[发明专利]一种手动光刻机的预对准方法及预对准装置在审
| 申请号： | 201711269784.8 | 申请日： | 2017-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN109870885A | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 王金翠;苏建;徐现刚;肖成峰;郑兆河 | 申请（专利权）人： | 山东华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 王楠 |
| 地址： | 250101 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种手动光刻机的预对准方法及预对准装置，属于手动光刻机设备领域，装置包括掩膜版架和承片台；掩膜版架上设有掩膜版卡槽，掩膜版卡槽与掩膜版尺寸相同，将掩膜版放置在掩膜版卡槽里面；掩膜版卡槽中部中空，中空区为曝光区；承片台上表面设有芯片放置槽，将芯片放置在芯片放置槽里面，芯片放置槽在水平面的投影包括圆弧边和两个相邻直角边，两个直角边分别为芯片小边对准边和芯片大边对准边。两个卡槽的位置可以保证掩膜版上面的对位标记和芯片上面的对位标记基本重合，减小光刻过程中每次放置芯片的偏差，减小光刻过程中芯片图形与光刻版图形的精对准需要的时间，起到了比较好的预对准的作用，提高光刻机的曝光生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 光刻机 卡槽 芯片放置槽 预对准 芯片 预对准装置 对位标记 光刻过程 对准边 减小 光刻版图形 卡槽中部 设备领域 生产效率 相邻直角 芯片放置 承片台 精对准 曝光区 圆弧边 直角边 中空区 中芯片 重合 承片 大边 小边 中空 投影 曝光 保证 | ||
【主权项】：
1.一种手动光刻机的预对准装置，其特征在于，包括掩膜版架和承片台；掩膜版架上设有掩膜版卡槽，掩膜版卡槽与掩膜版尺寸相同，掩膜版卡槽中部中空，中空区为曝光区；承片台上表面设有芯片放置槽，芯片放置槽在承片台的中间位置；芯片放置槽在水平面的投影包括圆弧边和两个相邻直角边，两个直角边分别为芯片小边对准边和芯片大边对准边。
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- LDI外层对位方法及装置-201611061208.X
- 刘洋 - 天津津芯微电子科技有限公司
- 2016-11-25 - 2019-05-14 - G03F9/00
- 本发明提供了一种LDI外层对位方法及装置，涉及光刻直写曝光机及投影显示的技术领域，其中，一种LDI外层对位方法，包括以下步骤：获取置于工作台上的PCB板的至少两个对位孔实际坐标；获取电子图纸中与所述实际对位孔相对应的对位孔图纸坐标；通过所述对位孔实际坐标和所述对位孔图纸坐标计算所述电子图纸的校正参数，根据所述校正参数对电子图纸进行校正；将所述PCB板反转，重复执行上述步骤。解决了现有技术中存在的LDI外层对位精度较低、操作复杂的技术问题，达到了对位方法简单，而且精确度较高的技术效果。
- 一种用于步进器的场图像对其部-201821174938.5
- 周杰;张琪 - 安徽睿芯半导体科技有限公司
- 2018-07-24 - 2019-05-07 - G03F9/00
- 本实用新型涉及一种用于步进器的场图像对其部，包括晶片装载台、第一马达、第二马达、装载台中继基板、自动对焦中继基板、系统测试单元和LED水银灯，晶片装载台顶部固定连接有与晶片装载台相适配的对焦面，晶片装载台底部通过装载台中继基板双向连接有系统测试单元，系统测试单元一侧双向连接有自动对焦中继基板，自动对焦中继基板顶部通过自动对焦传感器连接有受光器，受光器底端两侧分别连接有第二马达和校正器，晶片装载台顶部连接有晶片，晶片上方靠近对物镜头上连接有投影镜头，投影镜头一端通过投影标记连接有折返镜头，折返镜头两端分别连接有交互式CCD相机和LED水银灯。有益效果：有效的提高对准焦点和水准测量精度，使用性强。
- 专利分类
