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[发明专利]成膜装置和成膜方法-CN202110614529.2在审
发明人：反田雄太;齐藤哲也;大仓成幸;古屋雄一;原正道 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-06-02 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： C23C16/16 文献下载
摘要：本公开提供一种成膜装置和成膜方法，能够进行抑制了微粒的影响的成膜。在基板上形成膜的成膜装置具有：腔室；基板载置台，其设置于腔室内，载置基板并且将基板保持为成膜温度；气体供给部，其供给包含成膜原料气体的气体；气体喷出构件，其与基板载置台相向地设置，具有用于喷出从气体供给部供给的包含成膜原料气体的气体的气体喷出区；以及过滤器，其以覆盖气体喷出构件的同与基板载置台相向的相向面相反一侧的面的至少气体喷出区的方式设置，所述过滤器使包含成膜原料气体的气体通过来捕获包含成膜原料气体的气体中的微粒。
装置方法

[实用新型]一种膜材配向角测量装置-CN202221795042.5有效
发明人：王何杰;袁明;宋尚金 -专利权人：江苏日久光电股份有限公司
申请日： 2022-07-12 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种膜材配向角测量装置，包括框体，所述框体内依次设置有用于放置偏光片的第一偏光片载板、用于放置膜材的膜材载板以及用于放置偏光片的第二偏光片载板，所述第一偏光片载板、膜材载板以及第二偏光片载板彼此平行设置且分别开设有通光孔其中，所述膜材载板上还设置有旋转组件以及与旋转组件相配合的刻度示数，所述旋转组件可被驱动地带动所述膜材载板上的膜材转动。本实用新型能够快速且准确测量出膜材与偏光片之间的配向角，大大提高膜材的生产效率，且整体结构简单，维护成本低。
一种膜材配测量装置

[发明专利]化学气相沉积法制备薄膜的装置-CN200510100091.7无效
发明人：董才士 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2005-09-30 - 公布日： 2007-04-04 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明涉及一种化学气相沉积法制备薄膜的装置，其包括一炉管、一用于加热该炉管的加热装置及一设置于该炉管内用于放置待成膜基底的载具；其中该载具与该炉管径向成一锐角设置。
化学沉积法制薄膜装置

[发明专利]成膜载具以及太阳能电池的制作方法-CN201810993338.X有效
发明人：陈桂栋;张淳;盛健;蔡文浩;董建文;麻增智;杨亚娣;吕加先;顾文操;钱小立;马志杰;尚严鑫 -专利权人：协鑫集成科技股份有限公司
申请日： 2018-08-29 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请涉及一种用于承载待处理基片，成膜载具包括至少一个承载层，承载层包括载台以及限位框，载台用于与基片的一面贴合，限位框由载台贴合基片的一侧凸起，同一承载层的载台与限位框围设成至少一个基片容置空间，基片容置空间用于容置基片膜载具通过设置载台以及限位框而形成了基片容置空间。太阳能电池制作过程中，将基片的第一面与载台贴合。因此，本申请提供的成膜载具以及太阳能电池的制作方法可以有效提高太阳能电池的性能。
成膜载具以及太阳能电池制作方法

[发明专利]按键开关的制造方法和按键开关-CN201280045602.8无效
发明人：田代直;塘启祐;藤林实 -专利权人：达泰豪化学工业株式会社
申请日： 2012-09-20 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： H01H11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种用于在膜的两面一体地形成键顶和键柱的按键开关的制造方法。准备用于成形键顶(2)的具有第一成形凹部(7)的第一成形模(5)，在上述第一成形凹部(7)填充紫外线固化树脂(10)后载置透光性基材膜(1)，并透过上述基材膜(1)照射光，由此在基材膜(1)的一面形成键顶(2)，在形成有上述键顶(2)的基材膜(，1)的另一面形成不透光性印刷层(3)，准备用于成形键柱(4)的具有第二成形凹部(8)的透光性第二成形模(6)，在上述第二成形凹部(8)填充紫外线固化树脂(10)后载置形成有键顶(2)的基材膜(1)，透过上述第二成形模(6)照射光，由此在基材膜(1)的印刷层形成面形成键柱(4)。
按键开关制造方法

[实用新型]一种IC载板切割膜及该种膜的载膜台-CN201920918749.2有效
发明人：束从凯 -专利权人：昆山云松电子材料有限公司
申请日： 2019-06-18 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种IC载板切割膜及该种膜的载膜台，切割膜包括UV解粘胶水和PET基材，所述IC载板切割膜设置在IC载板的顶部，所述PET基材通过UV解粘胶水与IC载板，载膜台包括固定平台和活动平台，活动平台通过一个电动伸缩杆在固定平台的内部上下移动本实用新型，在IC载板切割生产时，由于UV解粘前具有粘力，有效达到贴合后切割防止飞溅，载膜台能够在切割过程结束后将活动平台升起，更加方便工作人员对有效区域的擦拭和清洗。
一种 ic 切割载膜台

[发明专利]全自动成袋包装机-CN202110507993.1有效
发明人：吴明清;范永建;董征莲;张宏伟 -专利权人：山东交通职业学院
申请日： 2021-05-11 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： B65B41/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种全自动成袋包装机，包括机架，所述机架上依次设有供膜装置、袋尾处理装置、开口装置、撑袋装置和填装装置，所述机架上位于所述供膜装置和所述开口装置之间设有膜袋牵拉装置，所述机架上位于所述开口装置和所述撑袋装置之间设有预撑套袋装置，所述机架上位于所述撑袋装置的来袋侧设有成袋载台，所述成袋载台与所述机架之间设有成袋转输装置，所述机架上位于所述撑袋装置和所述成袋载台之间设有袋头处理装置。
全自动成袋包装机

[发明专利]半导体成膜方法和半导体器件的制造方法-CN202310926905.0在审
发明人：龚丽;邱方林;崔楠;王巧巧;尹秀珍;宋传贵;陶国航 -专利权人：北京燕东微电子科技有限公司
申请日： 2023-07-26 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L21/316 文献下载
摘要：本申请实施例涉及半导体技术领域，具体涉及一种半导体成膜方法和半导体器件的制造方法，该半导体成膜方法包括：向放置有待成膜半导体在制品的反应腔室中通入氧源以及由载气携带的硅源，使氧源与硅源反应，在待成膜半导体在制品表面形成氧化硅薄膜该半导体成膜方法，解决了目前沟槽型半导体产品加工过程中化学气相沉积工艺的成膜质量较差的技术问题。
半导体方法半导体器件制造

[发明专利]显示面板贴膜装置-CN201910204003.X在审
发明人：浦佳;胡同新;陈前祎;程亮;王耀 -专利权人：武汉精毅通电子技术有限公司
申请日： 2019-03-18 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： B65B33/02 文献下载
摘要：本发明涉及显示面板组装技术领域，公开了一种显示面板贴膜装置，包括基座、载台及覆膜板；载台可相对基座在平移轴线上平移地设置在基座上，覆膜板可相对基座绕翻转轴线翻转地设置在基座上；覆膜板包括吸膜板、滚轮及保护膜限位件，吸膜板真空吸附单片保护膜，滚轮设置在吸膜板的边缘上，保护膜限位件设置在吸膜板上以约束保护膜在吸膜板上的位置使保护膜的边缘置于滚轮；覆膜板翻转至与载台上的显示面板贴合时，载台相对基座平移使滚轮遍历保护膜，滚轮向载台上承载的显示面板上压紧保护膜。本发明的显示面板贴膜装置采用覆膜板翻转与载台平移相结合的方式对显示面板进行覆贴保护膜，既解决了手工贴膜方式的问题，也规避自动贴膜装置的问题。
保护膜显示面板覆膜板吸膜板滚轮载台平移贴膜装置翻转限位件自动贴膜装置翻转轴线平移轴线真空吸附遍历单片覆贴贴合贴膜压紧组装承载

[实用新型]显示面板贴膜装置-CN201920342811.8有效
发明人：浦佳;胡同新;陈前祎;程亮;王耀 -专利权人：武汉精毅通电子技术有限公司
申请日： 2019-03-18 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： B65B33/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及显示面板组装领域，公开了一种显示面板贴膜装置，包括基座、载台及覆膜板；载台可相对基座在平移轴线上平移地设置在基座上，覆膜板可相对基座绕翻转轴线翻转地设置在基座上；覆膜板包括吸膜板、滚轮及保护膜限位件，吸膜板真空吸附单片保护膜，滚轮设置在吸膜板的边缘上，保护膜限位件设置在吸膜板上以约束保护膜在吸膜板上的位置使保护膜的边缘置于滚轮；覆膜板翻转至与载台上的显示面板贴合时，载台相对基座平移使滚轮遍历保护膜，滚轮向载台上承载的显示面板上压紧保护膜。本实用新型的显示面板贴膜装置采用覆膜板翻转与载台平移相结合的方式对显示面板进行覆贴保护膜，既解决了手工贴膜方式的问题，也规避自动贴膜装置的问题。
显示面板装置

[实用新型]一种用于手机保护膜的载膜自动撕膜装置-CN202222839733.7有效
发明人：徐碧玉;王添;郑志鹏;邵应强;刘煌坤;吴超;熊同强;王可畏 -专利权人：湖北金誉智能科技有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B65B33/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于手机保护膜的载膜自动撕膜装置，属于手机保护膜加工技术领域。包括载具机构和撕膜机构，载具机构包括载膜平台、第一气缸、偏转机构、第一真空吸盘；撕膜机构包括直线模组、第一安装座、第二安装座、第三气缸、第四气缸、第二真空吸盘，载膜平台和第一真空吸盘吸附工件下部，偏转机构驱动第一真空吸盘吸附工件下部一侧旋转，第一气缸驱动载膜平台移动，第三气缸驱动第二安装座使第二真空吸盘吸附工件，第四气缸驱动第二真空吸盘向上后方旋转，使工件一侧呈人字形，直线模组驱动第一安装座向后移动。本实用新型可在不改变来料状态和无额外耗材的情况下快速撕掉载膜上的离型膜，具有自动化程度高及生产成低等优点。
一种用于手机保护膜自动装置

[发明专利]半导体装置的制造方法-CN202210486201.1在审
发明人：宫下耕平 -专利权人：住友电工光电子器件创新株式会社
申请日： 2022-05-06 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： C30B25/14 文献下载
摘要：半导体装置的制造方法具有以下工序：将第一基座装配于成膜装置；测定所述第一基座的翘曲的大小；根据所述测定出的第一基座的翘曲的大小设定第一初始成膜条件来作为所述成膜装置的成膜条件；以及将多个第一晶片载置于所述第一基座之上，在所述多个第一晶片以所述成膜条件形成第一膜，设定所述第一初始成膜条件的工序具有从储存有数据库的记录介质读出所述第一初始成膜条件的工序，所述数据库包括使基座的翘曲的大小与形成第一膜时的初始成膜条件建立了对应的多个数据
半导体装置制造方法

[发明专利]成膜装置及成膜方法-CN201110312237.X无效
发明人：菱谷克幸;本间学;冈部庸之 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2011-10-14 - 公布日： 2012-05-16 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种成膜装置及成膜方法。该成膜装置在容器内设有用于划分出成膜空间的、由耐腐蚀性比构成容器的材料的耐腐蚀性优良的材料制作而成的分区构件，该成膜空间包含：配置在容器内、用于载置基板的旋转台；用于向旋转台供给第1反应气体的第1反应气体供给部该成膜装置包括用于测量成膜空间压力的压力测量部、及用于测量成膜空间的外侧空间的压力的压力测量部，通过这些测量，成膜空间的外侧空间的压力被维持为稍高于成膜空间压力的压力。
装置方法

[发明专利]成膜装置和成膜方法-CN202110096134.8在审
发明人：加藤寿;石井亨;瀬下裕志;佐瀬雄一郎 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-01-25 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明涉及成膜装置和成膜方法。提供能够形成高品质的半导体膜的技术。本公开的一技术方案的成膜装置具有：旋转台，其设于真空容器内；载置台，其沿着所述旋转台的周向设置，用于载置基板；处理区域，在该处理区域，朝向所述旋转台的上表面供给处理气体；热处理区域，其沿着所述旋转台的周向与所述处理区域分离开地配置
装置方法

[发明专利]一种宠物用自微乳化口腔速溶膜剂及其制备方法-CN201811318427.0在审
发明人：刘威加;刘为峰 -专利权人：四川卫萌生物科技有限公司
申请日： 2018-11-07 - 公布日： 2019-01-11 - 主分类号： A61K9/70 文献下载
摘要：本发明涉及一种宠物用自微乳化口腔速溶膜剂及其制备方法。其中，宠物用自微乳化口腔速溶膜剂包含药物活性成分、自微乳成分、成膜材料、增塑剂、崩解剂、增稠剂、调味剂。宠物用自微乳化口腔速溶膜剂的制备方法：将成膜材料溶在溶剂中配置成胶液备用；将药物活性成分、油相、乳化剂、助乳化剂搅拌混匀，制得载药自微乳体系；将上述胶液与载药自微乳体系混合后，搅拌下加入增塑剂、崩解剂、增稠剂及调味剂，使其完全混合均匀；所得浆液除去气泡后涂布成膜，干燥后脱膜，并按要求切割分装既得。本发明所提供的宠物用自微乳化口腔速溶膜剂具有崩解时间短，起效迅速，生物利用度高的优点，提高宠物服药顺应性的同时，增进了药物的有效吸收。
口腔速溶膜宠物自微乳化自微乳制备成膜材料药物活性崩解剂调味剂增稠剂增塑剂载药生物利用度搅拌混匀体系混合有效吸收助乳化剂成胶液乳化剂顺应性溶剂崩解成膜分装胶液起效脱膜服药备用切割配置

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