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- [发明专利]固态摄像元件和摄像设备-CN201110068094.2有效
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山川真弥
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索尼公司
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2011-03-22
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2011-10-05
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H01L27/146
- 这里所公开的是固态摄像元件,其包括:光电转换区域;晶体管;第一导电类型的隔离区域,构造为使光电转换区域和晶体管彼此隔离;第一导电类型的阱区域,在其中形成有光电转换区域、晶体管以及隔离区域;接触部分,形成在隔离区域上,构造为提供用于将阱区域固定到给定电势的电势;以及第一导电类型的杂质区域,形成为在接触部分和光电转换区域之间的第一导电类型的隔离区域中自第一导电类型的隔离区域的表面沿深度方向延伸,并且第一导电类型的该杂质区域的杂质浓度比第一导电类型的隔离区域的杂质浓度足够地高
- 固态摄像元件设备
- [发明专利]多阈值器件制造方法及器件结构-CN202111409311.X在审
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李楠;关天鹏
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上海华力集成电路制造有限公司
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2021-11-25
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2022-03-01
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H01L21/77
- 本发明公开了一种多阈值器件制造方法及器件结构,包括:提供一SOI衬底;制作沟槽隔离;两次离子注入形成五个第一导电类型阱和五个第二导电类型阱;仅在第二导电类型阱一和第一导电类型阱四上的氧化埋层上形成第一导电类型离子注入沟道层;仅在第二导电类型阱三和第一导电类型阱二上的氧化埋层上形成第二导电类型离子注入沟道层;在指定位置形成第一导电类型功函数金属层和第二导电类型功函数金属层;形成各晶体管栅极;形成各晶体管源漏。本发明在没有增加额外工序,仅靠增加不同工艺之间的排列组合,能形成N/P各五种阈值电压的晶体管,降低了生产成本,提高了生产效率。
- 阈值器件制造方法结构
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