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- [发明专利]一种调焦调平检测装置-CN201710773193.8有效
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杨宣华;王海江
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上海微电子装备(集团)股份有限公司
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2017-08-31
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2020-12-11
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G03F7/20
- 本发明提供了一种调焦调平检测装置,包括包括投影单元、探测单元和智能控制单元,所述投影单元发出入射光线入射到待测物表面形成区域测量标记,所述待测物将入射光线反射,形成携带有待测物表面信息的反射光线进入所述探测单元,所述智能控制单元对经过探测单元处理的反射光线进行再处理,得出所述待测物的位置信息。本发明所提供的调焦调平检测装置,区域测量标记可以覆盖待测物上一个区域,而不仅仅是单点,实现了区域测量,提高了效率,并且根据不同待测物可以采用不同大小的区域测量标记,从而提高了测量的准确性;并且采用智能控制单元,实现了实时测量。
- 一种调焦检测装置
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