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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种大尺寸掩膜版光刻胶烘干装置-CN202321344685.2有效
  • 李伟 - 合肥清溢光电有限公司
  • 2023-05-30 - 2023-08-25 - G03F7/16
  • 本实用新型公开了一种大尺寸掩膜版光刻胶烘干装置，包括密封的烘烤室，烘烤室内设置有掩膜版支撑架、下烘烤组件、上烘烤组件和换气组件，下烘烤组件和上烘烤组件分别设置于掩膜版支撑架的下方和上方，掩膜版支撑架与上烘烤组件和下烘烤组件之间分别留有上下料抬版空间和上下料抬版臂进出空间；上烘烤组件固定安装于烘烤室内，上下料抬版空间高度为上烘烤组件与掩膜版支撑架之间距离；本技术方案通过升降机构带动掩膜版支撑架和下烘烤组件上升，压缩上下料抬版空间高度和上下料抬版臂进出空间高度，上烘烤组件和下烘烤组件靠近掩膜版支撑架上待烘烤掩膜版，实现掩膜版近距离烘烤，受热均匀，烘干快速，烘干效率高。
  • 一种尺寸掩膜版光刻烘干装置
  • [发明专利]一种掩膜版除尘装置-CN201410260765.9在审
  • 罗华明;毛智彪;杨正凯;王艳云 - 上海华力微电子有限公司
  • 2014-06-12 - 2014-08-20 - G03F1/82
  • 一种掩膜版除尘装置，包括密闭腔体、转轴、旋转支架、夹具、氮气喷嘴和抽气管路，掩膜版通过悬挂支架水平悬挂于密闭腔体内部的上方并可绕悬挂支架的转轴旋转，扁平形喷口的氮气喷嘴从掩膜版的下方对掩膜版表面进行清洁吹扫，然后通过抽气管路排出吹扫下来的尘埃颗粒和多余的氮气，同时氮气喷嘴的位置可由掩膜版的下方中心部位平移至掩膜版的边缘部位，该结构能避免夹杂有尘埃颗粒的气流对掩膜版的二次污染，还保证了氮气能吹扫到整个掩膜版的表面，以免出现盲区；本发明能全面、彻底的清除掩膜版表面的尘埃颗粒，并节省氮气消耗。
  • 一种掩膜版除尘装置
  • [实用新型]一种掩膜版用的干燥装置-CN201922122095.5有效
  • 侯广杰;叶小龙 - 深圳市龙图光电有限公司
  • 2019-11-29 - 2020-07-14 - F26B9/10
  • 本申请公开了一种掩膜版用的干燥装置，包括晾板架，晾板架包括架体和晾板部，架体用于支撑晾板部，晾板部呈台阶状，晾板部包括间隔设置的若干晾板侧壁和晾板底壁，晾板侧壁和晾板底壁依次连接，晾板侧壁用于与掩膜版的上侧接触，晾板底壁用于承载掩膜版的下侧。当需要晾干掩膜版时，将掩膜版的下侧放置在晾板底壁上，将掩膜版的上侧靠在晾板侧壁上，使得掩膜版倾斜放置在晾板部上。通过台阶状结构的晾板部，有效利用了立体空间，增大了晾板架能够放置掩膜版的数量，有利于批量晾干掩膜版。
  • 一种掩膜版用干燥装置
  • [实用新型]一种掩膜版远程检查装置-CN202220449642.X有效
  • 张华超;熊启龙 - 合肥清溢光电有限公司
  • 2022-03-02 - 2022-07-15 - G03F1/84
  • 本实用新型公开了一种掩膜版远程检查装置，包括实现掩膜版直立固定的立版装置和朝向立版装置设置的可移动相机机构，立版装置包括可调版架和驱动可调版架旋转实现掩膜版翻面的翻面装置；可调版架包括置于直立状的掩膜版底部的版托以及分别置在直立状的掩膜版两侧的固定版夹和移动版夹，移动版夹相对固定版夹移动；可移动相机机构包括CCD高清相机本体和相机安装座，相机安装座包括与CCD高清相机本体连接的水平移动座和连接在水平移动座上的升降座，升降座和水平移动做分别实现CCD高清相机本体在竖直和水平方向上的移动；本实用新型的掩膜版远程检查装置，旨在解决在清洗后，人员对掩膜版进行表面检查时，对掩膜版造成污染和破坏的隐患。
  • 一种掩膜版远程检查装置
  • [发明专利]掩膜版、检测光刻机漏光程度的方法-CN201911051616.0有效
  • 李玉华 - 华虹半导体（无锡）有限公司
  • 2019-10-31 - 2023-05-02 - G03F1/44
  • 本申请公开了一种掩膜版、检测光刻机漏光程度的方法，涉及半导体制造领域。该方法包括提供一片涂有光刻胶的晶圆和一包括条宽测试图形和全遮光图形的掩膜版；利用掩膜版进行第一次曝光；平移掩膜版，令晶圆表面的部分条宽测试图形被掩膜版上的全遮光图形完全覆盖；进行第二次曝光并显影，显影后的晶圆表面包括重复曝光条宽测试图形和初始曝光条宽测试图形；获取重复曝光条宽测试图形的条宽和初始曝光条宽测试图形的条宽，确定出光刻机的漏光程度；解决了现有检测方法无法既快速又准确地得到光刻机漏光程度的问题；达到了快速准确地测定光刻机漏光程度的效果。
  • 掩膜版检测光刻漏光程度方法
  • [发明专利]一种曝光装置-CN201811336271.9在审
  • 方凤云 - 上海矽越光电科技有限公司
  • 2018-11-08 - 2020-05-15 - G03F7/20
  • 本发明公开了一种曝光装置，包括掩膜台，位于掩膜台上的掩膜版，所述掩膜版上绘制有若干个曝光图形，所述掩膜版上方于曝光图形的对应位置分别设置有曝光光源，所述掩膜台下方设置有固定载台和位于固定载台上的基材，所述基材的尺寸与掩膜版的尺寸相当，所述掩膜版与基材之间设置有若干个投影物镜，所述投影物镜与掩膜版上的曝光图形位置相对应。本发明的曝光装置将多个曝光图形绘制在同一个掩膜版上，采用多个投影物镜代替一个大尺寸的投影物镜，将掩膜版上的曝光图形分别经过对应的投影物镜，成像在基材上，无需载台移动，避免昂贵的移动式曝光载台的使用，降低了生产成本
  • 一种曝光装置
  • [发明专利]一种掩膜版传输方法-CN202011055974.1有效
  • 王军伟 - 上海微电子装备(集团)股份有限公司
  • 2020-09-29 - 2023-03-17 - B65G47/91
  • 本发明实施例公开了一种掩膜版传输方法，该方法根据掩膜版沿第二方向的尺寸和掩膜版的初始位置，先控制机械手采用沿托盘指向旋转台方向的第1组至第n组吸盘于托盘中吸附掩膜版，并沿托盘指向旋转台方向将所吸附的掩膜版从托盘传输至旋转台的前端；再控制机械手沿旋转台指向托盘方向运动第一距离，采用沿旋转台指向托盘方向的第1组至第n组吸盘于旋转台前端吸附掩膜版，并沿托盘指向旋转台方向将所吸附的掩膜版从旋转台的前端传输至后端；充分的利用了版叉长度，使得夹爪能够于旋转台的后端仅用一个步骤便可将掩膜版传输至工件台，减少了将掩膜版从托盘传输至工件台的时间，提高了掩膜版传输效率。
  • 一种掩膜版传输方法
  • [发明专利]一种掩膜版-CN201810994585.1有效
  • 杜建华;强朝辉;王治;关峰;高宇鹏;吕杨;任庆荣;李超;王鑫 - 京东方科技集团股份有限公司
  • 2018-08-27 - 2022-04-08 - G03F1/66
  • 本发明提供了一种掩膜版，涉及加工工艺技术领域。其中，所述掩膜版包括掩膜版盒，以及嵌套在掩膜版盒中的准直透镜组合板。其中，掩膜版盒包括对盒设置的掩膜图案板和第一准直透镜板，第一准直透镜板上的光线准直区域与掩膜图案板上的透光区域位置对应；准直透镜组合板上的光线准直区域可以大于掩膜图案板上的透光区域。在本发明实施例中，掩膜图案板上的透光区域与特定薄膜晶体管的图案对应，准直透镜组合板上的光线准直区域大于掩膜图案板上的透光区域，从而准直透镜组合板可以与不同掩膜图案的掩膜版盒嵌套组合，形成不同的掩膜版，进而能够对不同图案的薄膜晶体管的a‑Si进行区域化激光退火处理，提高了区域化激光退火掩膜版的通用性。
  • 一种掩膜版
  • [发明专利]承载装置和曝光机-CN201810377953.8在审
  • 胡森文 - 武汉华星光电技术有限公司
  • 2018-04-25 - 2018-10-09 - G03F7/20
  • 本发明提供一种承载装置和曝光机，其中承载装置包括一设置在第一预设高度范围的承载台、多个设置在第二预设高度范围的承载台，以及一换位结构；设置在第一预设高度范围的承载台，以及多个设置在第二预设高度范围的承载台，用于承载掩膜版；换位结构，用于在设置在第一预设高度范围的承载台承载了掩膜版后，从多个设置在第二预设高度范围的承载台中，获取未承载掩膜版的目标承载台，并对设置在第一预设高度范围的承载台和目标承载台，进行位置互换该方案在设置在第一预设高度范围的承载台承载了掩膜版后，将其与目标承载台进行位置互换，以将掩膜版放入设置在第一预设高度的承载台，从而降低了掩膜版的损坏率。
  • 预设承载台掩膜版承载承载装置目标承载换位结构位置互换曝光机损坏率放入
  • [实用新型]一种小尺寸掩膜版涂胶机装置-CN202121174084.2有效
  • 林超;林伟 - 成都路维光电有限公司
  • 2021-05-28 - 2021-10-26 - G03F7/16
  • 本实用新型公开了一种小尺寸掩膜版涂胶机装置，包括涂胶机壳体，所述涂胶机壳体内设有旋转腔体，所述旋转腔体内安装有动力装置，所述动力装置上设有旋转载物台，所述动力装置的输出轴通过连接轴与所述旋转载物台连接，所述旋转载物台上可拆卸安装有小尺寸掩膜版，所述旋转腔体设有用于涂胶的开口，当动力装置启动时，所述旋转载物台带动所述小尺寸掩膜版进行转动从而进行涂胶。其能够实现不同小尺寸掩膜版涂胶且匀胶后可以重复研发使用，提高了小尺寸掩膜版的重复利用率。本实用新型优点是：提高了小尺寸掩膜版的重复利用率，降低成本，促进环保。
  • 一种尺寸掩膜版涂胶装置
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