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- [发明专利]位置标定方法和位置标定装置-CN202010145459.6有效
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杨朝兴
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合肥御微半导体技术有限公司
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2020-03-03
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2022-04-05
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G01B11/00
- 本发明提供了一种位置标定方法,包括获取成像系统的焦点坐标,高度传感器沿至少两个方向对所述第二标记区域分别进行至少两次高度扫描,获取每条扫描路径在所述第二标记区域内的中点坐标,获取同一方向上扫描路径中点的连线与其他同一方向上扫描路径中点的连线的交点坐标,根据所述焦点坐标、所述交点坐标以及偏移坐标,计算所述成像系统和所述高度传感器之间的相对位置坐标,无需显微镜等,降低了系统的复杂度,交点坐标的计算与第二标记区域的真实边缘相关,包含了对中心位置的算法补偿与偏移,所述交点坐标为真实位置,精确度高。
- 位置标定方法装置
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