[发明专利]半导体封装模具、半导体器件及半导体器件的封装方法有效
申请号: | 201710931404.6 | 申请日: | 2017-10-09 |
公开(公告)号: | CN109637939B | 公开(公告)日: | 2020-08-18 |
发明(设计)人: | 陈彧 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L23/31 |
代理公司: | 上海德禾翰通律师事务所 31319 | 代理人: | 侯莉 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种半导体封装模具、半导体器件及半导体器件的封装方法。半导体封装方法包括提供封装基板,多个芯片堆叠于封装基板;将封装模具覆盖芯片,使芯片容纳腔容纳所有的芯片,且芯片容纳腔的轮廓表面形状与堆叠的芯片的轮廓表面形状相适应;通过注射孔向芯片容纳腔内部注入封装材料。芯片容纳腔与堆叠芯片的外轮廓表面相贴合使得后续形成的封装材料厚度较薄且均匀,避免了芯片和封装材料发生翘曲。 | ||
搜索关键词: | 半导体 封装 模具 半导体器件 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体封装模具,其特征在于,包括:壳体,允许多个堆叠的芯片通过的开口;和设置于所述壳体中的芯片容纳腔,所述芯片容纳腔的轮廓与多个堆叠的所述芯片相适应,所述芯片容纳腔的轮廓至少一个沿所述芯片容纳腔深度方向的截面的形状包括与所述开口相对应的底边、与所述芯片容纳腔顶部相对应的顶边以及分别连接所述底边与所述顶边对应端点的两侧边,所述顶边的长度小于所述底边的长度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造