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- [发明专利]晶圆处理装置及其工作方法-CN201810959256.3有效
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栾剑峰;刘家桦;叶日铨
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德淮半导体有限公司
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2018-08-22
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2021-01-22
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H01L21/68
- 一种晶圆处理装置及其工作方法，其中，晶圆处理装置包括：腔体，腔体内包括正位区，正位区用于放置晶圆，腔体具有第一外表面；自第一外表面通入腔体内的开口；固定于第一外表面的旋转装置，旋转装置与第一外表面平行；可动连接于旋转装置的复位装置，复位装置可绕旋转装置转动；探测装置，用于获取晶圆的位置信息；判断单元，用于根据位置信息判断是否至少部分晶圆位于正位区外；发射单元，当至少部分晶圆位于正位区外时，发射单元用于向复位装置发送复位信号，驱动复位装置绕旋转装置向开口旋转。利用所述晶圆处理装置能够降低对晶圆的污染。
- 处理装置及其工作方法
- [实用新型]阀板组件以及钟摆阀-CN201920775983.4有效
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薛荣华;阚保国;刘家桦;叶日铨
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德淮半导体有限公司
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2019-05-27
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2020-03-10
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B25B27/14
- 本实用新型涉及半导体刻蚀设备技术领域，公开了一种钟摆阀，包括阀板组件，阀板组件包括阀板、阀腔以及定型螺柱，在阀腔的内底壁上设置有承接件，定型螺柱能够与承接件螺纹配合以将阀板固定在二者之间。阀板组件还包括：驱动件，用于驱动定型螺柱转动；控制单元，与驱动件通信连接，控制单元能够控制驱动件的动作。本实用新型的阀板组件能够在将阀板放置于阀腔内的正确位置后，自动旋拧定型螺柱，将阀板固定在阀腔内，减轻作业人员的劳动强度、提高生产效率的同时，能够将阀板锁紧在阀腔中，提高真空腔体的压力稳定，进而提高真空腔体的工作效率。
- 组件以及钟摆
- [实用新型]热板装置-CN201920414386.9有效
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杨军;颜廷彪;黄志凯;叶日铨
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德淮半导体有限公司
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2019-03-28
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2020-02-21
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H05B3/20
- 本实用新型提供一种热板装置，包括：热板；用于加热热板的加热结构，加热结构包括设置于热板下方的基体及设置于基体内的加热芯体，加热芯体与电极相连接。通过采用加热芯体加热基体，再通过基体加热热板的间接方式加热热板，由于基体在加热芯体的加热下先受热均匀，相当于一个温度均匀的发热体，所以放置在基体上的热板可被均匀加热，从而提高热板的受热均匀性；采用陶瓷作为基体的材料，由于陶瓷材料结构致密且均匀，加热速率快且均匀，从而对热板的加热更均匀。
- 装置
- [实用新型]恒温供液装置-CN201920839409.0有效
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朱小凡;赵黎;刘家桦;叶日铨
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德淮半导体有限公司
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2019-06-04
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2020-02-21
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H01L21/67
- 本实用新型提供了一种恒温供液装置，向用液设备供给恒温液体，包括：用于容纳液体的储液槽；用于向用液设备供给液体的供液管路，一端连接储液槽，另一端连接用液设备；用于接收从用液设备回流的液体的回液管路，一端连接储液槽，另一端连接用液设备；用于加热供液管路中的液体的主加热器，设置于供液管路上；用于将供液管路中的液体回流至储液槽的支流管路，一端连接储液槽，另一端连接至主加热器与用液设备之间的供液管路。本实用新型通过引入支流管路，使达到目标温度的湿法药液回流至储液槽中，并通过引入辅助加热器，对回流药液进行统一加热，使储液槽中的药液温度更接近目标温度，药液温度控制更为精确平稳，减少了主加热器的负荷。
- 恒温装置
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