专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体器件及其制造方法-CN201910847196.0在审
  • 金根楠;黄有商 - 三星电子株式会社
  • 2019-09-09 - 2020-04-10 - H01L29/423
  • 公开了半导体器件及其制造方法。所述半导体器件包括:衬底,所述衬底具有沟槽;栅极介电层,所述栅极介电层覆盖所述沟槽的表面;栅电极,所述栅电极填充所述沟槽的下部;覆盖图案,所述覆盖图案在所述沟槽中位于所述栅电极上;以及功函数控制图案,所述功函数控制图案在所述沟槽中位于所述栅电极与所述覆盖图案之间。所述栅极介电层包括:第一区段,所述第一区段具有第一厚度并且设置在所述栅电极与所述沟槽之间;以及第二区段,所述第二区段具有第二厚度并且设置在所述覆盖图案与所述沟槽之间。所述第二厚度小于所述第一厚度。
  • 半导体器件及其制造方法
  • [发明专利]半导体器件及其制造方法-CN201310572089.4有效
  • 柳镐仁;赵太熙;金根楠;廉癸憙;朴正焕;张贤禹 - 三星电子株式会社
  • 2013-11-13 - 2020-01-17 - H01L29/78
  • 本发明提供了半导体器件及其制造方法。该半导体器件包括:衬底,包括单元区和外围区;单元栅电极,埋入在与单元区的单元有源部分交叉的凹槽中;单元线图案,横跨单元栅电极,单元线图案连接到在单元有源部分中处于单元栅电极的一侧的第一源/漏区;外围栅极图案,横跨外围区的外围有源部分;平坦化的层间绝缘层,在衬底上处于外围栅极图案周围;以及覆盖绝缘层,在平坦化的层间绝缘层和外围栅极图案的顶表面上,覆盖绝缘层包括相对于平坦化的层间绝缘层具有蚀刻选择性的绝缘材料。
  • 半导体器件及其制造方法

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