“对准”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果137235个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]预对准装置以及预对准方法-CN201080002389.3有效
发明人：桥永宙 -专利权人：日本精工株式会社
申请日： 2010-11-24 - 公布日： 2011-11-23 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供一种能够使曝光单元整体变得小型化，并且能够缩短生产节拍时间的预对准装置以及预对准方法。通过预对准装置(20)具有：对载置在精密温度调整板(22)上的基板W进行温度调整的基板温度调整机构；和检测载置在精密温度调整板(22)上的基板的异物的异物检测机构(34)；这样能够使预对准装置(20)、并且，通过对进行温度调整中的基板进行预对准和异物检测，能够缩短生产节拍时间。
对准装置以及方法

[发明专利]对准装置-CN201610200491.3在审
发明人：周钰颖;陆海亮 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2016-03-31 - 公布日： 2017-10-24 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种对准装置，包括照明单元、光学单元、探测单元及处理单元；其中，照明单元提供垂直照射对准标记的光源；光学单元将对准标记产生的正级次与负级次的衍射光平行并汇聚到其焦面上；探测单元设置在所述光学单元的焦面，使正、负级次衍射光在探测面上成像；处理单元根据正、负级次衍射光的成像信息得到正负级次衍射光的干涉光强信号，根据所述干涉光强信号随运动台位置变化的关系计算对准位置信息，从而无需使用楔板或复杂棱镜，结构简单，并且对准标记离焦和倾斜不会影响测量精度，实现了高精度测量；可兼容多种测量波长，并且对准标记兼容性好，可测量多方向的光栅型对准标记，亦可兼容不同周期的对准标记，提高了工艺适应性。
对准装置

[发明专利]对准标记-CN202010686298.1在审
发明人：冯耀斌;陆聪 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2020-07-16 - 公布日： 2020-10-13 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供一种对准标记，包括至少一个对准标记单元，每个对准标记单元包括沿第一方向设置的多个对准分割段，每个对准分割段被设置为第一图形结构或第二图形结构，并且所述第一图形结构与所述第二图形结构为凹槽结构和凸起结构中的一者所述多个对准分割段可响应入射光线而产生多个不同级次衍射光，且第0级衍射光的强度不大于10，第3级衍射光的强度不小于50。
对准标记

[发明专利]对准方法-CN201910674897.9在审
发明人：宫田谕 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2019-07-25 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：提供对准方法，快速地寻找对准标记。具有如下工序：在比拍摄单元(51)的拍摄区域小的区域中登记对准标记(MA)的工序；将多个拍摄图像结合起来而形成包含对准标记的结合图像(G1)，形成存储了从结合图像的各像素起存在对准标记的方向距离的映射图(K)的工序；存储对工作台(30)所保持的新晶片进行拍摄而得的新拍摄图像(G2)的第1存储工序；使新拍摄图像与映射图进行匹配，在映射图中寻找与新拍摄图像相同的亮度分布区域，对相同的亮度分布区域与对准标记的方向距离进行存储的第2存储工序；在根据在第2存储工序中存储的方向距离使工作台移动后，确认在所拍摄的图像(G3)中有无对准标记的工序，如果在确认工序中拍摄到对准标记，则根据对准标记来确定分割预定线。
对准标记拍摄图像存储工序方向距离映射图存储亮度分布区域图像拍摄分割预定线工作台移动拍摄单元拍摄区域工作台晶片像素匹配对准

[发明专利]波束对准-CN201880099811.8在审
发明人： J·霍伊迪斯;L·罗斯 -专利权人：诺基亚技术有限公司
申请日： 2018-09-28 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： H04B7/06 文献下载
摘要：描述了一种方法、装置和计算机程序，包括：获取第一波束对准数据集，其中第一波束对准数据集包括针对第一多个波束对传输的测量数据，其中第一多个波束对传输中的每个波束对传输是在第一用户设备的多个通信波束中的一个通信波束与基站的多个通信波束中的一个通信波束之间并且其中第一多个波束对传输是第一用户设备与基站之间所有可用波束对传输的子集；以及选择第一波束对组合，用于在第一用户设备与基站之间的通信，其中第一波束对组合包括第一用户设备的多个波束中的一个波束和基站的多个波束中的一个波束，其中用于选择第一波束对组合的部件包括利用第二波束对准数据集而被训练机器学习模型
波束对准

[发明专利]对准装置-CN202111029230.7在审
发明人：井浦惇 -专利权人：株式会社达谊恒
申请日： 2021-09-02 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供对准装置，能通过少的驱动轴进行平面方向(X‑Y方向)以及绕着垂直轴的旋转方向(θ方向)的位置偏离补正。对准装置(A1)具备：具有支承工件(W)的第1支承部(11)以及用于使第1支承部(11)绕着第1垂直轴(V1)旋转驱动的第1驱动源(12)的第1旋转驱动机构(1)；具有支承工件(W)的第2支承部(21)
对准装置

[发明专利]对准机构-CN202080094076.9在审
发明人：托德·克莱蒙特;本·法雷尔 -专利权人：夏尔特银斯公司D.B.A.涡流光学
申请日： 2020-12-18 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： F41G11/00 文献下载
摘要：对准机构使用两个调节板。第一调节板围绕第一调节轴枢转，并且第二调节板能够围绕第二调节轴旋转。所述第一和第二调节轴相互垂直。所述第一板具有前部和后部，所述第一调节轴穿过所述前部，所述后部具有第一对准表面和拉伸弹簧，所述拉伸弹簧在与所述第一对准表面相反处固定到所述后部上。所述第二调节板具有前部和后部，所述后部具有第二对准表面和固定在所述第二对准表面与所述第一调节板的所述后部之间的拉伸弹簧。
对准机构

[发明专利]对准装置-CN202080066846.9在审
发明人：若林雅;泷本政美;野本将史 -专利权人：株式会社V技术
申请日： 2020-09-29 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：对准装置具备控制部(4)，其在掩模(11)与基板(12)的铅垂方向上的距离比相机(3)的景深前端距离长的情况下，一边使基板(12)进行高速接近移动一边基于基板标记(121)与掩模标记(112)的距离来调整掩模
对准装置

[发明专利]波束对准-CN201980099102.4在审
发明人：李知航 -专利权人：上海诺基亚贝尔股份有限公司;诺基亚通信公司
申请日： 2019-08-08 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： H04B7/0417 文献下载
摘要：网络设备(310‑1，310‑2)基于从终端设备(320‑1，320‑3，……，320‑N)接收的波束报告来确定BA对准。网络设备(310‑1，310‑2)还与其他准则相关联地确定BA对准，例如，终端设备(320‑1，320‑3，……，320‑N)的能力以及小区干扰。以此方式，精确地确定BA对准并且提高了系统性能。
波束对准

[发明专利]对准方法-CN202310119144.8在审
发明人：布垣俊武 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2023-02-07 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供对准方法，即使在定向平面的角度大幅偏移的情况下，也能够高效且高精度地实施对准。将形成于被加工物的第一定向平面对位于与期望的方向平行的方向的对准方法包含如下的步骤：直线检测步骤，通过拍摄单元对第一定向平面进行拍摄，并且对拍摄图像内的直线区域进行检测；第一对位步骤，对通过直线检测步骤检测到的直线区域的延伸方向与期望的方向的偏移角度进行计算
对准方法

[发明专利]对准装置-CN202211367460.9在审
发明人：神田宽 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2022-11-03 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供用于提高在基板与掩模的对准中的标记的检测可能性的技术。本发明涉及的对准装置具备：对准机构，其进行被成膜对象的基板与掩模的对准；检测机构，其根据通过对设置于基板的对准标记及设置于掩模的对准标记中的至少任一个进行拍摄而得到的图像数据，检测拍摄到的对准标记；以及判定机构，其对由检测机构进行的对准标记的检测进行好坏判定，检测机构对图像数据进行使用了第一方法的对准标记的检测，在基于第一方法进行的对准标记的检测由判定机构判定为不好的情况下，检测机构对图像数据进行使用了与第一方法不同的第二方法的对准标记的检测
对准装置

[发明专利]对准装置-CN202310120345.X在审
发明人：王辉;郭曙光;雷陶均 -专利权人：深圳莫廷医疗科技有限公司
申请日： 2023-02-02 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： A61B3/00 文献下载
摘要：本申请提供了对准装置。对准装置包括：发光件，发光件包括光源，光源用于发出一种预设波长范围的可见光，发光件具有图案区，图案区用于透过可见光以形成图案光；分光件，邻近发光件设置，用于透过图案光，且根据图案光形成至少两个对准像，至少两个对准像的中心均在分光件的光轴上，且每个对准像的最大尺寸均不相同；透镜，相较于分光件远离发光件设置，用于透过至少两个对准像至眼部；及光阑，设于透镜与分光件之间，用于遮挡部分进入透镜的光；其中，图案区邻近透镜的焦平面设置，分光件的光轴与透镜的光轴共线本申请提供的对准装置只需一个光源可实现眼部的自测对准，使得对准装置的尺寸小。
对准装置

[发明专利]对准装置-CN202211050163.1在审
发明人：铃木健太郎;三泽启太;佐藤精二;永田哲也 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供一种对准装置，抑制成膜中的基板与掩模的对准时的位置偏离，提高对准精度。该对准装置具备：在沿着基板的被成膜面的平面内进行基板与掩模的相对位置调整的对准机构、在与平面交叉的交叉方向上使基板相对于掩模的相对位置移动的移动机构、以及测定平面中的基板的位置的测定机构，在将与基板不同的夹具配置于第一高度的状态下
对准装置

[发明专利]对准装置-CN201310429313.4有效
发明人：陆海亮;王帆 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2013-09-18 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种对准装置包括：光源，提供照明光束；反射面，设置于对准标记上方，使对准标记产生的一个方向上的各级次衍射光偏转后与另一个方向上对应的各级次衍射光平行；汇聚透镜，将对应的正负级次衍射光干涉成像到其焦面；探测模块，位于汇聚透镜的焦面，探测多级次的干涉图像的信号；运动台，用于承载对准标记，实现对对准标记的扫描测量；控制模块，与所述运动台与探测模块分别相连，并同步控制运动台和探测模块。
对准装置

[发明专利]对准装置-CN201310347666.X有效
发明人：张鹏黎;许琦欣;周钰颍 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2013-08-09 - 公布日： 2017-04-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种对准装置，包括照明模块、干涉模块和探测模块，所述干涉模块至少包括一组科斯特（Koster）棱镜，多个波长的光源发出的光束通过所述照明模块输出照明光束，所述照明光束通过所述干涉模块入射到对准标记，所述干涉模块还通过所述科斯特（Koster）棱镜将所述对准标记衍射得到的对称的正负极衍射光进行重合形成探测光，所述探测光被所述探测模块转化为干涉信号并进行收集，从而通过收集得到的干涉信号的信息可以得到所述对准标记的位置信息
对准装置