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专利名称

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公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]加工装置及移动体的制造方法-CN202310099446.3在审
发明人：白石雅之;川辺喜雄;立崎阳介;柴崎祐一 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2017-10-25 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： B23K26/352 文献下载
摘要：本发明提供一种加工装置及移动体的制造方法。加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射多个加工光(EL)；及第一变更装置(1121、12)，变更与物体的表面交叉的方向上的多个加工光的聚光位置(FP)的相对位置关系；且通过对物体的表面照射加工光而变更物体的一部分的厚度。
加工装置移动制造方法

[发明专利]加工装置及移动体的制造方法-CN202310097391.2在审
发明人：白石雅之;川辺喜雄;立崎阳介;柴崎祐一 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2017-10-25 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： B23K26/142 文献下载
摘要：本发明提供一种加工装置及移动体的制造方法。加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射多个加工光(EL)；及第一变更装置(41e)，变更来自光照射装置的多个加工光的在物体的表面上的强度分布；且通过对物体的表面照射多个加工光而变更物体的一部分的厚度。
加工装置移动制造方法

[发明专利]基板处理系统及基板处理方法-CN202010504124.9有效
发明人： 柴崎祐一 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2016-02-23 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明的光刻系统(1000)，具备：测量被保持在第1载台的基板上的多个标记的位置信息的测量装置(100)、将结束了标记的位置信息的测量的基板载置于第2载台上并进行测量该基板上的多个标记中所选择的部分标记的位置信息的对准测量及曝光的曝光装置(200)。测量装置系测量基板上多数个标记的位置信息以求出多个区划区域的排列的修正量的高次成分，曝光装置则测量该基板上少数个标记的位置信息以求出多个区划区域的排列的修正量的低次成分，并使用所求出的低次成分与使用测量装置求出的高次成分，一边控制基板的位置、一边使多个区划区域曝光。
处理系统方法

[发明专利]加工装置、移动体的制造方法及加工方法-CN202310654693.5在审
发明人：白石雅之;江上茂树;川辺喜雄;立崎阳介;柴崎祐一 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2017-10-25 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B23K26/04 文献下载
摘要：本发明提供一种加工装置、移动体的制造方法及加工方法。加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射加工光(EL)；及控制装置(18)，使用物体的表面特性相关的信息控制光照射装置。
加工装置移动制造方法

[发明专利]测量装置、光刻系统、曝光装置、测量方法、曝光方法以及元件制造方法-CN202010107493.4有效
发明人： 柴崎祐一 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2016-02-23 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种测量装置、光刻系统、曝光装置、测量方法、曝光方法以及元件制造方法，该测量装置(100)具备可保持基板(W)与XY平面平行移动的滑件(10)、驱动滑件的驱动系统、可从读头部(32)对设置于滑件具有格子部(RG1)的测量面照设多条光束并接收该多条光束各个的来自测量面的返回光束以测量滑件的包含绝对位置坐标的至少3自由度方向的位置信息的位置测量系统(30)、检测基板上的标记的标记检测系统(MDS)以及一边控制滑件的驱动并一边使用标记检测系统分别检测基板上的多个标记一边根据各标记的检测结果与检测时的位置测量系统的测量信息求出各标记的绝对位置坐标的控制装置。
测量装置光刻系统曝光测量方法方法以及元件制造

[发明专利]测量装置、光刻系统、曝光装置、测量方法以及曝光方法-CN202010107659.2有效
发明人： 柴崎祐一 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2016-02-23 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供一种测量装置、光刻系统、曝光装置、测量方法以及曝光方法，该测量装置(100)具备可保持基板(W)与XY平面平行移动的滑件(10)、驱动滑件的驱动系统、可从读头部(32)对设置于滑件具有格子部(RG1)的测量面照设多条光束并接收该多条光束各个的来自测量面的返回光束以测量滑件的包含绝对位置坐标的至少3自由度方向的位置信息的位置测量系统(30)、检测基板上的标记的标记检测系统(MDS)以及一边控制滑件的驱动并一边使用标记检测系统分别检测基板上的多个标记一边根据各标记的检测结果与检测时的位置测量系统的测量信息求出各标记的绝对位置坐标的控制装置。
测量装置光刻系统曝光测量方法以及方法

[发明专利]测量装置、曝光装置、光刻系统、测量方法及曝光方法-CN202010107660.5有效
发明人： 柴崎祐一 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2016-02-23 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供一种测量装置、曝光装置、光刻系统、测量方法及曝光方法，该测量装置(100)具备可保持基板(W)与XY平面平行移动的滑件(10)、驱动滑件的驱动系统、可从读头部(32)对设置于滑件具有格子部(RG1)的测量面照设多条光束并接收该多条光束各个的来自测量面的返回光束以测量滑件的包含绝对位置坐标的至少3自由度方向的位置信息的位置测量系统(30)、检测基板上的标记的标记检测系统(MDS)以及一边控制滑件的驱动并一边使用标记检测系统分别检测基板上的多个标记一边根据各标记的检测结果与检测时的位置测量系统的测量信息求出各标记的绝对位置坐标的控制装置。
测量装置曝光光刻系统测量方法方法

[发明专利]数据生成方法、造型受托方法、数据生成装置、显示装置、造型方法、计算机程序及存储介质-CN202080105819.8在审
发明人： 柴崎祐一 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2020-10-06 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B29C64/386 文献下载
摘要：本发明的数据生成方法包含如下步骤：使可供用户进行操作以设定规定物体的形状的参数的输入画面、及能够显示基于用户使用输入画面设定的参数而得的三维模型的输出画面显示在显示装置；当基于用户使用输入画面设定的参数而得的三维模型为无法利用造型装置造型的形状时，使提醒用户重新设定参数的显示内容显示在所述显示装置的所述显示画面上；及基于用户重新设定的参数，生成表示物体的三维模型的模型数据。
数据生成方法造型受托装置显示装置计算机程序存储介质

[发明专利]造形装置及造形方法-CN202010004724.9有效
发明人： 柴崎祐一 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2014-11-14 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： B22F3/105 文献下载
摘要：造形装置，其具备：光束造形系统(500)，具有包含射出光束的聚光光学系统(82)的光束照射部(520)、以及供给被来自前述光束照射部(520)的光束照射的造形材料的材料处理部(530)；以及控制装置，根据形成于对象面上的三维造形物的3D数据控制工件的移动系统与光束造形系统(500)，以一边使工件(W)(或载台(12))上的对象面(TAS)与来自光束照射部(520)的光束相对移动、一边从材料处理部(530)供给造形材料据以对对象面上的目标部位(TA)施加造形。并且，能变更在聚光光学系统的射出面侧的既定面(MP)内的光束的强度分布。因此，能将加工精度良好的三维造形物形成于对象面上。
造形装置方法

[发明专利]加工装置及加工方法-CN202211693469.9在审
发明人：白石雅之;江上茂树;川辺喜雄;立崎阳介;柴崎祐一 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2017-10-25 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明提供一种加工装置及加工方法。加工装置包括：光照射装置，包括对物体的表面照射加工光的照射光学系统；第一位置变更装置，具有偏向光学系统，使用偏向光学系统变更从照射光学系统的加工光的物体的表面上的照射位置；第二位置变更装置，变更光照射装置与物体的位置关系；及控制装置，其中控制装置以移动在物体的表面上的第一区域内的照射位置而对表面照射加工光并在第一区域内形成多个槽构造的方式控制第一位置变更装置，控制装置以变更物体的位置关系而移动在物体的表面上的与第一区域不同的第二区域内的照射位置的方式控制第二位置变更装置，控制装置以对表面照射加工光而在第二区域内形成多个槽构造的方式控制第一位置变更装置。
加工装置方法

[发明专利]加工装置及移动体的制造方法-CN201780096205.6有效
发明人：白石雅之;川辺喜雄;立崎阳介;柴崎祐一 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2017-10-25 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： B23K26/06 文献下载
摘要：加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射多个加工光(EL)；及第一变更装置(1121、12)，变更与物体的表面交叉的方向上的多个加工光的聚光位置(FP)的相对位置关系；且通过对物体的表面照射加工光而变更物体的一部分的厚度。
加工装置移动制造方法

[发明专利]加工装置及移动体的制造方法-CN201780096207.5有效
发明人：白石雅之;川辺喜雄;立崎阳介;柴崎祐一 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2017-10-25 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射多个加工光(EL)；及第一变更装置(41e)，变更来自光照射装置的多个加工光的在物体的表面上的强度分布；且通过对物体的表面照射多个加工光而变更物体的一部分的厚度。
加工装置移动制造方法

[发明专利]加工装置及移动体的制造方法-CN201780096206.0有效
发明人：白石雅之;江上茂树;川辺喜雄;立崎阳介;柴崎祐一 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2017-10-25 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射加工光(EL)；第一位置变更装置(12、15、1122)，变更通过光照射装置而形成于物体的表面的照射区域(EA)及物体的至少一者的位置；及控制装置(18)，以如下方式控制第一位置变更装置，即，一面变更照射区域及物体的至少一者的位置，一面对物体的表面照射加工光而变更物体的一部分的厚度，由此形成用于减小物体的表面的相对于流体的摩擦阻力的构造。
加工装置移动制造方法

[发明专利]造形装置及造形方法-CN202010004930.X有效
发明人： 柴崎祐一 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2014-11-14 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： B22F3/105 文献下载
摘要：造形装置，其具备：光束造形系统(500)，具有包含射出光束的聚光光学系(82)的光束照射部(520)、以及供给被来自前述光束照射部(520)的光束照射的造形材料的材料处理部(530)；以及控制装置，根据形成于对象面上的三维造形物的3D数据控制工件的移动系统与光束造形系统(500)，以一边使工件(W)(或载台(12))上的对象面(TAS)与来自光束照射部(520)的光束相对移动、一边从材料处理部(530)供给造形材料据以对对象面上的目标部位(TA)施加造形。并且，能变更在聚光光学系的射出面侧的既定面(MP)内的光束的强度分布。因此，能将加工精度良好的三维造形物形成于对象面上。
造形装置方法

[发明专利]加工装置及加工方法-CN202211383731.X在审
发明人： 柴崎祐一 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2018-04-26 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： B23K26/067 文献下载
摘要：本发明的加工装置具备：第1载台系统，其具有载置工件(W)的平台(12)，且使保持于平台的工件移动；光束照射系统(500)，其包含射出光束(LB)的聚光光学系统(530)；以及控制装置，其控制第1载台系统及照射系统；一边使平台与来自聚光光学系统的光束相对移动，一边对工件的目标部位进行加工，且可变更聚光光学系统的射出面侧的第1面(MP)上的光束的强度分布、及聚光光学系统的光轴(AX)方向上的位置与第1面不同的第2面上的光束的强度分布的至少一者。
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