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[发明专利]位置敏感探测器的位置测量标定方法及装置-CN202310232405.7在审
发明人：曹冰倩;卢增雄;李璟;苏佳妮 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本公开提供了一种位置敏感探测器的位置测量标定方法及装置，该方法包括：将位置敏感探测器固定在精密位移台上，生成激光束照射位置敏感探测器，激光光束与位置敏感探测器的光敏面垂直；在移动路径上按预设的移动步长移动位置敏感探测器，采集位置敏感探测器在不同位置响应激光束产生的模拟电压，得到模拟电压与位置敏感探测器的位置之间的转换系数；采用不同的移动步长，重复上述步骤，得到多个转换系数；基于多个转换系数计算修正系数；基于修正系数对转换系数进行误差修正，将误差修正后的转换系数用于位置测量标定。该方法使用的装置简单，容易操作，对位置敏感探测器的位置信息的标定系数进行了修正，提高了位置探测的精确性。
位置敏感探测器测量标定方法装置

[实用新型]一种用于装配式建筑的底板连接扣件-CN202220154185.1有效
发明人：靖森;李华;李尚仁;苏佳妮;谢垚;胡向远 -专利权人：中建七局建筑装饰工程有限公司
申请日： 2022-01-20 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： E04F15/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于装配式建筑的底板连接扣件，属于建筑扣件技术领域，该用于装配式建筑的底板连接扣件包括扣件主体，扣件主体的表面对称开设有两个方孔；卡接孔，其设有两个，两个卡接孔分别开设于两个方孔的内壁；固定机构，其设有两组，两组固定机构分别设于两个卡接孔内，每组固定机构均包括上卡接块、下卡接块和楔入块，上卡接块和下卡接块均滑动连接于卡接孔内，通过本装置，有效提高本装置与地板之间的连接强度以及稳固性，使地板不易变形脱落，提高地板的使用效率。
一种用于装配式建筑底板连接扣件

[发明专利]一种能够降低光程差的偏振分光棱镜-CN202011341828.5有效
发明人：马敬;卢增雄;齐月静;李璟;苏佳妮;胡丹怡 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-11-25 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G02B27/28 文献下载
摘要：本公开提供一种能够降低光程差的偏振分光棱镜，包括：第一直角棱镜，包括第一直角棱镜主体，以及形成于所述第一直角棱镜主体表面的第一直角面、第二直角面、第一偏振分光面，所述第一偏振分光面表面镀有偏振分光膜；第二直角棱镜，包括第二直角棱镜主体，以及形成于所述第二直角棱镜主体表面的第三直角面、第四直角面、第二偏振分光面，所述第二偏振分光面表面镀有偏振分光膜；以及胶合层，设置于相对设置的所述第一偏振分光面和所述第二偏振分光面之间。
一种能够降低光程偏振分光棱镜

[发明专利]一种衍射光栅结构及其制备方法-CN202010594124.2有效
发明人：杨光华;齐月静;李璟;苏佳妮;马敬 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本公开提供了一种衍射光栅结构，包括多个重复的周期结构，每一周期结构包括至少一个栅脊和一个栅槽，其中：每一周期结构由中心位置向外均包括多个部分，每一部分为栅脊或者栅槽，当部分为栅槽时其深度满足预设条件。另一方面，本公开还提供了一种衍射光栅结构的制备方法。通过合理的设置栅槽的位置和深度，使得第7衍射级不仅具有较强的衍射效率，同时所有偶衍射级衍射效率均为0，较好的解决了现有的衍射光栅中存在偶衍射级尤其是较强的零衍射级的问题。
一种衍射光栅结构及其制备方法

[发明专利]文件危害级别的确定方法、装置、电子设备及介质-CN202011351052.5在审
发明人：刘晓辉;王强;张雪娟;王子杰;苏佳妮;魏恩军;杜梦欣;齐向东;吴云坤 -专利权人：奇安信科技集团股份有限公司;网神信息技术（北京）股份有限公司
申请日： 2020-11-26 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： G06F21/55 文献下载
摘要：一种文件危害级别的确定方法、装置、电子设备及介质，方法包括：获取需要确定危害级别的待判定文件的信息和待判定文件的运行平台所属对象的信息。确定数据库中是否存在与待判定文件名称匹配的第一样本文件。数据库中预先存储有：样本文件库中的样本文件与危害级别的映射关系，危害级别为样本文件由默认规则集和N个个性规则集分别处理后得到，N≥1，N个个性规则集属于不同的对象。如果数据库中存在第一样本文件，则根据映射关系和待判定文件的运行平台所属对象的信息确定待判定文件由运行平台所属对象对应的规则集处理后得到的危害级别，运行平台所属对象对应的规则集为默认规则集或个性规则集。
文件危害级别确定方法装置电子设备介质

[发明专利]光学系统主光轴的调试方法-CN202210000823.9在审
发明人： 苏佳妮;齐月静;卢增雄;李璟;高斌;马敬 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-01-04 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： G02B27/62 文献下载
摘要：本公开提供一种光学系统主光轴的调试方法，用于不包含测试板的光学系统，包括：使用辅助小孔辅助调节自准直仪出射光束的方向并使之与光学平台平行；调节第一转向光学元件，使其出射光束的方向与自准直仪出射光束的方向垂直；调节第二转向光学元件，使其出射光束的方向与第一转向光学元件出射光束的方向垂直且与光学平台平行；安装待测光学系统的外壳至第一转向光学元件和第二转向光学元件之间，安装第一反射元件至主光轴靠近第二转向光学元件的一端；调节外壳两侧的调节机构，直至经第一反射元件反射的光斑与自准直仪出射的光斑重合，确定待测光学系统的主光轴的位置。本公开还提供一种用于包含测试板的光学系统主光轴的调试方法。
光学系统主光轴调试方法

[发明专利]用于光学系统调焦调平的检测装置及方法-CN202210000822.4在审
发明人： 苏佳妮;卢增雄;齐月静;李璟;高斌;陈进新 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-01-04 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本公开提供一种用于光学系统调焦调平的检测装置，该检测装置沿光路方向依次包括：光源、第一PBS棱镜、1/4波片、测试板、1/2波片、分光棱镜和探测器；其中，光源发射的S偏振光被第一PBS棱镜反射至1/4波片，1/4波片将S偏振光转变为圆偏振光，圆偏振光透过待测光学系统，被测试板反射，再次透过待测光学系统返回进入1/4波片，1/4波片将圆偏振光转变为P偏振光；P偏振光透过第一PBS棱镜进入1/2波片，被1/2波片调整偏振方向后进入分光棱镜；分光棱镜的上半部和下半部分别将调整偏振方向后的P偏振光进行多次反射后于同一出光面输出；探测器检测上半部和下半部输出光的位置，并根据该位置对待测光学系统进行调平。
用于光学系统调焦检测装置方法

[发明专利]多干涉仪组合应用安装调整装置-CN202111351425.3在审
发明人：齐威;李璟;杨光华;陈进新;卢增雄;齐月静;苏佳妮 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-11-15 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：本发明涉及精密机械技术领域，提供了一种多干涉仪组合应用安装调整装置，包括：载物台；干涉仪组，包括分别位于载物台的前侧、左侧和后侧的第一干涉仪、第二干涉仪和第三干涉仪，载物台上分别相对第一干涉仪和第三干涉仪的位置上设有第一反射镜和第二反射镜，第一反射镜和第二反射镜的正上方分别设置有第一Z向反射镜和第二Z向反射镜；光路传播部，包括第一光路传播路径、第二光路传播路径和第三光路传播路径，入射光分别沿第一光路传播路径、第二光路传播路径和第三光路传播路径进入第一干涉仪、第二干涉仪和第三干涉仪，第一干涉仪的出射光束经第一反射镜反射至第一Z向反射镜，第三干涉仪的出射光束经第二反射镜反射至第二Z向反射镜。
干涉仪组合应用安装调整装置

[发明专利]样本回扫方法及装置、电子设备、存储介质-CN202111373672.3在审
发明人： 苏佳妮;魏恩军;袁瑞峰;李振博 -专利权人：奇安信科技集团股份有限公司;网神信息技术（北京）股份有限公司
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： G06V10/774 文献下载
摘要：本申请提供一种样本回扫方法及装置、电子设备、计算机可读存储介质，方法包括：响应于回扫指令，生成回扫配置信息；其中，所述回扫配置信息包括样本筛选策略，所述样本筛选策略用于筛选出扫描结果预期发生变化的样本；基于所述样本筛选策略，筛选出多个历史样本；对筛选出的每一历史样本进行扫描，获得每一历史样本对应的扫描结果。本申请方案，可以精准筛选出扫描结果可能发生变化的历史样本，并可在计算资源占用量较少的情况下完成回扫任务。
样本方法装置电子设备存储介质

[发明专利]六自由度调整装置-CN202111358639.3在审
发明人：齐威;李璟;陈进新;苏佳妮;丁敏侠;武志鹏 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-11-16 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种六自由度调整装置，涉及精密机械技术领域。该六自由度调整装置包括线性调整模块(1)，用于实现待调整光学元件在X向、Y向和Z向的位移调整；角度调整模块(2)，设置于线性调整模块(1)的下部，用于实现待调整光学元件在Theta X向、Theta Y向和Theta Z向的角度调整。本发明的线性调整模块(1)包络于角度调整模块(2)的上部，形成内外嵌套的结构形式。同时，线性调整模块(1)采用内外嵌套的形式，并向下扩展逐渐包络角度调整模块(2)。本发明采用了多层包络相互嵌入的方式，在对待调整光学元件进行六自由度精密定位的同时，提高了装置空间体积的紧凑性。
自由度调整装置

[发明专利]一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置-CN201910224154.1有效
发明人：齐威;孟璐璐;宗明成;齐月静;李璟;王宇;卢增雄;杨光华;张清洋;苏佳妮;陈进新 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-03-22 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： G01D5/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置，涉及光学性能参数检测技术领域，所述装置包括：微环境控制模块，所述微环境控制模块包括上层气浴单元和下层气浴单元，其中，所述上层气浴单元位于所述检测装置的上层，所述下层气浴单元位于所述上层气浴单元下方；带有隔振器的光学检测台架，所述带有隔振器的光学检测台架设置在所述上层气浴单元和所述下层气浴单元之间；位移台模块，所述位移台模块位于所述微环境控制模块下方，与所述微环境控制模块和所述带有隔振器的光学检测台架相互独立。达到了阻断微环境控制模块所产生的振动，实现检测环境的绝对安静，提高检测精度的技术效果。
一种具有振动隔离嵌套结构检测装置

[发明专利]高稳定偏振保持合束装置及方法-CN201911212132.X有效
发明人：卢增雄;李璟;齐月静;折昌美;杨光华;齐威;苏佳妮;马敬 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-11-28 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： G02B6/26 文献下载
摘要：一种偏振保持合束装置，所述合束装置包括若干光源、N个单模保偏光纤、N个光纤准直器、光纤耦合器和合束棱镜；其中，若干光源分别发出不同波长的线偏振光，分别耦合入N个单模保偏光纤中传输，并经过N个光纤准直器后输出不同波长的线偏振准直光束并进入合束棱镜，经合束棱镜合束后，通过光纤耦合器耦合入单模保偏光纤中，再经过光纤准直器后输出包含不同波长的一束偏振准直光。本发明的高稳定偏振保持合束装置及方法，可将多束不同波长的线偏振光合成一束含不同波长的同轴输出光束，且多个波长光束的偏振态保持高度一致。
稳定偏振保持束装方法

[发明专利]一种穿板密封装置-CN201910218695.3有效
发明人：齐威;孟璐璐;王宇;齐月静;李璟;杨光华;宗明成;卢增雄;陈进新;张清洋;苏佳妮 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-03-21 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： F16L5/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种穿板密封装置，应用于微环境控制系统，包括：密封板；偏心圆板设置在所述密封板的通孔内侧，偏心圆板上表面具有一偏心圆通孔，侧面具有凹槽；转接法兰设置在密封板通孔与偏心圆板之间，将所述偏心圆板与所述密封板进行连接；通光管道与所述偏心圆板连接，所述通光管道的一端设置在所述偏心圆板的偏心圆通孔内；卡销机构设置在所述密封板上靠近所述通孔处，通过所述卡销机构控制所述偏心圆板转动。解决采用固定结构进行密封，装拆不便捷，不适用于位置需要切换场合的技术问题，达到了既不影响密封性，又具有切换与装拆快速方便的特点，同时利用法兰结构将圆周密封转换为端面密封，降低工程难度，密封效果更佳的技术效果。
一种密封装置

[发明专利]一种气浴装置-CN201910218702.X有效
发明人：齐威;孟璐璐;齐月静;王宇;宗明成;李璟;陈进新;卢增雄;杨光华;张清洋;苏佳妮 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-03-21 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： F24F13/06 文献下载
摘要：本发明实施例提供的一种气浴装置，包括：基板；气浴模组，所述气浴模组的上表面与所述基板连接，其中，所述气浴模组包括多个气浴单元，所述多个气浴单元首尾相连通，构成中心位置具有第一通孔的所述气浴模组；托板，所述托板位于所述气浴模组的下表面，将所述气浴模组于所述基板进行固定连接。解决了现有技术中紧凑的气浴单元管道密布占用过多空间，且气流容易形成遮挡，造成工作环境的流场紊乱，进而影响温度、气压等参数的均匀度的技术问题。达到了减少管道多杂带来的空间占用与安装问题，多个气浴单元组合后相互联通，形成大面积的静压腔室，提高了气流均匀度的技术效果。
一种装置

[发明专利]一种活动密封装置-CN201910218689.8有效
发明人：齐威;孟璐璐;李璟;齐月静;宗明成;王宇;杨光华;陈进新;苏佳妮;张清洋;卢增雄 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-03-21 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： E06B7/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种活动密封装置，应用于具有密封要求和活动开口的系统，包括：活动门，活动门设置在所述系统的腔体外侧，对所述腔体进行密封；十字转盘，十字转盘设置在所述活动门的中心位置，与所述活动门可转动连接；拉杆机构，拉杆机构的一端分别经过所述活动门的四个顶角处与所述腔体连接，另一端所述十字转盘连接；压紧机构，压紧机构设置在所述活动门内侧，位于所述活动门四周边缘处，对腔体进行压紧密封。解决现有技术中活动门密封效果不佳，使用的端面密封存在压力不均匀和压力弱的技术问题，达到了通过一个转盘带动活动门四周的压紧机构同时压紧，保证活动门周边的密封压紧同步性和均匀性，密封效果佳的技术效果。
一种活动密封装置

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