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[发明专利]非接触式微纳三维测量方法及其装置-CN201610051047.X在审
发明人：雷枫;李少博;问孝明 -专利权人： 淮安普瑞精仪科技有限公司
申请日： 2016-01-27 - 公布日： 2016-06-15 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种非接触式微纳三维测量方法，在白光干涉测量模式下，测量样品的三维分布；在扫描探针精密测量模式下，使用扫描探针技术，将白光干涉和非接触扫描探针测量技术有机结合在一起，最终实现三维形貌的精确测量；非接触式微纳三维测量装置，包括白光干涉系统，探针传感系统、Z轴精密扫描系统、探针定位系统，XY轴精密扫描系统、控制与数据处理系统。本发明将白光干涉和非接触扫描探针测量技术有机结合在一起，可实现高速，高精度三维形貌测量。
接触式微三维测量方法及其装置

[实用新型]一种数字全息实时测量三维物体形状装置-CN201420121695.4有效
发明人：李少博;雷枫;问孝明 -专利权人： 淮安普瑞精仪科技有限公司
申请日： 2014-03-18 - 公布日： 2014-11-12 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种数字全息实时测量三维物体形状装置，包括物体光源、全息干扰台面、参考光源、CCD相机、存储分析装置和显示装置；所述物体光源安装在全息干扰台面后侧；所述参考光源安装在全息干扰台面的上侧；所述CCD相机设置在全息干扰台面前端；所述CCD相机电连接存储分析装置；所述存储分析装置电连接显示装置。本实用新型的数字全息实时测量三维物体形状装置，借助CCD相机，记录全息图形，并输入存储分析装置；存储分析装置利用衍射原理，计算再生光的空间分布；结构简单、实时性好；测量速度快，完成一次测量大约需25毫秒；数据采样时间短，仅为10毫秒。
一种数字全息实时测量三维物体形状装置