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- [发明专利]光刻版及其套刻方法-CN201010216098.6无效
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黄玮
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无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司
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2010-07-02
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2012-01-11
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G03F1/44
- 本发明提供了一种光刻版，包括一套刻测试图形区域，其特征在于：所述套刻测试图形区域包括一芯片区域、一对设置于所述芯片区域外围的可配合第一倍率光刻机进行对版的第一对版标记，以及一对设置于芯片区域外围的可配合第二倍率光刻机进行对版的第二对版标记，其中所述第一倍率光刻机倍率大于所述第二倍率光刻机倍率。与现有技术相比，本发明的有益效果是：1.可以在光刻机镜头允许的最大范围内，放置测试标记收集数据，以真实反映光刻机镜头边缘畸变，不受实际产品芯片尺寸的影响；2.可以在整个曝光区域放置多个测试标记，可以收集足够多数据，以测试镜头畸变；3.只使用了一块光刻版，减少了光刻版上套刻测试图形放置误差带来的影响。
- 光刻及其方法
- [实用新型]一种光刻机的气液抽取分离装置-CN202220254351.5有效
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胡德立
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江苏微影半导体有限公司
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2022-02-08
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2022-07-29
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B01D19/00
- 本实用新型提供一种光刻机的气液抽取分离装置，包括：光刻机主体、控制面板、观察门以及加工门，光刻机主体正面上方设计设置有控制面板，光刻机主体右侧面中间设置有观察门，控制面板右侧下方设置有加工门，光刻机主体内部下方设置有工件台，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过设置抽气泵和抽水泵，抽气泵能够通过分支抽气管抽取光刻机主体内部的气体，抽液泵能够通过分支抽水管抽取工件台上方的液体，使光刻机主体内部的气体和液体能够快速分离，使得本实用新型更加实用，通过设置液体箱和气体箱，能够使气体和液体分类储存，在排出时使其能够分类排出，在实际使用的时候，更适合光刻机技术领域。
- 一种光刻抽取分离装置
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