：胡鹏程;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2013-10-11 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：三光轴补偿及气浴式线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过三轴中空激光干涉镜组的中间通孔，被校准激光干涉仪测量光束平行置于以正三棱柱侧棱形式分布的三条平行标准测量光束中心位置处；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，三条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布，使三条标准测量光束的空气折射率平均值更加接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；目标反射镜反射面表面形貌造成的测量误差补偿到线位移测量结果中，保证线位移测量值的准确性。
光轴补偿气浴式线位移激光干涉仪校准方法装置

[发明专利]一种大范围高精度的点衍射干涉三维坐标测量方法-CN201711478909.8有效
发明人：陈灿;王道档;赵军;孔明;刘维 -专利权人：浙江省计量科学研究院;浙江双鸿智能设备有限公司;中国计量大学
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2020-03-03 - 主分类号： G01B11/03 文献下载
摘要：本发明提供一种大范围高精度的点衍射干涉三维坐标测量方法，涉及测量技术领域。测量探头发出球面波并形成干涉场，光电探测器实时采集干涉条纹图片，当光电探测器无法得到清晰的干涉条纹图片时，计算机控制三维导轨移动，直至光电探测器能够再次采集到清晰的干涉条纹图片，计算机对干涉条纹图片运用多步移相算法得到相位差信息，利用迭代算法得到被测物上测量探头此时的三维坐标。本发明解决了现有技术中点衍射干涉测量系统实现的三个方向上的坐标位置在测量范围上存在很大的局限性的技术问题。本发明有益效果为：突破了因为光纤点衍射波前孔径角、光电探测器性能和测量探头结构等因素的限制，及大地提高了点衍射干涉三维绝对坐标测量范围。
一种范围高精度衍射干涉三维坐标测量方法

[发明专利]一种基于激光干涉仪的机床平动轴几何误差快速测量方法-CN201710231122.5有效
发明人：付国强;谷腾达;高宏力;宋兴国;曹中清 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2017-04-11 - 公布日： 2019-09-13 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明公开一种基于激光干涉仪的机床平动轴几何误差快速测量方法，涉及数控机床误差测量辨识技术领域。确定激光干涉仪初始安装位置，驱动平动轴，采集平动轴行程上激光干涉仪读数：设置平动轴行程上等距分布的n个测量点，其中n>2；驱动平动轴至各个测量点，采集激光干涉仪的激光A和激光B的读数，在测量点p处，调整激光干涉仪至第二安装位置，使得第二安装位置与初始安装位置距离为L；驱动平动轴，采集平动轴行程上激光干涉仪读数，在测量点p处，计算各个测量点处平动轴运动方向线性误差；根据初始安装位置，结合第二安装位置激光干涉仪激光A的读数A₂和初始安装位置激光干涉仪激光A的读数A₁，计算各个测量点处平动轴方向线性误差。
平动轴激光干涉仪测量点初始安装位置激光干涉激光几何误差快速测量采集驱动机床等距分布方向线性数控机床误差测量线性误差辨识

[实用新型]全光纤振动测量装置-CN03229729.7无效
发明人：贾波 -专利权人：复旦大学
申请日： 2003-03-24 - 公布日： 2004-07-14 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本实用新型是一种振动测量装置。现有的振动测量装置复杂，操作不便。本实用新型是一种白光干涉式全光纤干涉装置，主要由激光器、全光纤干涉装置和数据处理系统组成。其中全光纤干涉装置可以由三只2×2多模光纤耦合器组成，也可以由一只2×2光纤耦合器和一只3×3多模光纤耦合器组成，激光经过耦合器分光、差频干涉后，可直接测量振动对象，产生稳定的干涉条纹，经探测器光电转换后，分析干涉曲线，反演出振动速度和位移。全光纤速度干涉仪对振动面的测量，具有系统结构紧凑、调试方便、抗电磁干扰和强辐射等优点，不仅能够实现对高频振动的测量，还能实现对低频振动的测量；也能实现对微小振动信号的测量，对振动位移的测量能够精确到0.1nm
光纤振动测量装置

[发明专利]一种多波长干涉测量中光强一致性的控制方法-CN201910258078.6在审
发明人：翟中生;黄娇洁;王选择;吕清花;聂磊;冯胜;刘梦然;李劲松 -专利权人：湖北工业大学
申请日： 2019-04-01 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明属于多波长干涉测量技术领域，公开了一种多波长干涉测量中光强一致性的控制方法，获得多组滤光片的测量电压值，根据测量电压值反馈控制光源驱动电流，进行光强一致性的初步控制；根据CCD采集的干涉灰度图像获得信息容量值本发明解决了现有技术中多波长干涉微表面形貌干涉测量系统中存在波长切换时光强不一致的问题，从源头提高多波长干涉测量的精度，能够极大地提高后续测量结果的精度和可靠性。
多波长光强干涉测量光源驱动电流测量电压反馈控制干涉测量技术干涉测量系统后续测量结果形貌波长切换灰度图像获得信息信息容量不一致滤光片微表面干涉采集精细源头

[发明专利]基于直角棱镜的对角入射光激光外差干涉测量方法与装置-CN201310745960.6有效
发明人：胡鹏程;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2013-12-23 - 公布日： 2014-04-23 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：基于直角棱镜的对角入射光激光外差干涉测量方法与装置属于激光应用技术领域；发明方法采用了两束具有不同频率的空间分离平行光，两平行光束在非偏振分光棱镜上的入射点位于入射面的对角线上，并关于入射面的中心点对称，并采用直角棱镜作为参考棱镜和测量棱镜；该方法最终产生了两个具有相反多普勒频移的干涉测量信号来进行干涉测量；本发明方法及装置消除了干涉仪中的频率混叠现象，提高了外差干涉测量的测量精度，同时将外差干涉测量的分辨率提高了一倍
基于直角棱镜对角入射激光外差干涉测量方法装置

[实用新型]干涉轮廓测量设备-CN202320675405.X有效
发明人：夏勇;何梓铭;王华 -专利权人：长川科技（苏州）有限公司
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种干涉轮廓测量设备，包括底座、位移平台、光学干涉模块及相机。位移平台包括压电陶瓷及与导向机构，导向机构与压电陶瓷配合，能够将电信号转化成导向机构的移动端在第一方向上的动作。光学干涉模块的干涉物镜能够在位移平台的带动下沿第一方向移动以获得不同光程差或相位差的干涉光束，从而实现干涉测量。由于位移平台及光学干涉模块可单独装配和调试后再组装，无需将压电陶瓷集成于光学干涉模块，且压电陶瓷与干涉物镜的光轴非同轴设置，故光学干涉模块内部的结构得到简化，且压电陶瓷的运动不会对光学干涉模块的干涉光路造成的影响因此，上述干涉轮廓测量设备具有较高的测量精度及稳定性。
干涉轮廓测量设备

[发明专利]激光跟踪干涉仪测量场在机床坐标系中自标定方法及系统-CN202310057757.3在审
发明人：王宇晗;钟磊 -专利权人：上海拓璞数控科技股份有限公司
申请日： 2023-01-13 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B23Q17/22 文献下载
摘要：本发明提供了一种激光跟踪干涉仪测量场在机床坐标系中自标定方法及系统，包括：利用四台激光干涉跟踪仪连接组网形成测量场并建立测量坐标系，激光干涉跟踪仪实时采集机床刀尖点的运动数据；在机床刀尖运动范围以及激光干涉跟踪仪的测量范围内规划标定点位置；对标定点和激光跟踪干涉仪的位置进行仿真，计算仿真误差；判断仿真误差是否小于阈值，若是，计算四台激光干涉跟踪仪在机床坐标系中的坐标，建立测量场测量坐标系与机床机械坐标系转换模型；若否，对激光干涉跟踪仪的位置进行重新规划本发明无需借助第三方测量仪器或标准件，即可快速在机床机械坐标系中对测量场进行标定,本发明在测量场标定完成后，可以迅速估算测量场的不确定度。
激光跟踪干涉仪测量机床坐标系标定方法系统

[发明专利]分析设备、分析方法、干涉测量系统和存储介质-CN202011033769.5在审
发明人：松浦心平 -专利权人：株式会社三丰
申请日： 2020-09-27 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种分析设备、分析方法、干涉测量系统和存储介质。该分析设备(200)包括：获取部(210)，用于从干涉测量设备获取基于具有多个不同波长的光的多个干涉图像；去除部(230)，用于通过去除多个干涉图像中的各像素的干涉信号中所包含的非干涉分量来输出干涉分量；转换部(240)，用于通过对干涉分量进行希尔伯特变换来生成分析信号；以及计算部(250)，用于基于干涉分量和分析信号，通过指定照射到参考面(132)和测量对象物体(10)的表面上的光的波长的相位梯度，来计算参考面(132)和测量对象物体(10)的表面之间的距离。
分析设备方法干涉测量系统存储介质