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[发明专利]干涉测量方法、干涉测量装置以及干涉测量系统-CN202210913106.5在审
发明人：路伟涛;任天鹏;陈略 -专利权人：北京航天飞行控制中心
申请日： 2022-07-29 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G01S3/46 文献下载
摘要：本申请提供了一种干涉测量方法、干涉测量装置以及干涉测量系统，该方法包括：接收多个第一估计数据以及多个第二估计数据，第一估计数据为第一测站对第一测试数据进行频率估计和相位估计得到的，第二估计数据为第二测站对第二测试数据进行频率估计和相位估计得到的第二测试数据为第二测站对目标探测器的观测数据；获取初始理论时延，初始理论时延为第一个采集时刻的理论时延，理论时延为理论上第一测站相对于第二测站的传输时延；根据各第一估计数据、各第二估计数据以及初始理论时延，确定第一测站和第二测站的干涉测量时延观测量本申请解决了干涉测量中数据传输对通信链路带宽要求高的问题。
干涉测量方法测量装置以及系统

[发明专利]一种激光白光复合干涉测量系统及方法-CN201810448837.0有效
发明人：杨树明;薛兴昌;张国锋;杨新宇;杨林林;吉培瑞 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2018-05-11 - 公布日： 2021-01-19 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光白光复合干涉测量装置及方法，可以将单色光相移干涉与白光扫描干涉相结合，提高系统的测量性能。该测量装置包括白光LED光源、准直透镜、滤光片、光学显微干涉模块和图像采集装置。测量方法是首先对被测样品进行白光扫描干涉测量。然后进行单色光相移干涉测量，只需在分光镜前放置滤光片即可，其它部分与白光扫描干涉相同。将白光扫描干涉测量结果与单色光相移干涉测量结果相结合，可以解决单色光相移干涉中存在的相位模糊问题；相对于白光扫描干涉，复合干涉测量结果具有更高的精度。另外，本发明复合干涉测量系统采用Michelson干涉结构，其横向测量范围远大于商业白光干涉Mirau结构的测量范围，对于大尺寸零件表面检测具有更大优势。
一种激光白光复合干涉测量系统方法

[发明专利]一种长行程工作台精密位移分步测量方法和装置-CN202211343261.4在审
发明人：刘兆武;王玮;李文昊;姜珊;巴音贺希格;李烁 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：一种长行程工作台精密位移分步测量方法与装置涉及精密测量领域，解决现有技术中长量程精密位移测量装置无法精密测量运动的工作部件的技术问题。该装置包括：测量反射镜、双直线导轨、第一测量干涉组件、第二测量干涉组件、电机组件和丝杠螺母副；丝杠螺母副中的丝杠两端分别设置在电机组件和第一测量干涉组件上，保持固定的距离，丝杠螺母副中的螺母安装在第二测量干涉组件上，通过电机组件带动丝杠的转动，改变第二测量干涉组件位于丝杠上的位置，调节第一测量干涉组件和第二测量干涉组件之间的距离；并使第一测量干涉组件、第二测量干涉组件和电机组件沿双直线导轨运动；第一测量干涉组件和第二测量干涉组件分别检测测量反射镜上设置的被测物
一种行程工作台精密位移分步测量方法装置

[发明专利]二自由度外差光栅干涉测量系统-CN201810709970.7有效
发明人：朱煜;张鸣;王磊杰;杨富中;成荣;李鑫;叶伟楠;胡金春 -专利权人：清华大学;北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2018-07-02 - 公布日： 2020-03-20 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明提供一种二自由度外差光栅干涉测量系统，包括：单频激光器，用于发出单频激光，所述单频激光可分束为一束参考光和一束测量光；干涉仪镜组和测量光栅，用于将所述参考光和测量光形成参考干涉信号和测量干涉信号；接收光纤，用于接收所述参考干涉信号和测量干涉信号，所述接收光纤的芯径小于所述参考干涉信号和测量干涉信号的干涉条纹宽度，使得所述接收光纤接收所述参考干涉信号和测量干涉信号的局部。所述测量系统对光栅转角误差不敏感、体积小、质量轻、便于布置等优点，特别适用于工业应用中对安装误差要求较高的场景。
自由度外差光栅干涉测量系统

[发明专利]激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法和光刻系统-CN201911050178.6有效
发明人：王磊杰;朱煜;张鸣;徐继涛;成荣;李鑫;杨开明;胡金春 -专利权人：清华大学;北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2020-10-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明属于光学仪器仪表设备技术领域，公开了一种激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法，从激光干涉光刻的曝光光束中分离出测量光输入激光相位测量干涉仪对激光干涉光刻的曝光光束进行相位测量，再引入与激光干涉光刻曝光光束同源的参考光束也输入激光相位测量干涉仪，由激光相位测量干涉仪处理形成干涉测量光信号，进行解算得到激光干涉光刻的曝光光束的相位。本发明公开了一种激光干涉光刻系统，包括激光相位测量干涉仪、控制器和相位调制器，采用前述激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法，用激光相位测量干涉仪测量曝光光束相位是否漂移，由控制器控制相位调制器进行相位调制
激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法系统

[发明专利]一种基于光干涉的主轴旋转偏离情况测量装置-CN202211468563.4在审
发明人：林澎;孙荣敏;丁伟;潘宇倩;张宏献;王文军;冯树强;钟礼君;孙颖;于祥昱;常志鹏 -专利权人：柳州工学院
申请日： 2022-11-22 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基于光干涉的主轴旋转偏离情况测量装置，包括转角测量组件、位移测量组件、俯仰角测量组件及姿态检测光干涉模组，转角测量组件包括固定座、旋转座及转角测量光干涉模组，旋转座与固定座转动连接；转角测量光干涉模组设于旋转座上以测量旋转座的转动角度；位移测量组件包括移动座及位移测量光干涉模组，移动座滑动地设于旋转座上，位移测量光干涉模组设于旋转座及移动座上，以测量移动座的位移；俯仰角测量组件包括俯仰座及俯仰角测量光干涉模组，俯仰座转动地装设于移动座上，俯仰角测量光干涉模组装设在移动座及俯仰座上，以测量俯仰座的摆动角度；姿态检测光干涉模组装设于俯仰座上。其能够提高对主轴旋转偏离情况测量的精度。
一种基于干涉主轴旋转偏离情况测量装置

[发明专利]一种激光自混合干涉测量装置-CN202211584065.6在审
发明人：郭常盈;杨倩;马丽 -专利权人：南阳理工学院
申请日： 2022-12-10 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G01D5/26 文献下载
摘要：本发明属于激光测量技术领域，且公开了一种激光自混合干涉测量装置，包括激光干涉测量仪，所述激光干涉测量仪的正面固定安装有激光头，所述激光干涉测量仪的正面设有干涉组件，所述激光干涉测量仪的底端固定安装有安装座本发明通过利用旋转的动力实现牵引杆的释放，利用水平释放的牵引杆实现干涉组件的水平牵引过程，使其在进行光路校准过程中，只需要将干涉组件与卡块之间进行卡接后利用冷却液的流动即可实现干涉组件的光路校准过程，整个校准过程中激光干涉测量仪与干涉组件始终保持平行关系，无需频繁移动激光干涉测量仪以及对激光干涉测量仪或干涉组件的微调，校准较为迅速，且校准精度较高。
一种激光混合干涉测量装置

[发明专利]形状测量装置及其方法-CN201910113440.0有效
发明人：田原和彦 -专利权人：株式会社钢臂功科研
申请日： 2019-02-13 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明提供一种形状测量装置，基于对第1A面测量光和第2A面测量光进行光外差干涉而得到的A面参照干涉光和A面测量干涉光、以及对第1B面测量光和第2B面测量光进行光外差干涉而得到的B面参照干涉光和B面测量干涉光来测量被测量物(WA)的厚度变化量，在进行上述各光外差干涉时，将上述第1A面测量光和上述第2B面测量光设为同一频率，并且将上述第1B面测量光和上述第2A面测量光设为同一频率。
形状测量装置及其方法

[发明专利]一种激光位移测量装置和方法-CN202110910775.2有效
发明人：崔建军;张鹏;陈恺 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2021-08-10 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开一种激光位移测量装置和方法，包括：干涉测量模块、激光光源模块、信号调制模块、控制处理模块、光学游标解调模块；其中，控制处理模块控制信号调制模块给激光光源模块施加光源调制信号，使得激光光源模块提供给干涉测量模块两束固定频差的激光；控制处理模块控制干涉测量模块进行干涉测量，测量时激光在干涉测量模块中的两个Fabry‑Perot腔内分别进行干涉并分别被两个光电探测器探测形成主副测量干涉信号；光学游标解调模块对干涉测量模块得到的主副测量干涉信号进行解调本发明具有亚皮米级分辨力，能够用于位移的大量程高精度测量。
一种激光位移测量装置方法

[发明专利]用于测量地震应变波的分量式钻孔应变仪及其测量方法-CN202010716799.X有效
发明人：田家勇;张康华 -专利权人：应急管理部国家自然灾害防治研究院
申请日： 2020-07-23 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： G01V1/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于测量地震应变波的分量式钻孔应变仪及其测量方法，应变仪包括：钻孔探头为筒体结构；第一水平向测量激光干涉仪探头、第二水平向测量激光干涉仪探头、第三水平向测量激光干涉仪探头、第四水平向测量激光干涉仪探头、第一垂向测量激光干涉仪探头、第二垂向测量激光干涉仪探头和一个垂向应变测量激光干涉仪探头分设在所述钻孔探头内壁上；各激光干涉仪探头分别与应变仪主机电气连接。通过多个激光干涉仪探头能测量出任意入射的地震应变波，实现了对三维应变场的地震应变波的准确测量。
用于测量地震应变分量钻孔及其测量方法

[发明专利]一种多基线干涉合成孔径雷达系统测量精度分析方法-CN202110927363.X有效
发明人：陶利;曲圣杰;曹菡;张程;许涛 -专利权人：中国电子科技集团公司第三十八研究所
申请日： 2021-08-10 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： G01S7/40 文献下载
摘要：本发明提供了一种多基线干涉合成孔径雷达系统测量精度分析方法，包括获取多基线InSAR系统的参数；建立系统干涉相干性模型；计算相对干涉测量精度；建立系统干涉测量误差方程；计算绝对干涉测量精度。本发明的优点在于：通过计算系统相干性确定干涉相位误差的表达式，然后基于多基线干涉SAR系统联合相位分析计算系统的相对测量精度，同时通过高程测量的影响因素敏感度分析获得绝对干涉高程误差方程，最后基于绝对干涉高程误差方程与参数测量误差计算得到总的测量误差，实现多基线InSAR系统测量精度的分析，为获取高精度复杂地形区域DEM提供理论支持，填补了现有分析未全面考虑去相干因素及系统测量参数误差影响的空白，为后续多基线干涉测量系统的参数设计和性能分析提供了有效途径
一种基线干涉合成孔径雷达系统测量精度分析方法

[发明专利]干涉相位比较法绝对距离测量系统-CN201010139183.7无效
发明人：江月松;李志栋;邓士光;王林春;辛遥;桑峰 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2010-03-31 - 公布日： 2010-09-08 - 主分类号： G01C3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于干涉相位比较法的高精度绝对距离测量系统，属于精密测量技术领域。该系统相当于传统频率扫描干涉法绝对距离测量系统的改进，由单个频率可调谐外腔激光器，三路光外差干涉仪，相位测量比较系统组成。使用单个频率可调谐外腔激光器进行激光频率扫描，激光频率扫描过程中采用三路光外差干涉仪同时得到参考干涉臂，测量干涉臂，标定干涉臂上的外差干涉信号，然后使用相位测量比较系统提取扫频过程中的标定干涉臂和测量干涉臂上的干涉相位漂移量，干涉相位漂移量和干涉臂的光程差成正比，因此可通过比较这两路干涉臂上的干涉相位漂移量测得绝对距离。该系统由于采用了三路光外差干涉仪和相位比较测量系统，和传统频率扫描绝对距离测量系统相比，无需测量空气折射率，该系统可以克服频率漂移，且避免了测量激光频率的扫描范围，因此无需使用法布里泊罗腔等频率标定器件
干涉相位比较法绝对距离测量系统

[发明专利]表面形状的测量方法和表面形状测量装置-CN202310270893.0在审
发明人：森裕美子;加藤庆显 -专利权人：株式会社三丰
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：提供了能够减少测量时间的表面形状的测量方法和表面形状测量装置。表面形状的测量方法使用用于获取由参考光和测量光之间的光路差生成的干涉条纹图像的干涉仪光学头，通过使干涉仪光学头针对测量对象表面在沿干涉仪光学头的光轴的Z轴方向上从起点到终点进行扫描来获取N个干涉条纹图像，并且基于干涉条纹图像来对测量对象表面的表面形状进行测量。在该测量方法中，针对N个干涉条纹图像中的共同位置，关于由指示沿Z轴方向的干涉光强度的变化的N个点的值构成的干涉信号，来确定由预定分析波长的光产生的干涉条纹的相位，并且基于该相位来确定分析波长的范围内的测量对象表面在
表面形状测量方法测量装置

[发明专利]光刻机投影物镜波像差在线检测方法-CN200810057060.1无效
发明人：李艳秋;刘克;刘丽辉 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2008-01-29 - 公布日： 2008-08-06 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：通过在光刻机上集成干涉仪装置，进行投影物镜波像差的在线检测、校正和控制。干涉仪装置为点衍射干涉或狭缝衍射干涉仪，具备两种测量模式：PSI测量模式和FTM测量模式。PSI测量模式采用移相干涉术，测量精度较高，主要用于干涉仪装置系统误差标定时；FTM测量模式采用傅立叶变换法处理干涉条纹，测量速度较快，主要在投影物镜波像差在线检测和控制时使用。本方法在不降低检测速度的前提下，提高了测量精度；并且在不降低干涉条纹对比度的前提下，采用质量更高的球面参考波标定干涉仪装置各个元器件所导致的系统误差，提高了干涉仪装置本身的测量精度和可重复性。
光刻投影物镜波像差在线检测方法

[发明专利]距离改变的干涉测量确定-CN201410273031.4有效
发明人：伊斯·萨尔瓦德;F·皮尔扎格达;马塞尔·罗纳 -专利权人：赫克斯冈技术中心
申请日： 2014-06-18 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： G01S17/08 文献下载
摘要：距离改变的干涉测量确定。通过干涉测量法确定到对象的距离的改变的方法包括从激光二极管发射测量激光；接收测量激光的至少一部分；使反射的测量激光与基准激光叠加而提供干涉测量相位；根据叠加确定到对象的距离的改变。利用低相干性和宽光谱带宽发射测量激光，其中测量激光的发射波长在光谱带宽内无跳变地波动，导致干涉测量相位波动。以第一检测速率连续检测干涉测量相位，该检测速率高以致连续地增量跟踪干涉测量相位波动，使得由干涉测量相位的连续检测提供的连续干涉测量相位状态相差低于π的相移。
距离改变干涉测量确定

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