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- [发明专利]集成电路制造方法-CN98108723.X无效
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沈华
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西门子公司
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1998-06-01
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1998-12-16
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H01L21/8242
- 一种制造半导体基底中电容器的方法包括半导体部分表面形成沟道。沟道有侧壁和底。半导体表面淀积掺杂膜。掺杂膜部分淀积在沟道侧壁和底上。加热半导体和掺杂膜使其间为液相界面区,使掺杂膜中杂质扩散进半导体一个区内。冷却界面区使其回到固相。从半导体上去掉掺杂膜和界面区,留下半导体中的掺杂区。半导体的掺杂区上淀积介质膜。介质膜上淀积掺杂材料,掺杂材料和半导体中的掺杂区形成电容器电极,介质膜形成电容器介质。
- 集成电路制造方法
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