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[发明专利]位置对准方法、位置对准装置和程序-CN200880010733.6无效
发明人：阿部博;阿布达尔·M·穆罕麦德 -专利权人：索尼株式会社
申请日： 2008-04-09 - 公布日： 2010-02-10 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明提出了能够减少处理负担的位置对准方法、位置对准装置和程序。使用在从出现在一个图像中的对象提取的第一组点中的某些点的群组和在从出现在另一图像中的对象提取的第二组点中的某些点的群组作为基准，将第二组点相对于第一组点对准。之后，使用第一组点中的所有点和在已对准的第二组点中的所有点作为基准，将第二组点相对于第一组点对准。
位置对准方法装置程序

[发明专利]用于掩模对准的透射对准标记组合及其掩模对准方法-CN200710046156.3有效
发明人：李焕炀;陈勇辉;宋海军;周畅 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2007-09-20 - 公布日： 2008-03-12 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于掩模对准的透射对准标记组合及其掩模对准方法，通过采用两个方向相互垂直、按照一定间距交叉分段的细分光栅交错分布成两个组群，构成掩模对准标记分支，在工件平面处用近似其空间像分布的传感器标记进行对准扫描，探测透过上述掩模对准标记分支中光栅的偏振态随位置的变化和透射辐射的能量有关的信息；用所获得的对准辐射信息和工件台及掩模的位置信息，逐级获得高精度的对准位置，建立掩模图形相对工件台坐标系的空间位置。采用本发明的标记组合及其对准方法，可提高标记的捕获能力、对准精度以及对准扫描的效率。
用于对准透射标记组合及其方法

[发明专利]光对准信号处理方法、光栅对准方法以及对准系统-CN201711384841.7有效
发明人：王丽;王海江;程鹏 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-12-20 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了光对准信号处理方法，包括以下步骤：步骤1、光信号采集模块采集对准测量的多级次光信号信息；步骤2、滤波模块对所述多级次光信号信息处理，并允许a级次光信号信息通过；步骤3、对所述a级次光信号信息进行处理、分析，得到对准信息；其中，所述a级次光信号信息可以为1、3、5……级次光信号信息中的一个或多个。本发明提供的光对准信号处理方法、光栅对准方法以及对准系统能够使得对准精度高。
对准信号处理方法光栅以及系统

[实用新型]一种对准机构及应用所述对准机构的对准系统-CN201921660369.X有效
发明人：刘栋;张雷 -专利权人：苏州源卓光电科技有限公司
申请日： 2019-10-04 - 公布日： 2020-05-22 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：一种对准机构及应用所述对准机构的对准系统,其中对准机构包括依次连接的相机、镜头和光源，所述相机和所述镜头的数量为两个，一组镜头和相机连接构成第一对准件，另一组镜头和相机连接构成第二对准件，第一对准件和第二对准件并列排列，并彼此相接或者具有微小间隙，所述光源邻接所述第一对准件和所述第二对准件的镜头，覆盖所述第一对准件和所述第二对准件镜头的轮廓范围。通过对准机构和应用其的对位系统的使用，可以快速的实现对距离极近的对位点的对准，并且对位点距离适应范围大，极高的提升了对位效率。
一种对准机构应用系统

[发明专利]一种键合机台装置与键合对准的方法-CN201310013119.8有效
发明人：李平 -专利权人：陆伟
申请日： 2013-01-14 - 公布日： 2013-05-01 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造键合技术，具体涉及一种键合机台装置与键合对准的方法。包括将顶部对准相机和底部对准相机分别与标准对准标识对准；将顶部卡盘对准标识与底部对准相机对准，将底部卡盘对准标识与顶部对准相机对准；将顶部晶圆对准标识与顶部卡盘对准标识对准；底部晶圆对准标识与底部卡盘对准标识对准；顶部晶圆对准标识与底部对准相机对准，将底部晶圆对准标识与顶部对准相机对准；对准后的顶部晶圆与底部晶圆进行键合。通过本发明实质上减少了卡盘是否对准这个未知参数，使晶圆对准更加精确，从而解决键合过程中对准度低导致影像传感器器良品率低与对准时间长的问题，进而提高影像传感器的良品率，减少整个键合工艺的时间，提高生产效率
一种机台装置对准方法

[发明专利]一种对准照明模块、对准装置、光刻机和对准方法-CN201810097054.2在审
发明人：田湍;潘炼东;于大维;赵丽丽;杜荣;张成爽;范纪铭;周许超 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2018-01-31 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供一种对准照明模块、对准装置、光刻机和对准方法，对准照明模块包括同轴对准照明组件以及驱动组件；所述同轴对准照明组件包括至少两个光源，以及与所述至少两个光源对应设置的光束转折镜头，以将所述至少两个光源发出的光线反射到待对准的工作区域；所述驱动组件，与所述光束转折镜头连接，用于在对准时驱动所述光束转折镜头移动到待对准的工作区域上方，以及在对准完成后将所述光束转折镜头从所述待对准的工作区域上方移开。本发明提供一种对准照明模块、对准装置、光刻机和对准方法，以解决对准照明模块遮挡曝光照明视场的问题。
对准照明模块对准装置工作区域光刻机光源转折驱动组件同轴对准照明组件镜头光线反射镜头移动曝光照明视场移开遮挡驱动

[发明专利]用于光刻设备的对准系统、对准方法及增强型对准标记-CN200810039465.2有效
发明人：李运锋;韦学志;徐荣伟;宋海军 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2008-06-24 - 公布日： 2008-11-12 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于光刻设备的对准系统、对准方法及增强型对准标记。利用所设计的特定对准标记结构，通过对准成像系统，获得对准标记的图像信号；然后通过傅立叶变换，将对准标记的图像信号转换到频域空间，以提取标记的不同级次频率的信息，并由傅立叶逆变换，获得相应的各级次频率的对准信号，这些信号包含对准标记的内在结构与相位信息；最后利用原始信号或获得的低级次频率对准信号做粗对准，利用高级次频率对准信号做精对准，提高对准的分辨率和对准精度。此外，本发明还提供了两种类型的增强型对准标记，增强特定级次频率成分的信号强度，提高该级次信号的信噪比，降低对准误差。
用于光刻设备对准系统方法增强标记

[发明专利]掩模对准标记组合、掩模对准系统及对准方法、光刻装置-CN201911144194.1有效
发明人：李道萍;孙建超 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2019-11-20 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种掩模对准标记组合、掩模对准系统及对准方法、光刻装置，掩模板的X方向和Y方向均包括两组对准标记，X方向上的两组对准标记及Y方向上的两组对准标记均关于掩模板的中心对称设置，在进行掩模对准时，辐射探测组件接收依次经过掩模对准标记组合、投影组件及基准参考标记组合的对准光束，并得到对应每组对准标记的对准位置信息，计算组件可以根据多个所述对准位置信息得到所述基准板的位姿信息，而所述基准板的位姿信息能够更准确的表达所述基准板与所述掩模板的相对位置关系
对准标记组合系统方法光刻装置

[发明专利]基于设计的对准的性能监测-CN201980030218.2有效
发明人： B·布拉尔 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2019-05-21 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：可通过定位每对准框架的至少一个对准验证位置来监测对准。所述对准验证位置是所述对准框架内的坐标。确定所述对准验证位置中的每一者与对准目标的最近例子之间的距离。可基于所述距离确定对准分数。所述对准分数可包含所述对准验证位置与所述对准目标之间的所述对准框架的数目。如果所述对准分数低于阈值，那么可执行对准设置。
基于设计对准性能监测

[发明专利]PCB对准度的确定方法及PCB-CN201610569921.9在审
发明人：孙龙;史书汉 -专利权人：浪潮电子信息产业股份有限公司
申请日： 2016-07-19 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： H05K3/46 文献下载
摘要：本发明提供了一种PCB对准度的确定方法及PCB，该PCB对准度的确定方法包括以下步骤：预先设置对准粒度；确定初始对准度，将所述初始对准度作为目标对准度；按照目标对准度制作PCB；对制作的PCB进行测试，若测试结果包括短路状态，则根据对准粒度对目标对准度进行更新，并将更新后的对准度作为目标对准度，并将更新后的对准度作为目标对准度制作PCB；若测试结果不包括短路状态，则将目标对准度作为最终确定的对准度。本发明能够有效的确定PCB对准度。
pcb 对准确定方法

[发明专利]晶圆对准方法及晶圆对准装置-CN201810505557.9在审
发明人：张党柱;赖政聪;古哲安;黄志凯;叶日铨 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-05-24 - 公布日： 2018-11-02 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶圆对准方法和一种晶圆对准装置，所述晶圆对准方法包括：提供一晶圆，所述晶圆边缘具有缺口标记，晶圆表面具有对准标记；获取所述缺口标记的测量位置；获取所述对准标记的测量位置；根据所述对准标记与缺口标记之间的相对位置关系以及所述对准标记的测量位置，计算得到所述缺口标记的计算位置；获取所述缺口标记的计算位置与测量位置之间的位置偏差；在后续光刻工艺的对准操作过程中，通过所述位置偏差对缺口标记的测量位置进行校准，形成缺口标记的校准位置；以所述校准位置确定对准标记的搜索范围上述晶圆对准方法能够提高晶圆对准效率。
缺口标记晶圆测量位置对准标记对准对准装置计算位置位置偏差校准位置种晶相对位置关系操作过程光刻工艺晶圆边缘晶圆表面校准搜索

[发明专利]对准装置和制造对准线圈的方法-CN202010330307.3在审
发明人：武田洋明;藤田浩树 -专利权人：株式会社电装
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： H02K3/04 文献下载
摘要：一种对准装置，所述对准装置用于以环形形状将线圈部段对准来形成对准线圈。每个线圈部段具有成对的第一腿部和第二腿部。对准装置包括外夹具和内夹具。外夹具具有以径向方式布置的分隔构件。
对准装置制造线圈方法

[发明专利]晶圆的对准方法及对准系统-CN202010574920.X在审
发明人：李其衡;贺晓彬;刘金彪;李亭亭 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2020-06-22 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本申请属于半导体技术领域，具体涉及一种晶圆的对准方法及对准系统，该控制方法包括获取晶圆上的对位标记；获取预先设定的至少两种对准计划；选择一种所述对准计划对所述对位标记进行对准；如果对准所述对位标记失败选择其他所述对准计划对所述对位标记进行对准根据发明实施例的晶圆的对准方法，获取预先设定的至少两种对准计划，发生对准失败时自动选择其他对准计划再次进行对准，避免因对准失败导致再次设定对准计划重新对准，节省了重试的时间，降低了时间损耗和人力损耗，提高了对准速度
对准方法系统

[发明专利]自动对准抓取装置与自动对准抓取设备-CN201910645593.X在审
发明人：刘礼 -专利权人：苏州托克斯冲压设备有限公司
申请日： 2019-07-17 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： B25J15/00 文献下载
摘要：一种自动对准抓取装置，包括自动抓取单元和设置于所述的自动抓取单元下方的自动承接单元，所述的自动抓取单元包括上固定座、设置于所述的上固定座中心的中心定位销以及环绕所述的中心定位销设置的复数个夹爪，所述的中心定位销可沿所述的上固定座上下滑动
上固定座夹爪臂中心定位销自动对准自动抓取夹爪夹紧弹簧抓取装置流水生产线承接单元定位精确横向设置上下滑动生产效率抓取设备转动连接纵向设置活动端抵接复数环绕

[发明专利]一种牵引对准装置及对准方法-CN201811265938.0在审
发明人：王洪超;赵峻;郭云飞 -专利权人：陕西汽车集团有限责任公司
申请日： 2018-10-29 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： B64F1/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种牵引对准装置及对准方法。装置包括穿销辅助对准装置，穿销辅助对准装置包括图像采集模块、图像分析处理模块和图像显示模块，图像采集模块设置在牵引件的牵引销孔周围，采集牵引销孔的图像及与之相对应的被牵引件上对准孔的图像；图像分析处理模块将采集到的牵引件的牵引销孔的轮廓圆及圆心标记信息及被牵引件上的对准孔的轮廓圆及圆心标记信息传输至图像显示模块；图像显示模块将牵引件的牵引销孔的轮廓圆及圆心标记及被牵引件上的对准孔的轮廓圆及圆心标记显示出来。本发明旨在牵引对准装置的牵引指引下，迅速高效地进行穿销对准操作，提高了效率和可靠性，且能够有效防止车辆穿销操作过程中出现的牵引杆与牵引车的意外碰撞。
一种牵引对准装置方法