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[发明专利]一种刻蚀图形的分析系统及方法-CN201910148632.5有效
发明人：郭奥;康晓旭 -专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2019-02-28 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明公开的一种刻蚀图形的分析方法，包括如下步骤：S01：形成截面预测模型；S02：将待分析晶圆的表面形貌图输入所述刻蚀图形分析系统中，采用图像提取算法分别对待分析晶圆的表面形貌图中的白边图形进行数据提取，得出待分析晶圆的白边图形数据；S03：将待分析晶圆的白边图形数据传输至所述截面预测模型进行预测，并输出待分析晶圆的预测截面形貌图。本发明提供的一种刻蚀图形的分析系统及方法，从刻蚀图形的表面形貌图中提取白边图形数据，并根据白边图形数据以及量测的实际截面形貌图建立截面预测模型，从而利用该模型以及刻蚀图形的表面形貌图实现对刻蚀图形的截面形貌图的预测
一种刻蚀图形分析系统方法

[发明专利]纳米尺度下样品形貌与性质感知方法-CN200510046915.7无效
发明人：董再励;刘连庆;焦念东;田孝军 -专利权人：董再励
申请日： 2005-07-22 - 公布日： 2007-01-24 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：本发明涉及纳米尺度下样品形貌与性质感知技术，具体地说是一种基于扫描探针显微镜光电信号的纳米尺度下样品形貌与性质感知方法。它是取来自SPM显微镜的代表样品不同种类表面形貌特征的信号，通过信号处理转化为代表力值大小的信号，经触觉装置将感知力输出。由于不同的光、电、磁等信号代表了不同种类的表面形貌和性质信息，采用本发明能使相应的力信号也代表不同种类的表面形貌和性质信息，通过力反馈，实现人们对于纳米尺度下，样品表面形貌和性质的触觉感知，将SPM仅仅用成像来提供的单一感知扩展到具有图像、触觉的多维感知，丰富了人们对纳米尺度下对样品表面形貌和性质的认识。
纳米尺度样品形貌性质感知方法

[发明专利]材料外观腐蚀形貌特征机器视觉原值检测评价方法及装置-CN201310706409.0无效
发明人：纪钢;张勇智;朱烨华;董世都 -专利权人：纪钢
申请日： 2013-12-20 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明公开了一种材料外观腐蚀形貌特征机器视觉原值检测评价方法及装置，该评价方法包括以下步骤：使用数字相机或摄像头采集材料的外观图像信息，对图像进行数字化处理；对采集获取的材料外观腐蚀特征图像信息，辨别材料腐蚀特征信息；通过滤波除噪、图像锐化、直方图均衡化处理，改善图像质量；采用模式理论、图像识别方法，获取材料外观腐蚀特征信息，通过材料腐蚀特征信息，对照相应材料外观腐蚀评级标准，实现材料腐蚀等级的评价；该材料外观腐蚀形貌特征机器视觉原值检测评价装置包括
材料外观腐蚀形貌特征机器视觉原值检测评价方法装置

[发明专利]闭环一致双目主动视觉汽车形貌全局自由重建系统与方法-CN201910032152.2有效
发明人：徐观;陈俊伊;陈熔;苏建;单红梅;张立斌;刘玉梅;潘洪达;林慧英;戴建国;李晓韬;陈芳;沈慧;朱尧平;胡常青;袁静 -专利权人：吉林大学
申请日： 2019-01-14 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种闭环一致双目主动视觉汽车形貌全局自由重建系统与方法，旨在解决闭环一致双目主动视觉汽车形貌全局自由重建问题。闭环一致双目主动视觉汽车形貌全局自由重建系统主要由三维靶标(1)、外部摄像机(2)、摄像机支架(3)、右摄像机(4)、柱面靶标(5)、左摄像机(6)、螺纹杆(7)、激光器(8)、连接杆(9)与固定座(10闭环一致双目主动视觉汽车形貌全局自由重建方法由图像采集、摄像机标定、对极匹配、激光面求解、汽车形貌重建五个步骤组成，提供了一种结构简单、性能可靠的闭环一致双目主动视觉汽车形貌全局自由重建系统与方法。
闭环一致双目主动视觉汽车形貌全局自由重建系统方法

[发明专利]双目主动视觉矢量正交归一化汽车形貌测量系统与方法-CN201910032742.5有效
发明人：徐观;陈俊伊;陈熔;苏建;单红梅;张立斌;刘玉梅;潘洪达;林慧英;戴建国;李晓韬;陈芳;沈慧;朱尧平;胡常青;袁静 -专利权人：吉林大学
申请日： 2019-01-14 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种双目主动视觉矢量正交归一化汽车形貌测量系统与方法，旨在解决双目主动视觉矢量正交归一化汽车形貌测量问题。双目主动视觉矢量正交归一化汽车形貌测量系统主要由底座(1)、无纹理标定板(2)、摄像机支架(3)、摄像机(4)、激光器支架(5)、激光器套(6)、激光器(7)与L型标定尺(8)组成。双目主动视觉矢量正交归一化汽车形貌测量方法由图像采集、激光平面重建、L型标定尺(8)特征点参数化重建、激光平面矢量正交归一化优化、汽车形貌三维点重建五个步骤组成，提供了一种结构简单、性能可靠的双目主动视觉矢量正交归一化汽车形貌测量系统与方法
双目主动视觉矢量正交归一化汽车形貌测量系统方法

[发明专利]一种高功率焊接的熔池监测装置-CN201711497881.2在审
发明人：张宏圭;张家馨;汪鸿伟;龚欢;肖俊君;陈根余;陈焱;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大族智能装备科技有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： B23K26/03 文献下载
摘要：该装置包括激光焊接头、调节结构、光学成像系统、冷却装置和上位机；调节结构一端连接激光焊接头，另一端连接光学成像系统，调节结构移动光学成像系统至焊接表面反射光的反射范围内，光学成像系统采集焊接表面的熔池图像；上位机有线或无线连接光学成像系统，获取并处理焊接表面的熔池图像，实时监测熔池的形貌；冷却装置安装在光学成像系统上方，用于冷却光学成像系统的温度。该装置通过调节机构移动光学成像系统的位置，使之能够采集焊接表面的熔池形貌，上位机通过获取并处理光学成像系统采集的熔池形貌的图像来对焊接过程进行实时监控。
光学成像系统熔池焊接表面形貌上位机高功率焊接激光焊接头成像系统监测装置冷却装置熔池图像一端连接采集激光加工设备焊接过程结构移动冷却光学实时监测实时监控无线连接移动光学反射光反射图像

[发明专利]一种颗粒粒度和形貌的在线测量装置-CN201910520996.1在审
发明人：黄青山;肖航;陈阿强;杨超 -专利权人：中国科学院青岛生物能源与过程研究所;中国科学院过程工程研究所
申请日： 2019-07-04 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： G01N15/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种颗粒粒度和形貌的在线测量装置，其包括全自动的取样系统、稀释系统、在线观测系统、图像处理系统等。稀释系统包括储液槽及稀释槽，稀释系统将样品稀释至适宜在线观测系统观测的浓度，在线观测系统包括高清相机或显微镜、观测台及电脑，输送至观测台的样品经过高清相机或显微镜实时拍照并储存在电脑上，通过电脑程序可以详细观察颗粒的形貌及其大小，图像处理系统为本专利发明人具有自主知识产权的图像处理程序，该程序将高清相机或显微镜拍摄到的图片实时处理并经过数据统计后得到颗粒的粒度分布和具体形貌特征。
稀释系统形貌高清相机在线观测显微镜图像处理系统在线测量装置颗粒粒度取样系统观测台图像处理程序电脑程序粒度分布实时处理数据统计系统观测形貌特征样品输送样品稀释储液槽取料管蠕动泵稀释槽电脑拍照储存知识产权拍摄观察图片

[发明专利]一种待测样品形貌测量装置及方法-CN202010988971.7在审
发明人：刘紫珺;叶星辰 -专利权人：上海精测半导体技术有限公司
申请日： 2020-09-18 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明提供一种待测样品形貌测量装置及方法，装置包括光源；偏振分光单元；四分之一波片；准直单元；参考单元；光束调整单元和至少一个成像单元，光束调整单元用于调整信号光束与参考光束的传播方向，并将信号光束与参考光束投射至成像单元形成信号图像，信号图像包括参考像点、信号像点和干涉条纹；工件台；控制单元，在对待测样品进行形貌测量时，控制光束调整单元和成像单元形成信号图像，根据信号像点与参考像点在成像单元中的位置偏移量，控制工件台以调整待测样品的倾斜姿态至预设值后，控制成像单元获取干涉条纹以完成对待测样品的形貌测量。
一种样品形貌测量装置方法

[发明专利]一种机器人铣削加工颤振辨识方法-CN202011552274.3在审
发明人：彭芳瑜;张腾;孙豪;赵晟强;张驰;闫蓉 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2021-03-19 - 主分类号： G06K9/62 文献下载
摘要：本发明属于铣削加工颤振辨识领域，具体涉及一种机器人铣削加工颤振辨识方法，包括：采集机器人在铣削加工时加工工件表面形貌图像并输入铣削加工颤振类型预测模型，得到机器人颤振类型；铣削加工颤振类型预测模型构建方法为：根据机器人铣削加工时刀具端稳定性叶瓣图设置不同组合加工参数进行加工实验，并采集每次实验的振动信号以及工件表面形貌图像；基于各振动信号得到每张形貌图像所对应的颤振类型以得到训练样本集；采用公开数据集训练已知分类网络模型
一种机器人铣削加工辨识方法

[发明专利]一种视触觉汽车高反光表面三维形貌测量方法及系统-CN202011592886.5在审
发明人：闵晓潮;党仁俊 -专利权人：苏州星祥益精密制造有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明提出一种视触觉汽车高反光表面三维形貌测量方法及系统，属于三维测量技术领域。本发明分别搭建用于接触待测量的汽车高反光表面的触觉前端，以及用于测量形变的视觉后端，组合后构成视触觉汽车高反光表面三维形貌测量系统；将该触觉前端中不透明涂料层接触待测量表面并产生形变，然后视觉后端的投影仪向不透明涂料层投影编码图像得到对应的投影图像，通过计算投影图像上每个点的世界坐标获得待测高反光表面的点云，最终得到待测高反光表面的三维形貌的检测结果。
一种触觉汽车反光表面三维形貌测量方法系统

[发明专利]一种化学机械抛光检测装置及其检测方法-CN202110141359.0在审
发明人：逄明华;王占奎;苏建修;翟帅杰;马利杰;李勇峰;胡楠;杜留锋;赵红远;张亚奇;吴婷婷 -专利权人：河南科技学院
申请日： 2021-02-02 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本发明公开一种化学机械抛光检测装置及其检测方法，涉及化学机械抛光技术领域，包括对透明的工件进行夹持的工件夹持部、用于带动抛光垫转动的驱动部及其用于对抛光垫的表面形貌进行图像采集的图像采集部，工件加持部上设置有压力传感器，压力传感器用于测量工件在抛光压力作用下由于法向位移而产生的法向压力；本发明利用图像采集装置实时捕捉抛光界面间抛光垫的表面形貌，结合对抛光界面受力情况的监测，能够分析得到抛光垫表面摩擦系数变化情况，及其摩擦系数变化与研磨颗粒分布变化、磨损变化等参数之间的关系，解决了无法将抛光界面磨粒分布、抛光垫形貌与界面摩擦特性进行关联的技术问题。
一种化学机械抛光检测装置及其方法

[发明专利]三维变形测量方法、装置、设备、介质及产品-CN202211595946.8在审
发明人：王晋军;郭沁峰;徐杨 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G01B11/16 文献下载
摘要：、装置、设备、介质及产品，投影仪投影至参考平面产生的投影条纹相互平行，相机光轴垂直于参考平面，该方法包括：获取投影仪、相机、参考平面三者之间的几何关系参数、参考平面上的投影条纹数据和被测物体对应的条纹图像；所述条纹图像为相机拍摄被测物体表面的投影条纹生成；将所述投影条纹数据、几何关系参数和条纹图像输入预设光路测量模型，重构所述被测物体的三维形貌数据；根据所述三维形貌数据输出所述被测物体的三维形貌。
三维变形测量方法装置设备介质产品

[发明专利]一种基于面结构光的焊道三维形貌检测方法-CN201811264933.6有效
发明人：徐静;陈恳;陈苇航;吴丹;王国磊 -专利权人：清华大学
申请日： 2018-10-29 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明提出一种基于面结构光的焊道三维形貌检测方法，属于自动化制造技术领域。该方法首先搭建由投影仪和相机组成的结构光测量系统，将投影仪、相机与待测焊道样品进行排布并固定，并对投影仪和相机进行标定；投影仪采用三步相移法向待测焊道样品的待测表面投射图像后被相机捕获，得到对应的相机图像，计算相机图像所有点的世界坐标，得到待测焊道样品的点云；对点云进行若干次有效采样并得到对应的形貌拟合方程，从中选出有效拟合方程并将方程得到的属于基材部分的点从点云中去除，剩余点组成焊道部分的点云，待测焊道样品的三维形貌检测完毕
焊道投影仪点云三维形貌检测相机面结构光拟合方程相机图像结构光测量系统形貌世界坐标投射图像有效采样标定法向基材排布去除相移捕获自动化测量制造

[发明专利]一种高超声速飞行器的热防护结构的烧蚀测试方法-CN201310036622.5有效
发明人：陈丁;陈连忠;马洪强;王莹 -专利权人：中国航天空气动力技术研究院
申请日： 2013-01-30 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： G01N31/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种高超声速飞行器的热防护结构的烧蚀测试方法，将高超声速飞行器的热防护结构放置在电弧风洞内进行烧蚀试验，在烧蚀试验过程中，计算机利用同步装置驱动两个相机进行图像对的采集，采集时实时调节滤波片装置来进行光强调节以获得最佳的图像质量，计算机对同一时刻采集的图像对进行处理获得该时刻被测物体的三维形貌信息；根据不同时刻被测物体的三维形貌信息计算被测物体的烧蚀量。本发明烧蚀测试方法操作简单、成本低，能够克服电弧风洞极其恶劣的实验条件，能够实时获得高超声速飞行器的热防护结构烧蚀的表面形貌变化历程及烧蚀量。
一种高超声速飞行器防护结构测试方法

[发明专利]基于光栅辨别的曲面拼接区表面形貌特征检测方法及装置-CN201910397291.5有效
发明人：吴石;赵洪伟;刘献礼;宋厚旺;张添源 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2019-05-14 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明公开了基于光栅辨别的曲面拼接区表面形貌特征检测方法及装置，包括外壳和设置在外壳底端的投影光源，其特征在于：所述外壳的顶端固定连接基座，所述基座的顶端嵌接有测头柄，所述基座的底端固定连接有透镜，所述外壳的内部通过螺钉孔固定连接有光栅检测装置该种发明设计合理，能够实现曲面拼接区的表面形貌的检测，通过可拆卸的外壳可将待检测工件放入分光镜；通过在外壳内部的光栅检测装置以及嵌的无线信号发生装置和光线传感器利用小波变换理论可以对光栅所检测的图像进行图像变换为电信号传递给计算机；通过计算机可利用光斑深浅对表面形貌的幅值情况进行分析；通过小波方法可对光栅所采集的图像进行处理，对高低频情况进行分析。
基于光栅别的曲面拼接表面形貌特征检测方法装置