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[发明专利]一种可见光傅里叶变换吸收光谱测量方法及系统-CN201710373538.0有效
发明人：王旭柱;张广玉;梅方方 -专利权人：中国海洋大学
申请日： 2017-05-24 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： G01N21/31 文献下载
摘要：本发明提供了一种可见光傅里叶变换吸收光谱测量方法及系统，其中系统包括两组迈克尔逊干涉仪、光电检测器件和信号采集与处理系统，所述迈克尔逊干涉仪与所述光电检测器件连接后接入信号采集与处理系统，所述两组迈克尔逊干涉仪为第一迈克尔逊干涉仪和第二迈克尔逊干涉仪，所述第一迈克尔逊干涉仪为移动臂光束折叠4次的迈克尔逊干涉仪，本发明第二迈克尔逊干涉仪采用中空立方反射镜代替玻璃立方反射镜消除玻璃体引起的误差，同时采用双光束输出同时测量，以实现光谱吸收曲线的计算。第一迈克尔逊干涉仪(参考光干涉仪)和第二迈克尔逊干涉仪(被测光干涉仪)的布局采用关于移动轴对称式设计结构，从而提高两干涉仪光程差变化的同步性，提高被测光干涉图光程差采样间隔定位的准确性。
一种可见光傅里叶变换吸收光谱测量方法系统

[发明专利]基于双侧干涉仪的形貌与厚度检测装置-CN202110529251.9在审
发明人：魏相宇;唐锋;王向朝;郭福东;冯鹏;陈梦来 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;上海精测半导体技术有限公司
申请日： 2021-05-14 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：基于双侧干涉仪的形貌与厚度检测装置，通过在一侧干涉仪光路中加入相干性抑制单元，使得对侧干涉仪的输出光与本侧干涉仪的测量光、参考光不相干，不能发生干涉；或对侧干涉仪输出光与本侧干涉仪测量光、参考光等效不发生干涉，仅产生背景直流量，不影响干涉相位的提取。本发明不改变双侧干涉仪系统的光路结构，有效利用了光学系统的数值孔径，简化了系统工作流程，具有测量精度与效率高，分光方式灵活等优点。
基于干涉仪形貌厚度检测装置

[发明专利]镜斑位置校准方法、光刻设备和器件制造方法-CN202180078767.4在审
发明人： J·M·T·A·阿德里安斯 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G01B9/02018 文献下载
摘要：一种用于校准干涉仪系统的反射镜上的斑点位置的方法，干涉仪系统包括至少两对干涉仪，用于提供物体围绕旋转轴的旋转位置的冗余测量，其中方法包括以下步骤：a.旋转物体；b.使用至少两对干涉仪中的每一对干涉仪来测量物体围绕旋转轴的旋转位置的变化；c.确定由至少两对干涉仪中的一对干涉仪测量的旋转位置的变化与由至少两对干涉仪中的另一对干涉仪测量的旋转位置的变化相比或者与由两对或更多对干涉仪测量的旋转位置的平均变化相比的偏差；以及d.基于所确定的偏差，获得与至少两对干涉仪中的所述一对干涉仪的反射镜上的斑点位置有关的信息。
位置校准方法光刻设备器件制造

[发明专利]用于时间相位编码量子密钥分发系统发送端的芯片结构-CN202110503051.6有效
发明人：陈柳平;王林松;王其兵;范永胜;万相奎 -专利权人：国开启科量子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-05-10 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： H04L9/08 文献下载
摘要：本发明公开的用于时间相位编码量子密钥分发系统发送端的芯片结构，涉及量子通信领域，包括不等臂干涉仪、第一等臂干涉仪和第二等臂干涉仪，其中，第一等臂干涉仪与不等臂干涉仪的短臂光连接，不等臂干涉仪包括第一耦合器和第二耦合器，第一等臂干涉仪被配置为维持不等臂干涉仪的两个臂输出的光信号的强度一致，第二等臂干涉仪被配置为制备诱骗态的光信号，实现了基于时间相位编码的量子密钥分发系统发送端的集成化，减小了量子密钥分发系统发送端的体积大
用于时间相位编码量子密钥分发系统发送芯片结构

[发明专利]干涉仪促动器-CN200880020745.7无效
发明人：波库·昂费达盛 -专利权人：克莫麦特公司
申请日： 2008-04-21 - 公布日： 2010-05-19 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明涉及干涉仪的至少一个可动装置相对于干涉仪主体的移动。根据本发明的系统包括至少两个干涉仪促动器，所述干涉仪促动器能够被独立操作，从而使得至少两个促动器能够移动干涉仪的至少一个可动装置。当激励至少两个干涉仪促动器中的至少一个时，干涉仪的至少一个可动装置以矫正诸如倾斜的情况的最低需要移动。在优选配置中，根据本发明的系统和方法包括三个能够被独立操作的干涉仪促动器。
干涉仪促动

[发明专利]高精度波长测量用干涉仪装置-CN202211663087.1在审
发明人：刘春红;程国军;代晓珂 -专利权人：核工业理化工程研究院
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： G01B9/02015 文献下载
摘要：本发明公开了一种高精度波长测量用干涉仪装置，包括壳体和设置于壳体内部的光学机构，所述光学机构包括左右平行设置的独立干涉仪和组合干涉仪，所述独立干涉仪包括Ⅴ号干涉仪后腔镜和以及设置于其前方的Ⅴ号干涉仪前腔镜；所述组合干涉仪包括组合后腔镜和以及设置于其前方的组合干涉仪前腔镜，组合后腔镜包括自下而上依次叠放的Ⅰ号干涉仪后腔镜、Ⅱ号干涉仪后腔镜、Ⅲ号干涉仪后腔镜和Ⅳ号干涉仪后腔镜。本发明提供了一种高精度波长测量用干涉仪装置，在一个密封腔体中集成五个费索干涉仪，简化测量光学系统，同时提出一种简洁的波长测量方法，可实现10‑7波长测量精度。
高精度波长测量干涉仪装置

[发明专利]光学元件、照明装置、方法以及应用该装置的干涉仪-CN201110109241.6无效
发明人：徐建程 -专利权人：浙江师范大学
申请日： 2011-04-29 - 公布日： 2011-09-28 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：该光学元件可以产生环形光束，在该环形光束应用于干涉仪时，能抑制干涉仪系统的相干噪声，同时增大干涉仪光源的能量利用率，并使环形光束的中心在干涉仪系统的光轴中心，降低干涉仪系统的系统误差，提高干涉仪系统的测量精度本发明还提供一种应用所述光学元件的照明装置、方法以及应用该装置的干涉仪。
光学元件照明装置方法以及应用干涉仪

[发明专利]一种基于相位传递的扫频干涉拍信号非线性校正系统及校正方法-CN202210955632.8有效
发明人：甘雨;刘国栋;段长昊;孟祥斌 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-08-10 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G01S17/50 文献下载
摘要：本发明提出了一种基于相位传递的扫频干涉拍信号非线性校正系统及校正方法，所述系统包括：气室校正模块、测量干涉仪以及辅助干涉仪；其中测量干涉仪用于目标绝对距离解算、辅助干涉仪光路用于提供调频非线性校正的相频坐标，辅助干涉仪的声光调制信号用以实施对辅助干涉仪信号的相位解调，气室光路部分用于在线标定辅助干涉仪的群延，实现扫频干涉拍信号的非线性校正；本发明具有结构简单，非线性校正效果好，抗噪能力更强，辅助干涉仪短，
一种基于相位传递干涉信号非线性校正系统方法

[发明专利]菲索干涉仪及确定测试面特性和改善干涉图对比度的方法-CN202210999903.X在审
发明人：松浦心平 -专利权人：株式会社三丰
申请日： 2022-08-19 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： G01B9/02015 文献下载
摘要：本发明涉及一种菲索干涉仪及确定测试面特性和改善干涉图对比度的方法。本发明涉及干涉度量领域，特别是涉及用于改善干涉图的对比度的菲索干涉仪。菲索干涉仪包括光源、参考面、位于菲索干涉仪的支撑件上的测试面以及摄像系统。菲索干涉仪利用偏振参考面来改善干涉图的对比度。本发明还涉及本发明的菲索干涉仪的使用方法，用于改善由菲索干涉仪获得的干涉图的对比度。
干涉仪确定测试特性改善干涉对比度方法

[发明专利]室内大长度标准装置量值传递中的增程方法及系统-CN202210412079.3在审
发明人：胡常安;吕菲;许悦 -专利权人：中国测试技术研究院机械研究所
申请日： 2022-04-19 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： G01B9/02017 文献下载
摘要：本发明公开了一种室内大长度标准装置量值传递中的增程方法及系统，系统包括激光干涉仪测量系统、长标尺导轨系统、自动控制系统和环境系统；激光干涉仪测量系统包括三台标准激光干涉仪、一台待测激光干涉仪，每台激光干涉仪均配有干涉镜组、反射镜组和角隅反射器；干涉镜组和反射镜组通过镜组固定架平行布置在第一滑台上，干涉镜组位于标准激光干涉仪与反射镜组之间，反射镜组的高度低于干涉镜组的高度，角隅反射器通过镜组固定架平行布置在第二滑台上；通过反射镜组与角隅反射器的配合，使激光干涉仪的光程增加了一倍，实现了在室内对测量范围为80m的激光干涉仪的检定，利用室内增程方法对于大长度激光测量仪器的比对测量具有重要意义。
室内长度标准装置量值传递中的方法系统

[发明专利]一种测量级联辐射过程中最上能级非均匀展宽的装置-CN201510560493.9有效
发明人：邹扬;孙永南;韩永建;李传锋;郭光灿 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2015-08-28 - 公布日： 2017-11-28 - 主分类号： G01N21/63 文献下载
摘要：本发明公开了一种测量级联辐射过程中最上能级非均匀展宽的装置，该装置包括Franson型干涉仪系统与反馈控制系统；级联辐射过程发出的光子对经过所述Franson型干涉仪，探测它们的双光子关联信号，从而获得Franson干涉仪系统的干涉条纹，通过改变Franson型干涉仪系统的臂长差，读取各种情况下fanson干涉可见度的大小，从而获得最上能级非均匀展宽的情况；所述反馈控制系统，用于计算Franson型干涉仪系统的相位差的变化，以保持Franson型干涉仪系统的相对稳定。
一种测量级联辐射过程中最上能级均匀展宽装置

[发明专利]一种校正干涉仪成像系统畸变的方法-CN201210086778.X有效
发明人：闫锋涛;范斌;侯溪;伍凡;万勇建 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2012-03-28 - 公布日： 2012-07-25 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明是一种校正干涉仪成像系统畸变的方法，此方法基于被测件重叠子区域数据的重叠区域上有明确标记点或者镜面面形信息特征，对干涉仪成像系统畸变进行校正，校正干涉仪成像系统畸变方法的系统包括干涉仪、被测件、调整机构及计算机系统，计算机系统与干涉仪连接，调整机构实现对被测件的调整；通过安装在计算机系统上的干涉仪数据处理软件获得经过调整机构调整的被测件上具有重叠区域的子区域数据，最后将得到的子区域测试数据送入计算机系统进行处理，获得干涉仪成像畸变系数及校正后的面形误差；本发明为高精度面形加工测量提供检测方法，具有较大的应用价值。
一种校正干涉仪成像系统畸变方法

[发明专利]干涉仪接收系统外校准标定方法、装置、系统及存储介质-CN202211119897.0在审
发明人：曹离然;王帅;陈波;郑挺;侯雪纤;游启邦 -专利权人：中国电子科技集团公司第二十九研究所
申请日： 2022-09-14 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： G01S3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种干涉仪接收系统外校准标定方法、装置、系统及存储介质，该方法包括获取目标辐射源天线到目标干涉仪天线对应的第一距离值和目标辐射源天线到目标干涉仪天线平面的第二距离值，确定目标辐射源天线与目标干涉仪天线的法平面的偏离角度本发明通过获取目标辐射源天线与目标干涉仪天线的法平面的偏离角度，实时调整目标辐射源天线的位置，实现干涉仪接收系统的标定，能够对干涉仪接收系统的标定误差进行量化，同时提高了法向标定精度。
干涉仪接收系统校准标定方法装置存储介质

[发明专利]利用光纤光栅的合成波干涉台阶高度在线测量系统-CN200710122403.3无效
发明人：谢芳;张琳 -专利权人：北京交通大学
申请日： 2007-09-25 - 公布日： 2008-02-20 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用光纤光栅的合成波干涉台阶高度在线测量系统。利用光纤光栅反射布拉格波长特性构成复合光纤干涉仪，该干涉仪含二个光路几乎重合的光纤迈克尔逊干涉仪。一个干涉仪用于测量；另一个干涉仪用于稳定系统，经反馈控制补偿修正环境干扰对测量系统的影响，从而使系统适用于在线测量。波长均在1550nm波段但波长各不同的三个激光器发出的光，由于光纤光栅反射布拉格波长和啁啾光纤光栅反射特定光谱的作用，使一个波长作用于稳定干涉仪中，稳定测量系统；另二个波长作用于测量干涉仪中，产生合成波干涉调节作用于测量干涉仪的二个波长的大小，可得不同大小的合成波长，实现对不同高度台阶的测量。
利用光纤光栅合成干涉台阶高度在线测量系统

[实用新型]一种双反射镜无焦系统中主次镜装调系统-CN202122335944.2有效
发明人：戚海艳;杜兵强;马骏;田骏 -专利权人：茂莱(南京)仪器有限公司
申请日： 2021-09-26 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G02B27/62 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双反射镜无焦系统中主次镜装调系统，所述主次镜装调系统以干涉仪光轴为测试基准，包括主镜装调系统和次镜装调系统；装调主镜时，所述主镜装调系统由zygo干涉仪、平面标准镜、主镜以及球面参考镜组成；所述平面标准镜装在zygo干涉仪上，所述球面参考镜位于平面标准镜与主镜之间；主镜与zygo干涉仪的光轴垂直；球面参考镜的球心位置与主镜的焦点位置重合；装调次镜时，所述次镜装调系统由zygo干涉仪、平面标准镜、次镜、主镜以及平面参考镜组成；所述平面标准镜装在zygo干涉仪上，所述次镜位于平面标准镜与主镜之间；所述平面参考镜位于主镜远离平面标准镜一侧，所述平面参考镜与zygo干涉仪的光轴垂直。本实用新型系统基于zygo干涉仪对双反射镜无焦系统主次镜进行装调，以干涉仪光轴为测试基准，干涉仪位置无需频繁更换，因此测试基准固定，可同时实现对双反射镜无焦系统中主镜和次镜相对位置的装调及后续主次镜系统综合波前测试
一种反射镜无焦系统主次镜装调

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