专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]多元合金薄膜的制备装置及其制备方法-CN201711125054.0有效
  • 吴晓斌;罗艳;王宇;王魁波;谢婉露;张罗莎;张立佳 - 中国科学院光电研究院
  • 2017-11-14 - 2018-11-13 - C23C14/28
  • 本发明涉及多元合金薄膜的制备装置及其制备方法,制备装置包括连接有真空泵组的腔室、多个用于盛放高纯金属液的金属液容器、用于放置沉积基片的可转动基座、多个产生双脉冲激光的激光器组、基座控制器和数据采集控制单元,数据采集控制单元采集可转动基座的温度和位移信息,并控制脉冲加压设备的加压频率和多个激光器组的双脉冲激光的射出频率和能量,实现等离子体薄膜沉积的自动控制;基座控制器通过数据采集控制单元收集的基座的温度和位移信息。本发明的制备装置和方法,可以快速地制备高低熔点相差较大的多元合金薄膜、多元合金的气体化合物薄膜、化学成分梯度变化的薄膜和厚度方向合金比例任意变化的多元合金薄膜。
  • 多元合金薄膜制备装置及其方法

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