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[发明专利]高速高分辨率激光外差干涉测量方法与装置-CN201210346842.3有效
发明人：谭久彬;刁晓飞;胡鹏程;白洋;杨千惠 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2012-09-19 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：高速高分辨率激光外差干涉测量方法与装置属于激光应用技术领域；本发明采用了空间分离的参考光和测量光，并进行测量光路平衡性设计，同时该方法产生了两个具有相反多普勒频移的干涉测量信号，并根据被测目标的运动方向和速度，选择性使用两测量信号来进行干涉测量；本发明不仅减小了温度变化对测量的影响，而且消除了干涉仪中的频率混叠现象，提高了外差干涉测量的测量精度；同时解决了激光光源频差对测量速度限制的问题。
高速高分辨率激光外差干涉测量方法装置

[发明专利]双光轴补偿及气浴式线位移激光干涉仪校准方法与装置-CN201310475556.1有效
发明人：胡鹏程;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2013-10-11 - 公布日： 2014-01-08 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：双光轴补偿及气浴式线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过双轴中空激光干涉镜组的中间通孔，被校准激光干涉仪测量光束平行置于两条平行标准测量光束中间位置处；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，两条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布，使两条标准测量光束的空气折射率平均值更加接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；目标反射镜反射面表面形貌造成的测量误差补偿到线位移测量结果中，保证线位移测量值的准确性。
光轴补偿气浴式线位移激光干涉仪校准方法装置

[发明专利]一种对保偏光纤缺陷点测量中的伪干涉峰鉴别方法-CN201610152972.1有效
发明人：杨军;李创;苑勇贵;吴冰;彭峰;喻张俊;苑立波 -专利权人：哈尔滨工程大学
申请日： 2016-03-17 - 公布日： 2018-04-17 - 主分类号： G01M11/00 文献下载
摘要：本发明提供的是一种对保偏光纤缺陷点测量中的伪干涉峰鉴别方法。通过改变待测光纤与起偏器/检偏器之间的对轴角度，分别实现对干涉信号中不同特征干涉峰的抑制和放大；不同对轴角度条件下，将测量干涉峰与预测干涉峰位置‑幅值的理论公式进行比对，得到干涉信号中的特征干涉峰的幅值、阶次等信息；通过4次不同对轴角度测量，即可鉴别出其中的伪干涉峰和代表真实缺陷点的干涉峰。本发明中的操作方法简单有效，有助于从分布式干涉测量中准确地估计保偏光纤缺陷点信息，可以广泛应用于保偏光纤中缺陷点的精确测量。
一种偏光缺陷测量中的干涉鉴别方法

[发明专利]散斑干涉与剪切散斑干涉的共用装置-CN201811133659.9有效
发明人：吴思进;李洋洋;李伟仙;杨连祥;董明利 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2018-09-27 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种散斑干涉与剪切散斑干涉的共用装置，其特征在于，包括：散斑干涉光路、剪切散斑干涉光路和光路切换模块；其中，所述光路切换模块，用于进行所述散斑干涉光路和所述剪切散斑干涉光路之间的光路切换本申请实施例可以通过光路切换模块，在一个测量装置中实现散斑干涉测量光路和剪切散斑干涉测量光路的切换，有效降低了切换不同测量装置导致的操作繁琐问题。
干涉剪切共用装置

[实用新型]一种基于光纤干涉仪的拉力测量装置-CN201721543452.X有效
发明人：赖学辉;师文庆;王文华;安芬菊;许剑;杨文虎;黄江;谢玉萍;张海康;邱彩虹;王伟宏 -专利权人：广东海洋大学
申请日： 2017-11-17 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及力的测试技术领域，特别是涉及一种基于光纤干涉仪的拉力测量装置，包括有拉力变形组件、光纤干涉系统、光纤调节系统、控制单元，所述光纤调节系统在进行拉力测量前对光纤干涉系统进行校正，所述拉力变形组件受力使光纤干涉系统产生干涉条纹，光纤干涉系统将干涉条纹的数据传输给控制单元进行分析测量。该装置精度高（光波干涉测量其弹性变化位移可达到nm量级），而且结构简单，稳定，性能高和体积小。
光纤干涉系统拉力测量装置变形组件调节系统干涉条纹光纤干涉光纤测试技术领域本实用新型弹性变化分析测量光波干涉拉力测量数据传输体积小受力校正测量

[发明专利]基于空间光调制器参考面的非球面干涉测量系统及方法-CN201710340721.0有效
发明人：郝群;宁妍;胡摇;张馨木 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2017-05-16 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明公开的基于空间光调制器参考面的非球面干涉测量系统及方法，涉及一种用于测量非球面面形的干涉测量系统及方法，属于光电检测领域。本发明的测量系统包括激光器、准直物镜、分光镜、参考镜、补偿器、待测非球面、成像物镜、CCD探测器。使用SLM作为非球面干涉测量系统的参考镜，定义为SLM参考镜。本发明还公开利用非球面干涉测量系统实现的测量方法。本发明公开要解决的技术问题为：产生与部分补偿后的非球面波前相等的非平面波前，实现零干涉测量，在继承部分补偿法对补偿器设计制造精度要求低的优点的同时，保留零补偿干涉测量法精度高的优点，此外还能够避免传统干涉测量系统中机械移相误差的引入
基于空间调制器参考球面干涉测量系统方法

[实用新型]剪切干涉测量装置-CN201320141623.1有效
发明人：徐建程 -专利权人：浙江师范大学
申请日： 2013-03-15 - 公布日： 2013-10-16 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种剪切干涉测量装置，包括干涉仪、参考镜、测试镜及平移台；其中，所述测试镜固定在平移台上，所述平移台可沿水平、垂直方向平移，平移量等于干涉仪探测器中一个像素对应物空间中测试面的尺寸大小。所述干涉仪、参考镜及测试镜的中心高度一致。本剪切干涉测量装置不需要昂贵的高精度剪切板。本装置在平移测试镜前后分别用干涉仪测量，通过计算两次测量结果之差就实现了剪切干涉测量，具有重要的应用价值。
剪切干涉测量装置

[发明专利]四光轴回位及气浴式角位移激光干涉仪校准方法与装置-CN201310475593.2有效
发明人：胡鹏程;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2013-10-11 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：四光轴回位及气浴式角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术，本发明将被校准激光干涉仪四条测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔，四条被校准激光干涉仪测量光束平行置于四条平行标准测量光束中间位置；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近；气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布，使标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值更接近；微动装置根据四个光束位置探测器测量出衍生位移的平均值，对目标反射镜进行实时回位补偿，使目标反射镜反射面上测量光束入射位置不发生变化。
光轴气浴式角位移激光干涉仪校准方法装置

[发明专利]数字全息干涉和变频率投影条纹复合测量系统及方法-CN201310291898.8有效
发明人：贾书海;许勇;鲍庆臣 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2013-07-11 - 公布日： 2013-10-30 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种数字全息干涉和变频率投影条纹复合测量系统及方法，属于光电测量技术领域，包括一套连续变角度数字全息干涉测量装置或变波长数字全息干涉和一套多步变频率投影条纹测量装置，先利用多步变频率投影条纹测量法对待测物体进行粗测，得到大致的高度范围，再利用连续变角度数字全息干涉测量装置或变波长数字全息干涉对待测物体进行精测，就可以得到物体各点的高度信息，本发明在测量过程中对待物体各点单独测量，无需相位去包裹的步骤，能够测量形状复杂的、有间断的物体的面型参数，和单独的多步变频率投影条纹测量及连续变角度数字全息干涉或变波长数字全息干涉相比，优点是可以同时达到测量精度高和测量高度变化范围大的要求。
数字全息干涉频率投影条纹复合测量系统方法

[发明专利]双光轴回位及气浴式角位移激光干涉仪校准方法与装置-CN201310475899.8有效
发明人：谭久彬;胡鹏程;毛帅 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2013-10-11 - 公布日： 2014-01-08 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：双光轴回位及气浴式角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术，本发明将被校准激光干涉仪两条测量光束穿过双轴中空激光干涉镜组的中间通孔，两条被校准激光干涉仪测量光束平行置于两条平行标准测量光束中间位置；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近；气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布，标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值更接近；微动装置根据两个光束位置探测器测量出衍生位移的平均值，对目标反射镜进行实时回位补偿，使目标反射镜反射面上测量光束入射位置不发生变化。
光轴气浴式角位移激光干涉仪校准方法装置

[发明专利]基于光路补偿的激光外差干涉测量方法与装置-CN201210347021.1有效
发明人：谭久彬;刁晓飞;胡鹏程;杨千惠;白洋 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2012-09-19 - 公布日： 2015-02-11 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：基于光路补偿的激光外差干涉测量方法与装置属于激光应用技术领域；本发明采用了空间分离的参考光和测量光，并进行光路补偿设计，同时该方法产生了两个具有相反多普勒频移的干涉测量信号，并根据被测目标的运动方向和速度，选择性使用两测量信号来进行干涉测量；本发明不仅减小了温度变化对测量的影响，而且消除了干涉仪中的频率混叠现象，提高了外差干涉测量的测量精度；同时解决了激光光源频差对测量速度限制的问题。
基于补偿激光外差干涉测量方法装置

[发明专利]一种测量干涉仪波长的装置及方法-CN201010507220.5有效
发明人：林彬;毛方林 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2010-10-14 - 公布日： 2012-05-09 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种测量工件台干涉仪波长的装置，包括：分别位于该工件台相对两侧的第一、第二干涉仪，该第一、第二干涉仪发出的第一、第二测量光束组成一波长测量轴，以及计算模块，用以计算该波长测量轴的理论长度、实际长度以及计算该第一、第二测量光束的实际波长，进而通过本发明之第一、第二干涉仪及计算模块实现对干涉仪测量光束的波长进行实时计算。本发明同时还公开了一种测量工件台干涉仪波长的方法。
一种测量干涉仪波长装置方法

[发明专利]一种基于同轴干涉的波面测量系统和方法-CN201910430146.2在审
发明人：贾伟;周常河;王津;项长铖;谢永芳;薄启宇 -专利权人：暨南大学
申请日： 2019-05-22 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于同轴干涉的波面测量系统，包括：马赫曾德双光束干涉光路、同轴干涉记录单元、二维移动平台、激光干涉仪单元及数据处理单元；待测光学元件设置在所述马赫曾德双光束干涉光路中，所述马赫曾德双光束干涉光路用于产生两束马赫曾德干涉光路，一路作为参考光，另一路作为测量光，其中测量光经过待测光学元件，所述同轴干涉记录单元设置在二维移动平台上，用于将两束马赫曾德干涉光路合路成同轴干涉信号，并记录同轴干涉信号的光强信息，本发明测量波面的尺寸和精度不再受限于分束镜的大小和表面质量，因此在大尺寸波面以及大尺寸光学元件面形测量中具有很好的应用前景。
同轴双光束干涉光路马赫曾德干涉光路二维移动平台干涉波面测量干涉信号光学元件记录单元测量光大尺寸光学元件数据处理单元激光干涉仪光强信息面形测量参考光测量波分束镜波面合路受限记录应用

[发明专利]一种星载SAR立体测量辅助的干涉相位图解缠绕方法-CN202211498382.6有效
发明人：吴羽纶;张衡;赵凤军;王吉利 -专利权人：中国科学院空天信息创新研究院
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G01S13/90 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于星载SAR立体测量辅助的干涉相位图解缠绕方法，包括：据SAR几何关系，将主、辅图像精细配准得到的立体测量像素偏移量转换为立体测量相位，并对立体测量相位进行去平地；对去平地干涉图进行滤波，并利用去平地立体测量相位与滤波后的去平地干涉图差分，形成小梯度差分干涉图；利用改进的共变性重新确定差分干涉图的解缠绕权重，并利用该权重进行相位解缠绕；根据差分干涉图解缠绕结果与立体测量结果重建干涉相位，得到解缠绕错误大幅度减少的干涉绝对相位图。
一种 sar 立体测量辅助干涉相位图解缠绕方法

[发明专利]物体表面形貌纳米精度的实时干涉测量装置及其测量方法-CN200710037264.4无效
发明人：何国田;王向朝 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2007-02-07 - 公布日： 2007-08-15 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：一种物体表面形貌纳米精度的实时干涉测量装置及其测量方法，本发明采用滤波法解相位的干涉测量方法，本发明的实时干涉测量装置主要是增加了相位探测电路和实时相位数据处理电路，对光源的实行正弦调制驱动。本发明能对物体表面形貌进行纳米精度的实时干涉测量，测量范围扩展到毫米量级。
物体表面形貌纳米精度实时干涉测量装置及其测量方法