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- [发明专利]一种IC载板去膜剂及其应用-CN202110322792.4有效
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吴春丽;石宗武
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深圳市点石源水处理技术有限公司
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2021-03-25
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2022-03-18
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C11D1/10
- 本发明公开了一种IC载板去膜剂及其应用，属于去膜工艺技术领域。本发明所述IC载板去膜剂产品的组分中，去膜剂A中的无机碱可直接断裂IC载板上的覆盖膜，而有机碱则可令膜层发生溶胀，在渗透剂的协同辅助下可使膜层全面脱落且不会发生卷曲粘留；去膜剂B组分可实现产品载板上微观结构的渗透，同时保护这些微观结构不被损伤或脱落的膜层粘连；通过两种去膜剂的搭配，所得产品可实现对IC载板上膜的高效去除。本发明还公开了所述产品在去除IC载板上的膜上的应用，该产品应用时无需使用其他辅助设备或添加额外预处理工序，采用直接浸泡的方式即可实现对线路上膜层的完整去除，所述去除效率高且不会损坏载板上的线路。
- 一种ic载板去膜剂及其应用
- [发明专利]喷淋板及成膜装置-CN202180040790.4在审
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小畑雄治
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东京毅力科创株式会社
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2021-06-02
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2023-01-31
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C23C16/455
- 提供一种喷淋板,其具有设于处理容器的上部的板状部件,多个第一孔部,其与上述喷淋板内的第一流路连通；喷淋板具有:多个第一腔室阀,其设于多个上述第一孔部；多个第二孔部,其与上述喷淋板内的第二流路连通；多个第二腔室阀,其设于多个上述第二孔部；多个第三孔部,其以与多个上述第一孔部以及多个上述第二孔部对应的方式设于上述板状部件；以及多个第三腔室阀,其设于多个上述第三孔部,多个上述第一腔室阀、多个上述第二腔室阀以及多个上述第三腔室阀为压电元件
- 喷淋装置
- [实用新型]石墨烯膜压延设备-CN202320548260.7有效
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张艳;钟起权;江海;王乾龙;罗善发
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深瑞墨烯科技（福建）有限公司
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2023-03-20
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2023-07-07
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B29C43/24
- 本申请涉及石墨烯导热膜技术领域，尤其涉及一种石墨烯膜压延设备，石墨烯膜压延设备包括压延机体及安装于压延机体上的压延载板；压延载板的至少部分表面设有排气结构，排气结构为形成于压延载板的表面上的凸起，相邻凸起之间形成压延载板的排气通道；或排气结构为凹陷形成于压延载板的表面的凹槽，凹槽为压延载板的排气通道。本申请提供的石墨烯膜压延设备，通过在承载石墨烯膜的压延载板上设置排气结构，使得石墨烯膜在压延过程中，即使石墨烯膜与压延载板贴合，层压的石墨烯膜之间的气泡也可通过排气结构形成的排气通道排出，极大的改善了石墨烯膜在压延过程中的排泡问题，提高了石墨烯膜的制备良率。
- 石墨压延设备
- [实用新型]一种新型背胶机-CN202021261566.7有效
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崔朋军;史恩恒;张伟锋
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郑州普瑞捷电子科技有限公司
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2020-07-02
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2021-03-23
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B29C63/02
- 本实用新型涉及一种新型背胶机，它包括支架，支架由支架一和支架二组成，支架两侧分别固定有前支板和后支板，支架一和支架二的中部通过工作台连接，工作台中部设置有下压膜辊，后支板下部旋转连接有收件杆，下压膜辊的上方设置有载膜杆和带升降机构的上压膜辊，前支板上旋转连接有载件杆，收件杆两端通过快装机构安装在后支板的U型槽内，快装机构包括与U型槽后部匹配的轴承和螺栓，工作台后侧铰接在支架上，工作台前侧下部设置有支撑机构，支撑机构包括支撑架、带把手的转盘、拉簧、上连杆、下连杆和支撑板；本实用新型具有安装快捷、操作方便的优点。
- 一种新型背胶机
- [发明专利]成膜方法-CN201910022599.1有效
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木原嘉英;横山乔大
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东京毅力科创株式会社
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2019-01-10
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2022-06-21
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C23C16/455
- 本发明提供一种在形成于被处理基片上的图案上成膜的成膜方法，其中，该被处理基片被配置在载置台上，所述载置台设置在能够在减压环境下进行等离子体处理的空间内，在该空间中配置有与该载置台相对的能够被供给高频电力的上部电极该成膜方法在对被处理基片的主面的多个区域中的每个区域执行了调节该被处理基片的所述主面的温度的步骤之后，反复执行包括第一步骤和第二步骤的流程，即：第一步骤，在被处理基片的所述图案上形成沉积膜；第二步骤，仅对上部电极供给电力来在空间中产生等离子体由此，不论进行成膜的等离子体处理的进展程度如何，都能够使被处理基片上的膜的形成方式相同。
- 方法
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