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- [发明专利]一种晶体的切片方法-CN202210103472.4在审
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彭杰
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威科赛乐微电子股份有限公司
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2022-01-27
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2022-09-06
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B28D5/04
- 本发明涉及半导体晶片制造技术领域,公开了一种晶体的切片方法,步骤包括,S1、将晶体进行定位边的磨削;S2、将定位边磨削完成的晶体进行晶面角度定向;S3、取方形模具和固化材料,将晶面角度定向后的晶体置于方形模具的方形通孔内,在晶体与方形模具内壁之间填充固化材料,带完全固化后脱模,得到晶体与固化材料共同组成的切割体;S4、将切割体安装于多线切割腔内,设定参数,对切割体进行多线切割,得到若干晶体与固化材料共同组成的切割片;S5、将切割片的砂浆清洗后,去除切割片上的固化材料,得到晶片。本发明能够解决钢线对晶体切割的有效长度变化所导致晶片表面出现的锯纹和翘曲度大的质量问题。
- 一种晶体切片方法
- [发明专利]半导体结构-CN201911043770.3在审
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陈建宏
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台湾积体电路制造股份有限公司
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2019-10-30
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2020-05-08
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H01L27/085
- 本发明实施例公开具有双阈值电压晶体管的设备和电路以及其制造方法。在一实例中,公开一种半导体结构。半导体结构包含衬底、第一层、第一晶体管及第二晶体管。第一层形成于衬底上方且包括第一III‑V半导体材料。第一晶体管形成于第一层上方。第二晶体管形成于第一层上方。第一晶体管包括:包含第一材料的第一栅极结构、第一源极区以及第一漏极区。第二晶体管包括:包含第二材料的第二栅极结构、第二源极区以及第二漏极区。第一材料不同于第二材料。
- 半导体结构
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