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- [发明专利]一种快速脱膜的大跨度撕膜机-CN202210584406.3在审
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梅魁;吕太平
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安徽歆坤智能装备科技有限公司
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2022-05-27
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2022-07-29
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B65G69/00
- 本发明公开了一种快速脱膜的大跨度撕膜机，包括承载框架，所述承载框架外部上端的一侧位置固定安装有一级载板，所述一级载板外部上端的内侧位置固定安装有推送支架，所述一级载板的外部边侧固定安装有二级载板，所述二级载板外部上端的中间位置固定安装有第一裁切支架，所述第一裁切支架的内侧位置固定安装有第一掀膜支架，所述第一掀膜支架的内侧位置固定安装有脱膜支架，所述一级载板和二级载板的上端均固定安装有限位辅助杆。该快速脱膜的大跨度撕膜机，工作跨度大，自动化程度高，能够减少人工辅助作业，降低生产成本，且通过采用多机构相互关联的联合式结构，并增设了柔性调节结构，使该撕膜机能够适用于多种规格的产品，扩大了适用范围。
- 一种快速跨度撕膜机
- [发明专利]电镜阵列载网的制备方法-CN202010189490.X有效
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郭振玺;裴霞;邵博
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北京大学
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2020-03-18
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2021-10-01
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H01J37/20
- 本发明公开了电镜阵列载网的制备方法，S1：制备电镜载网的膜板；S2：在电镜载网的膜板上制备芳华膜；S3：在制备完芳华膜的电镜载网上根据需要喷碳膜得到碳膜的模板；S4：将带有碳膜的模板放入装有水的烧杯中，芳华膜与水作用，会自动从模板上脱落下来，等待碳膜全部漂浮在水面上时，从烧杯中取出碳膜；S5：用镊子将200～400目的载网放在碳膜上；S6：把载玻片裹上一层封口膜，把载玻片对准芳华膜，迅速把载玻片插入水中，捞出载网；S7：阵列碳膜制备完成，放入样品盒中保存；解决了以往方法制备出的产品成本高、订货周期长、可改良性差的问题。
- 阵列制备方法
- [发明专利]成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造装置和制造方法-CN201911161936.1在审
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铃木健太郎
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佳能特机株式会社
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2019-11-25
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2020-07-21
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C23C14/04
- 本发明提供用于在降低因颗粒、润滑剂引起的污染的同时，进一步改善基板与掩模之间的位置调整的精度的成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造装置和制造方法。成膜装置是用于隔着掩模在基板上对成膜材料进行成膜的成膜装置，包括：真空容器；基板支承部件，设在真空容器内，用于支承基板；掩模支承部件，设在真空容器内，用于支承掩模；磁悬浮载置台机构，设在真空容器内，能调整与基板支承部件的支承面平行的第1方向、与第1方向交叉且与基板支承部件的支承面平行的第2方向、和以与第1方向以及第2方向这两者交叉的第3方向为中心的旋转方向上的基板支承部件的位置；以及成膜源，设在真空容器内，用于收纳成膜材料并将成膜材料粒子化而放出
- 装置方法以及电子器件制造
- [发明专利]成膜方法和成膜装置-CN201110303097.X有效
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布重裕;山崎英亮
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东京毅力科创株式会社
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2011-09-29
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2012-05-02
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C23C16/452
- 本发明提供一种成膜方法和成膜装置。其通过在反应速率控制区域引起成膜反应，即使是径深比大的接触孔也能够更薄地形成覆盖率良好的钛膜，降低接触孔的电阻。该成膜装置包括：基座(112)，用于载置基板(W)；簇射头(120)，用于将处理气体供给到处理室(111)内；高频电源(143)，用于以规定的功率将用于生成等离子体的高频电供给于簇射头；排气装置(152)，用于对处理室内进行排气而使处理室内减压到规定的压力；控制部(190)，其通过对还原气体的流量、处理室内的压力、高频电的功率中的任意一种条件进行改变，对上述反应速率控制区域进行控制，使得欲应用于钛膜的成膜处理中的成膜气体的流量进入成膜处理的反应速率控制区域
- 方法装置
- [实用新型]一种供料装置及接膜机-CN202320143063.7有效
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王厚璋;董祖平
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深圳市拓腾兴科技有限公司
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2023-01-12
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2023-09-19
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B65H21/00
- 本实用新型涉及膜料制备技术领域，特别涉及一种供料装置及接膜机，供料装置包括载料台和取料机构，载料台包括承载板和设置在承载板相对两侧的挡板，承载板和挡板之间界定一容纳槽，容纳槽用于容置待对接膜料；取料机构设置于载料台一侧，包括可相对承载板在垂直和平行于承载板两个方向移动的吸料头，吸料头可伸入容纳槽中抓取待对接膜料。可以理解，载料台能够平稳放置膜料，而取料机构需要对膜料进行抓取，通过载料台平稳放置膜料便于取料机构对正抓取的配合关系，保证了取料机构能够稳定地抓取在载料台上放置的膜料，从而为接膜机后续的工序提供膜料，解决了现有设备不能稳定传送膜料的问题
- 一种供料装置接膜机
- [发明专利]成膜装置以及成膜方法-CN202111412037.1在审
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小畑雄治;冈部庸之
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东京毅力科创株式会社
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2021-11-25
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2022-06-10
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C23C16/455
- 本发明提供一种能够以高精度检测基板附近的压力的成膜装置以及成膜方法。根据本发明的一个方式的成膜装置具有:处理容器,其能够对内部进行减压；喷头,其用于向上述处理容器内供给气体,该喷头包括形成有多个气体孔的下部件、以及在与该下部件之间形成用于使上述气体扩散的扩散空间的上部件；载置台,其与上述喷头相对配置,并且在与上述喷头之间形成处理空间；升降机构,其用于使上述载置台进行升降；筒状部,其贯通上述喷头而与上述处理空间连通；以及压力传感器,其以气密的方式设于上述筒状部的内部,用于对上述处理空间的压力进行测定
- 装置以及方法
- [实用新型]一种新型同向双载带包装设备-CN202123087096.4有效
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姚文政;杨远红;姚文朝;唐磊
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深圳辉欧达科技有限公司
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2021-12-08
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2022-05-13
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B65B51/16
- 本实用新型公开了一种新型同向双载带包装设备，包括固定板，固定板正面的上端固定连接有支撑板，固定板正面的下端固定连接有收纳箱，收纳箱的左侧设置有载带轮，载带轮的表面活动连接有载带本体。本实用新型通过固定板，用于稳定支撑收纳箱和支撑板的效果，通过载带轮，用于对载带本体进行放置，通过连接杆，用于对覆膜轮进行稳定支撑，通过覆膜轮，用于放置密封膜，通过密封膜，用于对电子产品进行密封包装，通过固定架，用于对电动推杆、活动板、连接板和压合辊进行稳定支撑，通过电动推杆，用于带动活动板上下运动，通过活动板用于带动连接板和压合辊向下运动，通过压合辊，用于对密封膜和载带本体进行压实紧密。
- 一种新型同向双载带包装设备
- [发明专利]PVD沉积膜的方法-CN202310658328.1在审
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陈伟
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通威太阳能（金堂）有限公司
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2023-06-05
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2023-09-01
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C23C14/54
- 本申请提供一种PVD沉积膜的方法，属于PVD沉积膜技术领域。该PVD沉积膜的方法包括循环使用N组载板承载基材并进行沉积膜，到第一预设条件时，使用新的一组载板替换工艺腔中循环使用次数最多的一组载板，以此类推，使工艺腔中N组载板的循环使用总次数始终位于[M×(N‑1其中，膜的材质能够吸水的材质，N为≥2的自然数，a为0～M次，M为≥30的自然数，第一预设条件为工艺腔中的水汽值大于预设水汽值，或/和新的载板循环使用次数达到M次。该方法可以通过工艺腔中的载板使膜沉积在一个较为稳定的水汽范围进行，以使不同批次的膜沉积更加均匀，使不同批次的膜性能也较为稳定。
- pvd沉积方法
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