本发明目的是提供能够缓和台阶的半导体装置及其制造方法。本发明涉及的半导体装置具备:第1层间绝缘膜,具有第1开口;第2层间绝缘膜,具有俯视观察时与第1开口重叠且露出第1配线层的第2开口;第2配线层;第3层间绝缘膜;以及SOG(Spin on Glass)膜,以俯视观察时与第1开口重叠的方式形成,第2开口的开口面积比第1开口大,在剖视观察时,在将第1开口的宽度即第1开口宽度设为W1,将第2开口的宽度即第2开口宽度设为W2,将从半导体衬底表面到第2开口处的第3层间绝缘膜的表面为止的高度的最小值设为H1,以及将从半导体衬底表面到第2开口的端部即第2开口端处的第3层间绝缘膜的表面为止的高度设为H2时,满足(H2‑H1)/((W2‑W1)/2)≤3.6。