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[发明专利]一种双干涉仪匹配解调的光纤传感测量方法及装置-CN201710248395.0在审
发明人：江毅;贾景善;姜澜 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2017-04-17 - 公布日： 2017-08-04 - 主分类号： G01D5/353 文献下载
摘要：本发明涉及一种双干涉仪匹配解调的光纤传感测量方法及装置，属于光纤传感技术领域。该方法使用两只匹配的光纤干涉仪，具有一致的光谱特性，且都工作在线性区间。传感干涉仪用于将被测量转换为光功率的变化，参考干涉仪与被测量隔离。传感干涉仪与参考干涉仪的输出信号求差即可解调出被测量并消除共模干扰，该方法有效解决了传统正交工作点直接测量法易受光源波长、光强波动及光路传输损耗等因素干扰的缺陷。可以对双光束干涉仪及多光束干涉仪进行动态信号和静态信号的解调。具有测量精度高，带宽宽，结构简洁，成本低等特点，且属于被动解调，响应快、解调频率高，适合小振幅信号的快速精确测量。
一种干涉仪匹配解调光纤传感测量方法装置

[发明专利]光纤法布里珀罗干涉测振仪非线性误差修正方法-CN201911036474.0在审
发明人：胡鹏程;董祎嗣;冉明;初文豪 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2019-10-28 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：光纤法布里珀罗干涉测振仪非线性误差修正方法属于光纤干涉测量技术领域；本发明在不需要改变反射镜位置的前提下，通过给激光波长可调制光源进行波长预扫描，利用输出激光波长的连续变化使干涉仪的测量的光程差产生连续的变化，使得探测器得到的干涉信号产生至少一个周期的相位变化，实现干涉信号特征参数的预提取，并利用预提取的特征参数在测量过程中实现非线性误差修正，进行高精度位移测量；本发明实现了对光纤法布里珀罗干涉测振仪干涉信号特征参数的预提取、能够有效解决干涉测量尤其是微小振动测量中非线性误差的修正问题，在精密测量领域具有显著的技术优势。
光纤法布里珀罗干涉测振仪非线性误差修正方法

[发明专利]光纤法布里珀罗干涉仪非线性误差修正方法-CN201911031866.8在审
发明人：胡鹏程;董祎嗣;冉明;乐志涛 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2019-10-28 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：光纤法布里珀罗干涉仪非线性误差修正方法属于光纤干涉测量技术领域；本发明在不需要改变反射镜位置的前提下，通过给激光波长可调制光源进行波长预扫描，利用输出激光波长的连续变化使干涉仪的测量的光程差产生连续的变化，使得探测器得到的干涉信号产生至少一个周期的相位变化，实现干涉信号特征参数的预提取，并利用预提取的特征参数在测量过程中实现非线性误差修正，进行高精度位移测量；本发明实现了对光纤法布里珀罗干涉仪干涉信号特征参数的预提取、能够有效解决干涉测量尤其是微小位移测量中非线性误差的修正问题，在精密测量领域具有显著的技术优势。
干涉信号特征参数预提取非线性误差修正干涉仪光纤法测量测量技术领域精密测量领域输出激光波长微小位移测量反射镜位置非线性误差可调制光源测量过程干涉测量光纤干涉激光波长技术优势精度位移相位变化有效解决光程差预扫描波长探测器修正干涉

[发明专利]一种基于延时重采样的扫频干涉测量非线性同步误差校正方法-CN202310668407.0在审
发明人：甘雨;段长昊;刘国栋;孟祥彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-06-07 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明是一种基于延时重采样的扫频干涉测量非线性同步误差校正方法。本发明涉及扫频干涉绝对距离测量技术领域，本发明在所经探测器光电转换，得到测量干涉仪信号im(n)；扫频光经过测量臂与参考臂后相遇完成干涉信号叠加，经探测器光电转换，得到校正干涉仪信号if(n)。所述数据采集卡对探测器电信号进行模数转换，在计算机对测量干涉仪信号im(n)与校正干涉仪信号if(n)进行数据处理和分析本发明解决了由校正干涉仪与测量干涉仪由臂长差不同引起的延迟不同步带来的扫频非线性同步误差造成的频谱恶化，导致测量分辨率和精度下降的问题。
一种基于延时采样干涉测量非线性同步误差校正方法

[发明专利]一种基于相位补偿的扫频干涉测量非线性同步误差校正方法-CN202310668411.7在审
发明人：甘雨;段长昊;刘国栋;程焕然 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-06-07 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明是一种基于相位补偿的扫频干涉测量非线性同步误差校正方法。本发明涉及扫频干涉测量、FMCW、OFDR技术领域，本发明在经探测器光电转换，得到测量干涉仪信号im(n)；扫频光经过测量臂与参考臂后相遇完成干涉信号叠加，经探测器光电转换，得到校正干涉仪信号if(n)。所述数据采集卡对探测器电信号进行模数转换，在计算机对测量干涉仪信号im(n)与校正干涉仪信号if(n)进行数据处理和分析本发明解决了由校正干涉仪与测量干涉仪由臂长差不同引起的延迟不同步带来的扫频非线性同步误差造成的频谱恶化，导致测量分辨率和精度下降的问题。
一种基于相位补偿干涉测量非线性同步误差校正方法

[发明专利]一种干涉仪测量系统及测量方法-CN202211461325.0在审
发明人：张鸣;朱煜;张恩鸣;王磊杰;叶伟楠;黄河;刘相波;成荣 -专利权人：清华大学
申请日： 2022-11-21 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： G01B9/02015 文献下载
摘要：本发明提供了一种干涉仪测量系统及测量方法，通过设置折光组件和回射组件实现二次衍射，还利用回射组件平行出光的效应，消除因待测目标转动导致的夹角干涉。利用回射组件，不仅可以消除夹角干涉，还能使干涉仪整体更为集成、紧凑，从而在测量中可以更好的控制干涉仪在测量环境中温度梯度，以降低环境因素对干涉仪精度的影响。
一种干涉仪测量系统测量方法

[发明专利]一种降低光纤双折射影响的光纤干涉测量系统-CN201110088178.2无效
发明人：王涛 -专利权人：杭州安远科技有限公司
申请日： 2011-04-06 - 公布日： 2012-04-04 - 主分类号： G01D21/00 文献下载
摘要：一种降低光纤双折射影响的光纤干涉测量系统，激光由激光器发射，通过光源光纤传输至光纤耦合器，激光通过耦合器分光，分别输出到光纤干涉测量系统的测量臂和参考臂，其中一路光经过测量臂光纤去偏器、测量臂光纤入射到测量臂光反射装置，被反射后经原路返回到光纤耦合器；另一路光经过参考臂光纤去偏器、参考臂光纤入射到参考臂光反射装置，被反射后由原路返回到光纤耦合器，两路反射光在耦合器形成干涉光信号，该信号经过探测器光纤被光电探测器接收成为干涉信号，干涉信号经信号传输线传输至运算处理系统得出外界物理量信号的大小。本发明一种用于测量振动等外界物理量的光纤干涉测量系统，消除普通光纤干涉测量系统中偏振态随机变化对光纤干涉测量系统信号的影响。
一种降低光纤双折射影响干涉测量系统

[发明专利]单频激光干涉仪非线性误差修正方法与装置-CN201811353160.9在审
发明人：付海金;王珂;胡鹏程;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2018-11-14 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：单频激光干涉仪非线性误差修正方法与装置属于激光测量技术领域；本发明可以在不需要改变第一反射镜和第二反射镜位置的前提下，利用螺旋相位板在测量光束和参考光束之间产生连续的光程差变化，使得干涉信号产生足够的相位变化，实现对干涉信号特征参数的预提取，从而利用预提取的特征参数对单频激光干涉仪位移测量过程中的非线性误差进行修正，实现高精度位移测量；本发明实现了对单频激光干涉仪干涉信号特征参数的预提取、能够有效解决干涉测量尤其是微小位移测量中非线性误差的修正问题，在精密测量领域具有显著的技术优势。
单频激光干涉仪干涉信号特征参数预提取非线性误差修正非线性误差激光测量技术精密测量领域微小位移测量修正反射镜位置螺旋相位板参考光束测量光束干涉测量技术优势精度位移位移测量相位变化有效解决反射镜光程差测量

[发明专利]任意姿态光学元件在位面形检测装置及方法-CN201910662390.1在审
发明人：李萌阳;曹庭分;蒋晓东;周海;张尽力;全旭松;易聪之 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2019-07-22 - 公布日： 2019-10-15 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种任意姿态光学元件在位面形检测装置及方法，采用以上技术方案，结构灵活，用工业机器人取代了干涉仪的各种支撑调节平台和装置，使干涉仪的位置姿态调整更方便，同时简化了光学元件支撑机构，使其可以不用具有自由度调节功能；方法新颖，将动态干涉仪与工业机器人相结合，解决了重力倾斜姿态下的在位面形测量问题；应用范围广，可以同时满足各种姿态下的面形测量问题；环境适应性好，使用动态干涉仪，能够将干涉测量扩展到各种测量环境中，同时保证其测量精度和重复性；测量简单高效，引入了干涉条纹监控系统，实现了干涉条纹的自动调整，提高了测量效率。
光学元件在位面形检测装置干涉条纹面形测量测量干涉仪自由度调节功能工业机器人环境适应性应用范围广测量效率干涉测量工业机器监控系统倾斜姿态位置姿态支撑机构干涉引入灵活支撑保证

[发明专利]单频激光干涉仪非线性误差修正方法与装置-CN201811352669.1在审
发明人：胡鹏程;付海金;王珂;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2018-11-14 - 公布日： 2019-03-29 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：单频激光干涉仪非线性误差修正方法与装置属于激光测量技术领域；本发明在不需要改变第一反射镜和第二反射镜位置的前提下，利用液晶相位延迟器在测量光束和参考光束之间产生连续的光程差变化，使得干涉信号产生足够的相位变化，实现对干涉信号特征参数的预提取，从而利用预提取的特征参数对单频激光干涉仪位移测量过程中的非线性误差进行修正，实现高精度位移测量；本发明实现了对单频激光干涉仪干涉信号特征参数的预提取、能够有效解决干涉测量尤其是微小位移测量中非线性误差的修正问题，在精密测量领域具有显著的技术优势。
单频激光干涉仪干涉信号特征参数预提取非线性误差修正非线性误差液晶相位延迟器激光测量技术精密测量领域微小位移测量修正反射镜位置参考光束测量光束干涉测量技术优势精度位移位移测量相位变化有效解决反射镜光程差测量

[发明专利]基于螺旋相位板的零差干涉仪非线性误差修正方法与装置-CN201811403677.4在审
发明人：付海金;王珂;胡鹏程;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2018-11-23 - 公布日： 2019-03-29 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：基于螺旋相位板的零差干涉仪非线性误差修正方法与装置属于激光测量技术领域；本发明可以在不需要改变第一反射镜和第二反射镜位置的前提下，利用螺旋相位板在测量光束和参考光束之间产生连续的光程差变化，使得干涉信号产生足够的相位变化，实现对干涉信号特征参数的预提取，从而利用预提取的特征参数对零差干涉仪位移测量过程中的非线性误差进行修正，实现高精度位移测量；本发明实现了对零差干涉仪干涉信号特征参数的预提取、能够有效解决干涉测量尤其是微小位移测量中非线性误差的修正问题，在精密测量领域具有显著的技术优势。
干涉仪零差螺旋相位板干涉信号特征参数预提取非线性误差修正非线性误差激光测量技术精密测量领域微小位移测量修正反射镜位置参考光束测量光束干涉测量技术优势精度位移位移测量相位变化有效解决反射镜光程差测量

[发明专利]用于复用和解复用的多模式设备-CN202211040910.3在审
发明人： Y-K·吴;L·T·甘恩 -专利权人：苹果公司
申请日： 2022-08-29 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01D5/353 文献下载
摘要：公开了一种用于复用和解复用光的干涉测量设备的配置。该干涉测量设备可包括第一输入波导、第二输入波导、干涉测量波导和输出波导。基本模式的光可被发射到该第一输入波导和该第二输入波导中，并且该干涉测量波导可接收该基本模式并生成更高阶模式的光，其中该两种模式的光可在传播穿过该干涉测量波导时叠加。即使光的波长可彼此不同，传播穿过该干涉测量设备的该光也可用于增加光学功率。另外，该干涉测量设备可降低相干噪声。
用于和解模式设备

[发明专利]用于正弦相位调制干涉测量的调制度和初相位测量方法-CN201710179912.3有效
发明人：段发阶;黄婷婷;蒋佳佳;傅骁;马凌 -专利权人：天津大学
申请日： 2017-03-23 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明涉及正弦相位调制干涉测量的调制度和初相位测量，为提出克服正弦相位调制干涉测量中调制度测量过程繁琐的缺点的方法，具备简便易行的特点，且所求出的调制度值在原理上无误差，为此，本发明采用的技术方案是，用于正弦相位调制干涉测量的调制度和初相位测量方法，利用分光装置将激光器射出的光束分光构建迈克尔逊干涉仪，再用外调制技术或内调制技术对干涉相位进行正弦调制；光电转换模块接收调制之后的迈克逊干涉信号，经模数转换之后输入信号处理模块，提取四次谐波幅值，再进行运算解出调制度和初相位本发明主要应用于调制干涉测量场合。
用于正弦相位调制干涉测量测量方法

[实用新型]任意姿态光学元件在位面形检测装置-CN201921157295.8有效
发明人：李萌阳;曹庭分;蒋晓东;周海;张尽力;全旭松;易聪之 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2019-07-22 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种任意姿态光学元件在位面形检测装置，结构灵活，用工业机器人取代了干涉仪的各种支撑调节平台和装置，使干涉仪的位置姿态调整更方便，同时简化了光学元件支撑机构，使其可以不用具有自由度调节功能；方法新颖，将动态干涉仪与工业机器人相结合，解决了重力倾斜姿态下的在位面形测量问题；应用范围广，可以同时满足各种姿态下的面形测量问题；环境适应性好，使用动态干涉仪，能够将干涉测量扩展到各种测量环境中，同时保证其测量精度和重复性；测量简单高效，引入了干涉条纹监控系统，实现了干涉条纹的自动调整，提高了测量效率。
干涉条纹光学元件面形测量测量干涉仪在位自由度调节功能面形检测装置本实用新型工业机器人环境适应性应用范围广测量效率干涉测量工业机器监控系统倾斜姿态位置姿态支撑机构干涉引入灵活支撑保证

[发明专利]镜斑位置校准方法、光刻设备和器件制造方法-CN202180078767.4在审
发明人： J·M·T·A·阿德里安斯 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G01B9/02018 文献下载
摘要：一种用于校准干涉仪系统的反射镜上的斑点位置的方法，干涉仪系统包括至少两对干涉仪，用于提供物体围绕旋转轴的旋转位置的冗余测量，其中方法包括以下步骤：a.旋转物体；b.使用至少两对干涉仪中的每一对干涉仪来测量物体围绕旋转轴的旋转位置的变化；c.确定由至少两对干涉仪中的一对干涉仪测量的旋转位置的变化与由至少两对干涉仪中的另一对干涉仪测量的旋转位置的变化相比或者与由两对或更多对干涉仪测量的旋转位置的平均变化相比的偏差；以及d.基于所确定的偏差，获得与至少两对干涉仪中的所述一对干涉仪的反射镜上的斑点位置有关的信息。
位置校准方法光刻设备器件制造