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[发明专利]半导体装置及其制造方法-CN201911121738.2有效
发明人： 姜东勋 -专利权人：夏泰鑫半导体（青岛）有限公司
申请日： 2019-11-15 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H10N97/00 文献下载
摘要：本发明提供一种用于制造半导体装置的方法，所述方法包括：提供基板，所述基板包括蚀刻停止层形成于其上；于所述蚀刻停止层上形成堆叠结构，所述堆叠结构包括下图案以及至少一上图案，其特征在于，所述下图案以及所述至少一上图案分别包括牺牲层以及形成于所述牺牲层上的支持层；形成穿透所述堆叠结构以及所述蚀刻停止层的孔洞；在所述孔洞中形成下导电图案；以第一蚀刻工艺形成穿透所述至少一上图案以及所述下图案的所述支持层的开口；以及以第二蚀刻工艺移除所述下图案的所述牺牲层及所述至少一上图案的所述牺牲层。
半导体装置及其制造方法

[发明专利]自主驾驶控制设备及其方法-CN202211504931.6在审
发明人： 姜东勋 -专利权人：现代自动车株式会社;起亚株式会社
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： B60W60/00 文献下载
摘要：提供一种跟随目标车辆的横向自主驾驶控制设备及其方法。设置在车辆中的传感器装置检测与一个或多个周围其他车辆相关的多条信息。控制器配置为分析一个或多个周围其他车辆的横向行为，并且确定一个或多个周围其他车辆是否是适合于车辆的横向跟随自主驾驶控制的车辆。自主驾驶控制设备主动地选择对于自主驾驶横向控制性能优选的目标车辆，以提高自主驾驶功能的完成度。
自主驾驶控制设备及其方法

[发明专利]自主驾驶控制设备及其方法-CN202211514046.6在审
发明人： 姜东勋 -专利权人：现代自动车株式会社;起亚株式会社
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： B60W30/165 文献下载
摘要：本申请涉及自主驾驶控制设备及其方法。提供了一种用于跟随目标车辆的纵向自主驾驶控制设备及其方法。设置在车辆中的传感器装置获得关于一个或多个周围车辆的信息。控制器分析一个或多个周围车辆的纵向行为，并确定一个或多个周围车辆是否是适合车辆的纵向跟随自主驾驶控制的车辆。自主驾驶控制设备主动选择针对纵向自主驾驶控制性能优化的目标车辆，以提高自主驾驶功能的完备性。
自主驾驶控制设备及其方法

[发明专利]气体供应单元和包括所述气体供应单元的基板处理装置-CN202211679601.0在审
发明人：朴恩雨;姜钟和;李隅滥;李晟圭;朴崠云;赵容大;姜东勋;严基象 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种用于基板处理的装置。基板处理装置包括：处理基板的处理单元；以及气体供应单元，所述气体供应单元将气体供应至所述处理单元，其中所述气体供应单元包括第一壳体、第二壳体以及气体供应管道，所述第一壳体具有与所述处理单元的处理空间流体连通的第一内部空间，所述第二壳体设置在所述第一内部空间中并具有与所述第一内部空间流体连通的第二内部空间，所述气体供应管道将气体供应至所述第二内部空间。
气体供应单元包括处理装置

[发明专利]电致发光显示器-CN202211471870.8在审
发明人： 姜东勋;边宇中;黄载元;裵广珍 -专利权人：乐金显示有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H10K59/131 文献下载
摘要：本公开涉及具有修复结构的电致发光显示器。该电致发光显示器包括：设置于基板上的第一线；覆盖基板上的第一线的缓冲层；设置于缓冲层上并且从第一线的一侧到另一侧与第一线交叉的修复分支线；覆盖修复分支线的栅极绝缘层；以及设置于栅极绝缘层上并且与第一线交叉的第二线。修复分支线包括：设置于第一线的一侧外部的第一端、以及设置于第一线的另一侧外部的第二端。第二线包括与修复分支线分开并且在修复分支线之上的上分支线。修复分支线的第一端与上分支线的第一区域重叠。修复分支线的第二端与上分支线的第二区域重叠。
电致发光显示器

[发明专利]压差测量装置和包括该装置的基板处理设备-CN202211469191.7在审
发明人： 姜东勋 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-11-22 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供了一种基板处理设备，包括：转位模块，在所述转位模块上装载或卸载基板；处理模块，所述处理模块用于对装载到所述转位模块中的所述基板执行基板处理；缓冲室，所述缓冲室设置在所述转位模块与所述处理模块之间；以及压差测量装置，所述压差测量装置用于测量在所述基板处理设备内部的特定位置处的压力与用作参考的参考位置处的压力之间的压差，其中所述压差测量装置设置在所述基板处理设备外部。
测量装置包括处理设备

[发明专利]车辆控制装置和方法-CN202211042310.0在审
发明人：金良信;姜东勋 -专利权人：现代自动车株式会社;起亚株式会社
申请日： 2022-08-29 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： B60W40/02 文献下载
摘要：一种车辆控制装置包括：摄像头，该摄像头获取车辆的周围图像；以及控制器，该控制器基于周围图像来估计连接到车辆的拖车的第一角点的位置和第二角点的位置，使用摄像头的位置、第一角点的位置和第二角点的位置来估计拖车的第三角点的位置，并且基于第一角点的位置和第三角点的位置来估计拖车的长度。车辆控制装置通过允许牵引拖车的自动驾驶车辆主动估计拖车的长度来降低车道侵占和车辆碰撞的风险，从而提高自动驾驶的稳定性。
车辆控制装置方法

[发明专利]电子装置和电子装置的图像发送方法-CN202180061157.3在审
发明人： 姜东勋;全祯焕;陈琉暻;车京勋;闵善永;李智雨 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2021-05-04 - 公布日： 2023-05-19 - 主分类号： H04N21/414 文献下载
摘要：一种根据各种实施例的电子装置可以包括第一通信模块、第二通信模块、传感器模块、相机模块和处理器，其中处理器被配置为：当相机接口被激活时，基于电子装置的已经基于从传感器模块接收的传感器信息而确定的拍摄方向信息、外部电子装置的已经基于通过第一通信模块接收的第一信号而确定的方向信息、以及相机的视角信息，确定共享外部电子装置；并且当由相机接口提供的图形对象被选择时，向所确定的外部电子装置发送拍摄的图像。可以提供各种其他实施例。
电子装置图像发送方法

[发明专利]车辆驾驶控制装置及方法-CN202210433898.6在审
发明人： 姜东勋 -专利权人：现代自动车株式会社;起亚株式会社
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B60W60/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种车辆驾驶控制装置及方法，其中车辆驾驶控制装置包括检测由用户致动的加速踏板的输入量的传感器并包括控制器。控制器基于加速踏板的输入量来判断加速踏板的错误致动，并根据加速踏板是否被错误地踩下或致动来确定是否解除自动驾驶。在通过远程生成自动驾驶控制值来控制自动驾驶的技术中，可以通过判断用户对加速踏板的错误输入或致动以确定是否解除自动驾驶，进而提高车辆的功能安全性。
车辆驾驶控制装置方法

[发明专利]可变油泵-CN202111367262.8在审
发明人： 姜东勋 -专利权人：现代自动车株式会社;起亚株式会社
申请日： 2021-11-18 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： F04C2/344 文献下载
摘要：一种可变液压泵，包括：安装在泵壳体上的转子，泵壳体中形成有壳体弹簧端；枢轴销；外圈，可旋转地连接到枢轴销，该外圈具有环形弹簧端；弹簧，安装在壳体弹簧端和环形弹簧端之间；压力室，形成在泵壳体中以推动外圈；多个叶片，形成多个凹腔；输入口，将油供应到多个凹腔；以及排出口，排出供应到多个凹腔的油，其中，在外圈的基准位置，连接转子的中心和枢轴销的第一假想线与连接环形弹簧端和枢轴销的第二假想线之间的夹角为0至10度。
可变油泵

[发明专利]一种半导体处理腔、制造设备及清洗方法-CN202110254744.6在审
发明人：李相龙;姜东勋;具德滋;金大镇;周娜;李俊杰;其他发明人请求不公开姓名 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2021-03-08 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开一种半导体处理腔、制造设备及清洗方法，涉及半导体制造设备技术领域，以解决在器件进行干法刻蚀后，由于处理腔内存在副产物附着沉积带来的问题。所述半导体处理腔包括：盖体、惰性气体通道、外电极，以及位于外电极外周的保护环。其中，外电极在盖体上的投影位于盖体的非中心区域。惰性气体通道具有相连通的第一部分和第二部分。第一部分穿过盖体和外电极，用于将惰性气体从外电极背离盖体的一侧通入半导体处理腔内。第二部分穿过盖体和保护环，用于将惰性气体从保护环背离盖体的一侧和保护环的内侧面通入半导体处理腔内。所述半导体制造设备包括上述半导体处理腔。所述半导体处理腔清洗方法用于对上述半导体处理腔清洗。
一种半导体处理制造设备清洗方法

[发明专利]一种蜂窝状结构的刻蚀方法-CN202110218741.7在审
发明人： 姜东勋;具德滋;李相龙;金大镇;郑宇现;李俊杰;周娜;杨红;李俊峰;王文武 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2021-02-24 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： H01L21/033 文献下载
摘要：本发明公开一种蜂窝状结构的刻蚀方法，涉及半导体器件制备技术领域，以简化工艺步骤，节省制造成本，得到具有七个柱体的蜂窝状结构。蜂窝状结构的刻蚀方法包括：提供一衬底。在所述衬底上形成双层硬掩模结构。采用两次光刻工艺对所述双层硬掩模结构进行处理，获得交错分布的第一图案结构和第二图案结构，所述第一图案结构和所述第二图案结构围合形成多个六边形结构。使用自对准工艺在每个所述六边形结构的中心处形成第三图案结构，得到蜂窝状结构。本发明提供的蜂窝状结构的刻蚀方法用于制备蜂窝状结构。
一种蜂窝状结构刻蚀方法

[发明专利]一种有害气体净化装置-CN202110213228.9在审
发明人：金大镇;具德滋;姜东勋;李相龙;郑宇现;周娜;李琳;李俊杰;王佳 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2021-02-24 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B01D53/30 文献下载
摘要：本发明公开一种有害气体净化装置，涉及半导体器件技术领域，以提供一种可以在气体发生器泄露有害气体时，对该有害气体进行处理的装置。包括：气体检测设备、排气通道、设置在所述排气通道内的吸气设备和气体净化设备，以及与所述气体检测设备和所述吸气设备相连接的控制器。所述气体检测设备用于检测所述有害气体产生源是否泄露有害气体，并将检测信号发送给控制器。所述控制器用于在所述检测信号表征所述有害气体产生源泄露有害气体的情况下，控制所述吸气设备通过所述排气通道的进气口将所述有害气体吸入排气通道中。所述气体净化设备用于对所述排气通道中的所述有害气体进行净化。
一种有害气体净化装置

[发明专利]一种晶圆传送机械臂及其制造方法、晶圆的传送方法-CN202011625499.7在审
发明人：郑宇现;姜东勋;具德滋;李俊杰;李琳;王佳;周娜 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆传送机械臂及其制造方法、晶圆的传送方法，涉及半导体技术领域，用于在传送晶圆的过程中，固定晶圆在晶圆传送机械臂上的位置，防止晶圆由晶圆传送机械臂上滑动或滑落的同时，可以加快晶圆的传送速度，提高半导体器件的制造效率。所述晶圆传送机械臂包括：承载部和静电吸附部。承载部用于承载晶圆。静电吸附部设置在承载部内。静电吸附部用于在晶圆传送机械臂传送过程中，固定晶圆在承载部上的位置。所述晶圆传送机械臂应用于半导体器件的制造。
一种传送机械及其制造方法

[发明专利]一种着陆焊盘和DRAM的形成方法-CN202011434677.8在审
发明人： 姜东勋;李俊杰;周娜;杨涛;李俊峰;王文武 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：本发明涉及一种着陆焊盘和DRAM的形成方法，属于半导体技术领域，解决现有连接SN与SNC的着陆焊盘形成工艺复杂、消耗时间长、成本高的问题。该形成方法包括：提供半导体衬底，其上形成有位线结构和存储节点接触部；在位线结构上方顺序形成阻挡金属层、着陆焊盘层、底部掩模层和焊盘图案掩模层；通过蚀刻工艺将焊盘图案掩模层形成为焊盘图案掩模，包括多个第一凸起和任意两个相邻第一凸起之间的第一开口，多个第一凸起与待形成的着陆焊盘相对应；在多个第一开口中继续向下蚀刻底部掩模层、着陆焊盘层和阻挡金属层以暴露位线结构的顶面；去除剩余的多个第一凸起和底部掩模层以形成着陆焊盘。通过省略多个工艺步骤简化着陆焊盘形成工艺。
一种着陆 dram 形成方法

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