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- [发明专利]对准装置、用于这样的对准装置的对准元件和对准方法-CN201380066798.3在审
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M·贝克
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索特精密机械有限公司
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2013-11-07
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2015-08-26
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B23B29/20
- 用于将第一功能元件(103)、特别是支架位置准确地定位在第二功能元件(105)、特别是盘上的对准装置,所述功能元件相互可拆卸地固定,在固定状态(FZ)下:(a)至少一个对准元件(115)借助于至少一个固定元件(131)固定地设置在第一功能元件(103)或第二功能元件(105)的壳体凹部(117)中;(b)对准元件(115)以至少一个固定面(119)与第一功能元件(103)连接并且以至少一个贴靠面(121)与第二功能元件(105)的支撑面(123)贴靠;(c)预紧装置(125)在贴靠面(121)与支撑面(123)之间起作用,该预紧装置对相互贴靠的贴靠面(121)和支撑面(123)施加复位到初始位置的力;以及(d)对准元件)中,贴靠面(121)突出于第一功能元件(103)的下侧(133),其特征在于,在固定状态(FZ)下相应的固定元件(131)对于实施固定过程和/或调整过程可从外部接近地设置,以及贴靠面(121)设置在对准元件本发明还涉及一种用于这样的对准装置的对准元件和一种对准方法。
- 对准装置用于这样元件方法
- [发明专利]对准装置及对准方法-CN202111013383.2在审
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邢奕飞;孙建超;高安
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上海微电子装备(集团)股份有限公司
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2021-08-31
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2023-03-03
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G03F9/00
- 本发明提供一种对准装置及对准方法。其中,所述对准装置设置有第一偏振调节单元,包括相接的第一波片和第二波片。衍射光或散射光中具有相同衍射级次的正负级衍射分别经过第一波片和第二波片。第一波片的快轴所在方向与所述第二波片的快轴所在方向呈第一夹角,以使任何偏振态的所述衍射光或散射光均可经第一偏振调节单元后形成具有第一偏振方向的第一光束和具有第二偏振方向的第二光束,实现了独立于偏振态的对准测量基于此,本发明还提供一种对准装置。所述对准装置利用第二偏振调节单元同时处理第五光束和第六光束,消除各探测信号的相位差,降低调制深度下降的风险。
- 对准装置方法
- [发明专利]一种对准结构、对准方法及对准装置-CN202310004559.0在审
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王嘉南;杨柳青
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上海积塔半导体有限公司
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2023-01-03
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2023-04-11
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H01L23/544
- 本发明提供一种对准结构、对准方法及对准装置,包括:设置于第一半导体基板上的基准金属层及设置于第二半导体基板上对准区域内的金属对准标记,第一半导体基板与所述第二半导体基板上下叠置;基准金属层和对准区域的形状和大小均相同,且均为四边形;金属对准标记为多边形结构;其中,至少4个金属对准标记分别设置于对准区域的4个边区域内,各金属对准标记的至少一条边与对准区域的边重合;或至少4个金属对准标记分别设置于对准区域的4个角区域内,各金属对准标记的一个角与所述对准区域的角重合。本发明将光学测量套刻对准的方法改为了测量电容值的电学参数进行对准,有效避免了光学测量带来的对准误差。
- 一种对准结构方法装置
- [发明专利]对准方法及对准系统-CN202110140288.2在审
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温海涛;王绍勇;王连胜;康颖;张健
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沈阳芯源微电子设备股份有限公司
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2021-02-02
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2021-05-25
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H01L21/68
- 本发明提供了一种对准方法,包括:调整图像采集部,使两个基板相对,通过所述图像采集部同时采集所述两个基板的初始边缘位置信息和初始特征标记位置信息,通过主控部将经过核对计算得到的校准信息发送至校准装置的导向部本发明的对准方法在键合前通过所述图像采集部同时采集所述两个基板的初始边缘位置信息和初始特征标记位置信息后发送至主控部进行所述核对计算,保证了采集的对应位置信息的准确性,结合所述主控部将经过所述核对计算得到的校准信息发送至所述校准装置的导向部,所述导向部根据所述校准信息进行补偿调整实现了键合前的对准调整。本发明还提供了应用于实现所述对准方法的对准系统。
- 对准方法系统
- [发明专利]对准系统及对准标记-CN202011116436.9在审
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郑谕潍;陈建豪
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联华电子股份有限公司
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2020-10-19
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2022-04-22
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G03F9/00
- 本发明公开一种对准系统及对准标记,其中该对准系统包含一光源用于发射一光线,一对准标记设置于一基底上,对准标记用于接受第一光线,对准标记包含一第一图案和一第二图案设置于基底上,第一图案包含一第一区域和一第二区域第二区域和第四区域相对于对称轴呈对称,第一区域包含有多条第一标记线互相平行,相邻的第一标记线具有第一间距,第二区域包含有多条第二标记线互相平行,相邻的第二标记线具有第二间距,第一间距和第二间距相异,一传感器用于检测由对准标记绕射光线而来的一绕射光
- 对准系统标记
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