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- [实用新型]涂胶装置-CN202022697916.0有效
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诸嘉豪
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无锡迪思微电子有限公司
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2020-11-19
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2021-10-15
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B05C11/00
- 本申请提供了一种涂胶装置，该涂胶装置包括甩干机，甩干机包括甩干机本体和掩膜版架，掩膜版架位于甩干机本体的表面上，掩膜版架用于固定掩膜版。该涂胶装置，包括甩干机，甩干机包括甩干机本体和掩膜版架，掩膜版架位于甩干机本体的表面上，掩膜版架用于固定掩膜版。相比现有技术中的涂胶装置仅为可控制转速和运行时间的直流电机，只具有甩干功能，本申请的涂胶装置在具备甩干功能的同时，通过将掩膜版放置在掩膜版架上，来固定掩膜版，可以使得掩膜版表面的光刻胶在甩干过程中变得较为均匀，保证光刻胶能较为均匀地覆盖掩膜版，避免了现有的涂胶装置无法使得掩膜版均匀涂布光刻胶的问题，保证了掩膜版的涂布光刻胶的效果较好。
- 涂胶装置
- [实用新型]一种掩膜版用的曝光补偿装置-CN201922098140.8有效
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叶小龙;王栋
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深圳市龙图光电有限公司
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2019-11-29
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2020-05-26
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G03F7/20
- 本申请公开了一种掩膜版用的曝光补偿装置，包括承载板，承载板的一侧具有接触平面，用于与光刻机平台接触，承载板的另一侧具有承载面，承载面为斜面，用于承载斜面掩膜版，并垫高斜面掩膜版厚度较薄的一侧，以使斜面掩膜版远离承载板的一侧与光刻机平台平行对掩膜版进行曝光时，光刻机镜头需要与掩膜版保持恒定的距离，以保证曝光后掩膜版的图形质量，曝光斜面掩膜版时，光刻机镜头从斜面掩膜版厚度较大的一侧运动到厚度较小的一侧时，光刻机镜头与掩膜版的距离不断变大，导致曝光后掩膜版的图形质量异常因此，在曝光斜面掩膜版时，将斜面掩膜版放置到承载板上，使得斜面掩膜版上表面平行于光刻机平台。
- 一种掩膜版用曝光补偿装置
- [发明专利]贴膜机-CN201510014250.5有效
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张建国;夏静远
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深圳清溢光电股份有限公司
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2015-01-12
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2015-04-29
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B32B37/10
- 本发明属于贴膜设备领域，尤其涉及一种贴膜机，旨在解决现有贴膜机中掩膜版定位机构与掩膜版夹具难以适应不同尺寸规格的掩膜版的技术问题。将用于安装蒙版的蒙版夹具安装在平台上，框架上沿X轴方向滑动安装两个竖直臂同时沿Z轴方向滑动安装两个水平臂，竖直臂与水平臂可夹紧掩膜版，蒙版与掩膜版相面对设置，第一动力组件将安装有蒙版与掩膜版的夹具组件推向压边组件保证相对两边上的压制效果，两个压杆间距可调，适应不同尺寸规格的掩膜版，克服了在对不同尺寸规格的掩膜版进行贴付蒙版时需要更换对应的掩膜版定位机构与掩膜版夹具的麻烦，节省了制作多套掩膜版定位机构与掩膜版夹具的成本。
- 贴膜机
- [发明专利]掩膜版的清洁装置-CN202110115470.2在审
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赵晗
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长江存储科技有限责任公司
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2021-01-28
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2021-04-30
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G03F1/82
- 本申请公开了一种掩膜版的清洁装置，包括：观察摄像机，对掩膜版表面拍照，以获取掩膜版上异物的位置信息；氮气喷嘴，位于掩膜版表面的下方，根据异物的位置信息对掩膜版表面的异物进行吹扫；以及抽气装置，位于掩膜版表面的下方，从吹扫的异物处抽取氮气喷嘴喷出的氮气以去除掩膜版表面的异物并排出；控制单元，用于当观察摄像机拍摄到掩膜版上存在异物时，控制氮气喷嘴向掩膜版表面喷出氮气以及控制抽气装置从掩膜版表面抽取氮气。本申请采用定位清洁的方式，其吹扫范围更精确，在保持氮气喷嘴风压不变的前提下，减小了掩膜版受吹扫影响的面积，并且采用抽气装置提升去除掩膜版表面的异物的成功率，进而提升了掩膜版的可靠性。
- 掩膜版清洁装置
- [实用新型]压边组件及具有该压边组件的贴膜机-CN201520018485.7有效
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张建国;夏静远
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深圳清溢光电股份有限公司
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2015-01-12
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2015-08-12
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B32B37/10
- 本实用新型属于贴膜机配件领域，尤其涉及一种压边组件及具有该压边组件的贴膜机，旨在解决现有贴膜机中的掩膜版夹具难以适配不同尺寸规格掩膜版的技术问题。两个压杆在蒙版与掩膜版贴合过程中与掩膜版背离蒙版的一侧相抵，实现蒙版与掩膜版的其中一对边的贴合，第一驱动组件驱动旋转板转动，从而带动安装在旋转板上第二驱动组件与压杆转动，以实现蒙版与掩膜版的另外一对边的贴合两个第二驱动组件分别驱动两个压杆沿旋转板的长度方向移动，让两个压杆间距可调，从而适应不同尺寸规格掩膜版，克服了在对不同尺寸规格的掩膜版进行贴付蒙版时需要更换对应的掩膜版夹具的麻烦，节省了制作多套掩膜版夹具的成本
- 组件具有贴膜机
- [实用新型]夹具组件及具有该夹具组件的贴膜机-CN201520019257.1有效
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张建国;夏静远
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深圳清溢光电股份有限公司
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2015-01-12
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2015-09-09
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B25B11/00
- 本实用新型属于贴膜机配件领域，尤其涉及一种夹具组件及具有该夹具组件的贴膜机，旨在解决现有贴膜机中的掩膜版定位机构难以适应不同尺寸规格的掩膜版及现有蒙版夹具与掩膜版定位机构占用较大空间的技术问题。将用于安装蒙版的蒙版夹具安装在平台上，平台沿Y轴方向滑动安装在框架的缺口内，框架上沿X轴方向滑动安装两个竖直臂同时沿Z轴方向滑动安装两个水平臂，竖直臂与水平臂可夹紧掩膜版，蒙版与掩膜版相面对设置保证压制，从而适应不同尺寸规格的掩膜版，克服了在对不同尺寸规格的掩膜版进行贴付蒙版时需要更换对应的掩膜版定位机构的麻烦，节省了制作多套掩膜版定位机构的成本。
- 夹具组件具有贴膜机
- [发明专利]一种掩膜版检查机精度校准样片-CN202310428810.6在审
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熊启龙;宋恺
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深圳清溢光电股份有限公司
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2023-04-20
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2023-08-29
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G03F1/84
- 本发明公开了一种掩膜版检查机精度校准样片，包括基片，基片上设置有位置校准区域和精度校准区域；精度校准区域内设置有对比图形单元和缺陷图形单元；对比图形单元内呈横纵排列状设置有若干掩膜版样片对比图形，对比图形单元内同一行中掩膜版样片对比图形一致，仅尺寸增减；缺陷图形单元内呈横纵排列状设置有若干掩膜版样片缺陷图形，缺陷图形单元内同一行中掩膜版样片缺陷图形一致，仅尺寸增减；对比图形单元和缺陷图形单元内同一行、列位置的掩膜版样片对比图形和掩膜版样片缺陷图形一致，且尺寸相同，仅掩膜版样片缺陷图形内增设缺陷特征；本发明的掩膜版检查机精度校准样片，解决背景技术中提出的满足对掩膜版检查机精度的校准和缺陷的全检查。
- 一种掩膜版检查精度校准样片
- [实用新型]一种自动对准移动掩模光刻机-CN202120084852.9有效
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陈杰相
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陈杰相
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2021-01-13
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2021-12-24
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G03F7/20
- 本实用新型涉及光刻机技术领域，且公开了一种自动对准移动掩模光刻机，包括基台、硅片台、支撑柱、掩膜版滑台、成像光刻透镜、滑轨、移动承载台、紧固把手、紫光透镜、紫光光源和掩膜版，所述基台的上表面活动安装有硅片台，所述基台上表面的两侧均连接有支撑柱，所述支撑柱的上端安装有掩膜版滑台，所述掩膜版滑台的中部位置开设有成像孔，所述掩膜版滑台的两侧开设有滑轨。该自动对准移动掩模光刻机，通过在掩膜版滑台上设置有活动安装的移动承载台，整体通过简单便捷的安装操作，使多个掩膜版均可稳定可靠的固定在掩膜版凹槽内，使掩膜版自动对准到方便进行光刻操作的位置，提升了光刻机的工作效率
- 一种自动对准移动光刻
- [发明专利]一种掩膜版的上版装置-CN202110947574.X有效
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张伟明;谭超华;李胜
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合肥清溢光电有限公司
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2021-08-18
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2023-05-09
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G03F1/68
- 本发明公开了一种掩膜版的上版装置，包括一呈倾斜状的支撑主体，支撑主体上设置有下支撑组件、左支撑组件和右支撑组件，下支撑组件、左支撑组件和右支撑组件形成一倾斜支撑面，掩膜板置于倾斜支撑面上且掩膜板中心与倾斜支撑面的中心重合，实现对掩膜板支撑；本发明的上版装置，应用于采用六轴机器人进行自动化运输的掩膜版生产线中，通过本上版装置将掩膜版安装固定的姿态放置在固定的位置，避免了光刻机自带的load或AGV进行上版时的复杂的定位操作与控制，以低成本的方法和装置实现不同尺寸掩膜版高精度上版的功能，确保掩膜版生产的定位精度，减少光刻机对掩膜版的定位调整时间，提高掩膜版的生产效率和产品品质。
- 一种掩膜版装置
- [实用新型]光刻机的掩膜版冷却系统-CN201921518216.1有效
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骆建钢;徐晓敏
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上海华力集成电路制造有限公司
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2019-09-12
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2020-06-16
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G03F7/20
- 本实用新型公开了一种光刻机的掩膜版冷却系统，所述光刻机包括曝光光源、光学镜头、掩膜版承载台，光学镜头位于掩膜版承载台的上方，所述系统包括：氮气冷却装置，其包括供气端、输气管和喷气管，氮气源和喷气管通过所述输气管连接，喷气管设在光学镜头的周侧且在竖直方向上位于光学镜头和掩膜版承载台之间，所述喷气管形成有多个喷气孔；水冷装置，其包括供水端、输水管和水冷管，冷水源和水冷管通过输水管连接，水冷管铺设在掩膜版承载台上且位于掩膜版和掩膜版承载台之间本实用新型利用氮气和水对掩膜版进行冷却，利用减少掩膜版的形变，改善产品的废品率。
- 光刻掩膜版冷却系统
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