“成膜载板”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果9232226个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]掩膜板及成膜方法-CN201810788659.6有效
发明人：三上瞬;中尾裕利;田宫慎太郎;朝比奈伸一 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2018-07-18 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜板，其在通过磁铁阵列的吸引力将掩膜板紧密贴合在基板的下表面以使基板(Sw)夹隔在接触板(Tp)和掩膜板(MP)之间时，可尽量抑制在图案掩膜部(1)的透孔(11)周边的突起，并可防止已形成的薄膜上发生掩膜失效本发明的掩膜板(MP)具有：图案掩膜部(1)，其由以规定的图案开设并贯通板厚度方向的多个透孔(11)构成；以及遮挡部(2)，其位于图案掩膜部的周围。至少在磁铁的并列设置方向上与图案掩膜部相邻的遮挡部的部分(21)形成为与图案掩膜部的磁导率相同。
图案掩膜掩膜板基板透孔遮挡并列设置磁铁阵列紧密贴合磁导率贯通板接触板下表面磁铁突起成膜掩膜薄膜图案

[发明专利]一种太阳能电池载板-CN201711126093.2在审
发明人：庄辉虎;林锦山;杨与胜;宋广华;谢延权;王树林 -专利权人：福建钧石能源有限公司
申请日： 2017-11-15 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能电池载板，所述载板为一片载板基体单元的独立单位结构或多片重复的载板基体单元排列组合的整体结构，所述载板基体单元包括载板支撑框、用于支撑硅片四周边缘的第一阶梯凹槽和设于第一阶梯凹槽内的第二阶梯凹槽本发明通过与硅片中间部分点接触的若干支撑点与硅片接触，减少接触面积，有利降低硅片与载板间的摩擦，减少膜层损伤，有效降低载板对硅片热影响，方便硅片温度调整变化，提高硅片的升温速率，与硅片充分接触，使得硅片在工艺过程中，具有良好接地，排除工艺过程中的杂散电子对薄膜沉积的影响，提高硅片上的成膜质量和均匀性。
硅片阶梯凹槽载板太阳能电池工艺过程载板基体点接触支撑点薄膜沉积充分接触单元排列独立单位膜层损伤四周边缘温度调整接地板基体均匀性热影响支撑框成膜多片杂散摩擦支撑重复

[实用新型]一种太阳能电池载板-CN201721517722.X有效
发明人：庄辉虎;林锦山;杨与胜;宋广华;谢延权;王树林 -专利权人：福建钧石能源有限公司
申请日： 2017-11-15 - 公布日： 2018-07-13 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种太阳能电池载板，所述载板为一片载板基体单元的独立单位结构或多片重复的载板基体单元排列组合的整体结构，所述载板基体单元包括载板支撑框、用于支撑硅片四周边缘的第一阶梯凹槽和设于第一阶梯凹槽内的第二阶梯凹槽本实用新型通过与硅片中间部分点接触的若干支撑点与硅片接触，减少接触面积，有利降低硅片与载板间的摩擦，减少膜层损伤，有效降低载板对硅片热影响，方便硅片温度调整变化，提高硅片的升温速率，与硅片充分接触，使得硅片在工艺过程中，具有良好接地，排除工艺过程中的杂散电子对薄膜沉积的影响，提高硅片上的成膜质量和均匀性。
硅片阶梯凹槽载板太阳能电池工艺过程载板基体点接触支撑点本实用新型薄膜沉积充分接触单元排列独立单位膜层损伤四周边缘温度调整接地板基体均匀性热影响支撑框成膜多片杂散摩擦支撑重复

[发明专利]一种真空压膜机-CN202310612974.4在审
发明人：王加林;罗浩 -专利权人：有为半导体技术（广东）有限公司
申请日： 2023-05-26 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本发明适用于压膜设备领域，提供了一种真空压膜机，包括进板模块、真空压膜模块和出板模块，进板模块包括进板运输结构，第一载膜涨紧结构和清洁单元；真空压膜模块设有可相互开合的真空腔体，真空腔体连接有加压组件；出板模块包括出板运输结构、第二载膜涨紧结构和冷却结构；进板模块和出板模块在运输基板的同时还能带动载膜的运输，通过第一载膜涨紧结构进行放卷动作，第二载膜涨紧结构进行收卷动作，带动载膜穿过真空压膜模块与基板进行压合，通过载膜运输结构来对载膜进行压紧，避免载膜在压合时发生位置变化，以保证基板两面的贴膜作业，且进板模块上的清洁单元能很好的在载膜与基板压合前对载膜进行清洁，以保证载膜的整洁度。
一种真空压膜机

[实用新型]一种真空压膜机-CN202321323148.X有效
发明人：王加林;罗浩 -专利权人：有为半导体技术（广东）有限公司
申请日： 2023-05-26 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本实用新型适用于压膜设备领域，提供了一种真空压膜机，包括进板模块、真空压膜模块和出板模块，进板模块包括进板运输结构，第一载膜涨紧结构和清洁单元；真空压膜模块设有可相互开合的真空腔体，真空腔体连接有加压组件；出板模块包括出板运输结构、第二载膜涨紧结构和冷却结构；进板模块和出板模块在运输基板的同时还能带动载膜的运输，通过第一载膜涨紧结构进行放卷动作，第二载膜涨紧结构进行收卷动作，带动载膜穿过真空压膜模块与基板进行压合，通过载膜运输结构来对载膜进行压紧，避免载膜在压合时发生位置变化，以保证基板两面的贴膜作业，且进板模块上的清洁单元能很好的在载膜与基板压合前对载膜进行清洁，以保证载膜的整洁度。
一种真空压膜机

[实用新型]一种医用覆膜支架-CN201621485334.3有效
发明人：章祥庆;唐海健 -专利权人：江苏蓝湾生物科技有限公司
申请日： 2016-12-31 - 公布日： 2017-12-29 - 主分类号： A61F2/07 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种医用覆膜支架，包括支架，支架上覆盖有覆膜，覆膜覆盖支架区域的覆膜上设置有载药囊片，其中支架卷曲成筒状或截锥状，覆膜位于筒状或截锥状的内侧或外侧。本实用新型提供的一种医用覆膜支架，具有良好的径向支撑力，可有效的通过腔内隔绝术修复血管、隔绝瘤体；对于狭窄性病变，可支撑病变管腔，解除狭窄；载药囊片可以增大载药性能，灵活控制载药用量，载药囊片的设置能够很好的起到缓释作用
一种医用支架

[发明专利]成膜装置-CN201711281075.1有效
发明人：伊藤昭彦;加茂克尚;松中繁树;藤田笃史 -专利权人：芝浦机械电子装置株式会社
申请日： 2017-12-06 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： C23C14/16 文献下载
摘要：本发明提供一种可以简单的构成抑制电子零件的加热的成膜装置。本发明包括：搬送部，在腔室内循环搬送电子零件；成膜处理部，成膜于电子零件；托盘，由搬送部搬送，具有载置面；及载置部，载置于载置面，用来搭载电子零件，载置部包括：保持片，一面具备具有粘着性的粘着面，另一面具备不具有粘着性的非粘着面；及密接片，一面具备密接于非粘着面的具有粘着性的第1密接面，另一面具备密接于托盘的载置面的具有粘着性的第2密接面，粘着面具有用来贴附电子零件的贴附区域，第1密接面至少跨及与贴附区域对应的非粘着面的区域的整体而密接
装置

[发明专利]改善IC载板渗金的贴膜方法、IC载板、车载电路板及终端-CN202310408311.0在审
发明人：高航;柯亮宇;杨鹏飞;段伦永 -专利权人：珠海中京半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B32B37/10 文献下载
摘要：本发明属于封装基板处理技术领域，公开了改善IC载板渗金的贴膜方法、IC载板、车载电路板及终端。干膜与IC载板板面接触，并通过热压轮将抗镀金干膜初步贴附在IC载板板面上，将完成预贴后的IC载板与抗镀金干膜之间存在气泡利用真空抽气，并施压将气泡挤压出去；IC载板与抗镀金干膜之间气泡完全排出后，IC载板传送至钢板热压段；将IC载板传送至段进行冷却降温，使抗镀金干膜与IC载板板面固化。本发明使用真空气囊提替代传统热压轮，利用抽真空的方式来祛除抗镀金干膜与IC载板板面之间的气泡问题；本发明将整平钢板加热至80‑85℃，给贴膜后的IC载板上下加压，以增加抗镀金干膜与IC载板板面之间的结合力
改善 ic 载板渗金方法载板车载电路板终端

[发明专利]成膜装置和成膜方法-CN201510726329.0有效
发明人：加藤寿;三浦繁博;菊地宏之;相川胜芳 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2015-10-30 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本发明提供一种成膜方法和成膜装置。在用于向基板供给处理气体并获得薄膜的成膜装置中，包括：旋转台，其配置在真空容器内，用于在设于其一面侧的载置区域载置基板并使该基板公转；旋转机构，其以所述基板自转的方式使所述载置区域旋转；处理气体供给机构，其用于向所述旋转台的一面侧的处理气体供给区域供给所述处理气体，并在通过所述公转而反复多次通过该处理气体供给区域的基板上进行成膜；以及控制部，其为了在基板每次位于所述处理气体供给区域时改变该基板的方向而根据包括所述旋转台的转速在内的参数计算所述基板的自转速度
装置方法

[发明专利]一种新型的单向释药口腔溃疡双层膜及其制备方法-CN202110706258.3在审
发明人：罗国平;闫梦茹;陈程;陈格 -专利权人：西安医学院
申请日： 2021-06-24 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： A61K9/70 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型单向释药的口腔溃疡双层膜，其特征在于，口腔溃疡双层膜具有双层结构，一层为与口腔溃疡面接触的载药层；一层为具有单向释药和防粘作用的疏水保护层，两层之间通过粘合剂粘合；所述载药层由药物、亲水成膜材料、促渗剂、第一增塑剂和第一溶剂组成；所述疏水保护层由疏水成膜材料、第二增塑剂和第二溶剂组成。本发明还提供了上述口腔溃疡双层膜的制备方法，本发明提供的新型单向释药的口腔溃疡双层膜，药物分散或者溶解于载药层内，疏水保护层中不包含药物，载药层遇水能产生黏性，载药层中的亲水生物黏附材料可黏附于溃疡面上
一种新型单向口腔溃疡双层及其制备方法

[发明专利]成膜装置和成膜方法-CN200780013893.1无效
发明人：松本贤治;佐藤浩;大平达也;町田英明;石川真人 -专利权人：东京毅力科创株式会社;TRICHEMICAL研究所股份有限公司
申请日： 2007-04-18 - 公布日： 2009-05-06 - 主分类号： C23C16/18 文献下载
摘要：本发明提供一种利用CVD法在被处理体表面形成锰膜的成膜装置和成膜方法。成膜装置包括：能够形成真空的处理容器(14)；载置台(16)，其设置在上述处理容器(14)内，用于载置上述被处理体；和原料气体供给部(18)，其与上述处理容器(14)连接，向上述处理容器(14)内供给包含含锰的有机金属材料或含锰的金属配位化合物材料的原料气体成膜方法包括：将被处理体收容在能够形成真空的处理容器(14)内部的工序；和在上述处理容器(14)内部，使用包含含锰的有机金属材料或含锰的金属配位化合物材料的原料气体，利用CVD法在上述被处理体表面形成锰膜的工序
装置方法

[发明专利]成膜装置-CN201010133561.0有效
发明人：加藤寿;本间学;菊地宏之 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2010-03-15 - 公布日： 2010-09-15 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种成膜装置。该成膜装置包括：载置台，其设在真空容器内且具有沿着以该载置台的中心部为中心的圆而形成的基板的载置区域；主气体供给部，其为了将反应气体供给到上述载置台的上述载置区域，与上述载置台相对设置；补偿用气体供给部，其为了对由上述主气体供给部供给的反应气体的在上述载置台的半径方向上的气体浓度分布进行补偿而将上述反应气体供给到上述载置台的表面上；旋转机构，其用于使上述载置台以该载置台的中心部为旋转轴而绕铅垂轴线相对于上述主气体供给部和补偿用气体供给部进行相对旋转
装置

[发明专利]成膜装置以及使用该成膜装置的成膜方法-CN201480030615.7有效
发明人：濑川利规;石山敦;藤井博文 -专利权人：株式会社神户制钢所
申请日： 2014-05-15 - 公布日： 2017-08-04 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明提供一种制冷剂泄漏的风险大幅度降低且能够提高冷却效率的成膜装置以及成膜方法。成膜装置(1)包括冷却部(4)、旋转台主体(11)、升降机构(5)以及制冷剂配管(6)，其中，冷却部(4)在腔室(2)的空间(2e)内冷却工件(W)，旋转台主体(11)在工件(W)被载置的状态下以垂直轴为中心旋转，且具有载置冷却部(4)的冷却部载置部(21)和被配置成包围该冷却部载置部(21)的周围且载置工件(W)的工件载置部(22)，升降机构(5)使冷却部(4)在空间(2e)内在第一位置与第二位置之间升降，第一位置是冷却部(4)被载置于旋转台主体(11)位置，第二位置是冷却部(4)从该旋转台主体(11)向上方隔开距离且与被载置于工件载置部(22)的工件(W)的侧面相向的位置，制冷剂配管(6)被安装于腔室(2)，且以能够装拆的方式连接于冷却部
装置以及使用方法

[发明专利]成膜装置和成膜方法-CN201510090158.7在审
发明人：佐佐木贵博;织田真也;人罗俊实 -专利权人： FLOSFIA株式会社
申请日： 2015-02-27 - 公布日： 2016-10-05 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：提供一种成膜速率好，雾CVD法可以适用的成膜装置。该成膜装置，具备将原料溶液进行化或液滴化的雾化·液滴化部、以载气将在所述雾化·液滴化部产生的雾或液滴运送到基体的运送部、以及对该雾或该液滴进行热处理而于该基体上成膜的成膜部；成膜部是圆筒形，在成膜部侧面设置有所述雾或所述液滴的送入口，使所述雾或所述液滴旋回而产生旋回流；在成膜部顶面具有排气口。
装置方法

[发明专利]一种MicroLED面板覆膜装置及使用方法-CN202110915361.9有效
发明人：潘安练;李梓维 -专利权人：湖南大学
申请日： 2021-08-10 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： B05C9/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种MicroLED面板覆膜装置及使用方法，该装置包括箱体、盖板和钝化反应台，盖板与装置箱体可开合连接，盖板下表面中间设有环形密封圈体，装置箱体上安装有控制面板、钝化反应台、抽真空管路；钝化反应台包括可旋转的载物台，载物台有阵列孔，孔与反应台底部的空气管路连通，反应台底部设有电机，牵引载物台转动。本发明提供的MicroLED面板覆膜装置及使用方法有利于量子点在MicroLED面板成膜制造应用时隔绝水氛从而提高成膜的稳定性。
一种 microled 面板装置使用方法