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[发明专利]用于光学元件性能检测的试验台及试验台安装方法-CN201810053466.6有效
发明人：齐威;齐月静;王宇;卢增雄;李兵 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2018-01-19 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G01M11/04 文献下载
摘要：本发明属于光学元件性能检测设备技术领域，具体涉及一种用于光学元件性能检测的试验台及试验台安装方法。该试验台包括基座和工件台，所述基座用于支撑所述工件台并能够带动所述工件台共同移动，所述工件台上设有横向调节单元，所述基座包括支撑板，所述支撑板的下方设有可移动单元，所述可移动单元和所述支撑板之间设有高度调节单元，所述支撑板的上方的两个对称面上设有纵向调节单元，所述试验台的左、右两侧机架上均设有纵向限位单元。通过使用本发明所述的用于光学元件性能检测的试验台及试验台安装方法，能够为工件台提供一个可调节的安装基准面，同时装置本身具有能够实现平移运动，在工件台搬运过程中无需借助外部工具，简化了搬运过程。
用于光学元件性能检测试验台安装方法

[发明专利]位置敏感探测器的位置测量标定方法及装置-CN202310232405.7在审
发明人：曹冰倩;卢增雄;李璟;苏佳妮 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本公开提供了一种位置敏感探测器的位置测量标定方法及装置，该方法包括：将位置敏感探测器固定在精密位移台上，生成激光束照射位置敏感探测器，激光光束与位置敏感探测器的光敏面垂直；在移动路径上按预设的移动步长移动位置敏感探测器，采集位置敏感探测器在不同位置响应激光束产生的模拟电压，得到模拟电压与位置敏感探测器的位置之间的转换系数；采用不同的移动步长，重复上述步骤，得到多个转换系数；基于多个转换系数计算修正系数；基于修正系数对转换系数进行误差修正，将误差修正后的转换系数用于位置测量标定。该方法使用的装置简单，容易操作，对位置敏感探测器的位置信息的标定系数进行了修正，提高了位置探测的精确性。
位置敏感探测器测量标定方法装置

[发明专利]第9衍射级衍射效率增强的相位光栅结构-CN202110084778.5有效
发明人：杨光华;李璟;丁敏侠;卢增雄;齐月静 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-01-21 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G01D5/38 文献下载
摘要：本发明提出五种第9衍射级次增强的相位光栅结构，该结构不仅具有较强的第9级衍射效率，同时所有偶衍射级次衍射效率均缺级，较好的解决了目前主要采用AH53中存在较强的零级以及其他偶衍射级次，并且第9衍射级次衍射效率低的问题，因此，本发明的相位光栅结构可以提高系统的测量精度。
衍射效率增强相位光栅结构

[发明专利]一种能够降低光程差的偏振分光棱镜-CN202011341828.5有效
发明人：马敬;卢增雄;齐月静;李璟;苏佳妮;胡丹怡 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-11-25 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G02B27/28 文献下载
摘要：本公开提供一种能够降低光程差的偏振分光棱镜，包括：第一直角棱镜，包括第一直角棱镜主体，以及形成于所述第一直角棱镜主体表面的第一直角面、第二直角面、第一偏振分光面，所述第一偏振分光面表面镀有偏振分光膜；第二直角棱镜，包括第二直角棱镜主体，以及形成于所述第二直角棱镜主体表面的第三直角面、第四直角面、第二偏振分光面，所述第二偏振分光面表面镀有偏振分光膜；以及胶合层，设置于相对设置的所述第一偏振分光面和所述第二偏振分光面之间。
一种能够降低光程偏振分光棱镜

[发明专利]大口径紧凑型索雷-巴比涅补偿器装置-CN202011367433.2有效
发明人： 卢增雄;李璟;齐月静;齐威;折昌美;王朋辉 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： G02B26/00 文献下载
摘要：本公开提供了一种大口径紧凑型索雷‑巴比涅补偿器装置，包括：晶体光学元件、晶体光学元件运动部件、外壳、底座和促动器，促动器安装在外壳的侧边安装块上，促动器推动晶体光学元件运动部件上的横杠，带动长光楔和承载面一起沿外壳的中心轴线做相对运动，使长光楔和短光楔的总厚度相对平行平板的厚度发生变化，进而改变从外壳的通孔中传输光束的偏振态。本公开促动器安装在索雷‑巴比涅补偿器装置的外壳上的侧边安装块上，有效减小补偿器的长度。
口径紧凑型补偿装置

[发明专利]一种衍射光栅的设计方法及系统-CN202010594125.7有效
发明人：李璟;杨光华;卢增雄;张清洋;丁敏侠 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本公开提供了一种衍射光栅的设计方法及系统，方法包括：S1，获得衍射光栅衍射光的零衍射级和高衍射级的衍射效率增强和缺级的条件；S2，根据零衍射级缺级的第一条件获得衍射光栅的槽深；S3，根据高衍射级增强的条件获得衍射光栅的栅脊宽度和栅脊之间的距离；S4，将步骤S3获得的结构复制并进行对称设置，以使高衍射级的偶衍射级缺级。该方法根据需要增强的衍射级次，选择相应的栅级和栅槽的宽度和位置，不需要将整个光栅结构均设置为优化条件进行优化，避免了大量计算。
一种衍射光栅设计方法系统

[发明专利]自参考干涉仪棱镜的退偏补偿方法-CN202011374250.3有效
发明人：徐孟南;卢增雄;齐月静;李璟;谢冬冬;马敬 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： G01B9/02055 文献下载
摘要：本公开提供了一种自参考干涉仪棱镜的退偏补偿方法，包括：自参考干涉仪棱镜中作为反射面的屋脊面一、屋脊面二、底面一、屋脊面三、屋脊面四和底面二上镀有反射面膜层；根据反射面膜层的光学参数，计算其折射率；入射光入射到自参考干涉仪棱镜和反射面膜层的分界面时，分解为P偏振分量和S偏振分量，根据反射面膜层和自参考干涉仪棱镜的折射率，计算出射光的P偏振分量和S偏振分量在自参考干涉仪棱镜内反射产生的相位差和光强；出射光的椭圆度和光强作为评价参数，评价自参考干涉仪棱镜的退偏补偿效果。本公开通过偏振光的琼斯矩阵追迹并以出射光的椭圆度和光强作为评价参数，为反射面膜层参数的优化和效果评价提供了依据和实际可操作性。
参考干涉仪棱镜补偿方法

[发明专利]光学系统主光轴的调试方法-CN202210000823.9在审
发明人：苏佳妮;齐月静;卢增雄;李璟;高斌;马敬 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-01-04 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： G02B27/62 文献下载
摘要：本公开提供一种光学系统主光轴的调试方法，用于不包含测试板的光学系统，包括：使用辅助小孔辅助调节自准直仪出射光束的方向并使之与光学平台平行；调节第一转向光学元件，使其出射光束的方向与自准直仪出射光束的方向垂直；调节第二转向光学元件，使其出射光束的方向与第一转向光学元件出射光束的方向垂直且与光学平台平行；安装待测光学系统的外壳至第一转向光学元件和第二转向光学元件之间，安装第一反射元件至主光轴靠近第二转向光学元件的一端；调节外壳两侧的调节机构，直至经第一反射元件反射的光斑与自准直仪出射的光斑重合，确定待测光学系统的主光轴的位置。本公开还提供一种用于包含测试板的光学系统主光轴的调试方法。
光学系统主光轴调试方法

[发明专利]用于光学系统调焦调平的检测装置及方法-CN202210000822.4在审
发明人：苏佳妮;卢增雄;齐月静;李璟;高斌;陈进新 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-01-04 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本公开提供一种用于光学系统调焦调平的检测装置，该检测装置沿光路方向依次包括：光源、第一PBS棱镜、1/4波片、测试板、1/2波片、分光棱镜和探测器；其中，光源发射的S偏振光被第一PBS棱镜反射至1/4波片，1/4波片将S偏振光转变为圆偏振光，圆偏振光透过待测光学系统，被测试板反射，再次透过待测光学系统返回进入1/4波片，1/4波片将圆偏振光转变为P偏振光；P偏振光透过第一PBS棱镜进入1/2波片，被1/2波片调整偏振方向后进入分光棱镜；分光棱镜的上半部和下半部分别将调整偏振方向后的P偏振光进行多次反射后于同一出光面输出；探测器检测上半部和下半部输出光的位置，并根据该位置对待测光学系统进行调平。
用于光学系统调焦检测装置方法

[发明专利]一种调校装置及其调校方法-CN202111428098.7在审
发明人：王朋辉;李璟;陈进新;卢增雄;马敬;齐威 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-11-26 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： G02B7/18 文献下载
摘要：本公开提供了一种调校装置，包括：底座；棱镜定位模块，设置于底座上，包括：下棱镜定位模块和上棱镜定位模块，其中，下棱镜定位模块用于将下棱镜进行定位，并使下棱镜的胶合面保持水平状态；上棱镜定位模块用于将上棱镜定位，并使上棱镜的胶合面与下棱镜的胶合面贴合。本公开还提供了一种调校方法。
一种调校装置及其方法

[发明专利]多干涉仪组合应用安装调整装置-CN202111351425.3在审
发明人：齐威;李璟;杨光华;陈进新;卢增雄;齐月静;苏佳妮 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-11-15 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：本发明涉及精密机械技术领域，提供了一种多干涉仪组合应用安装调整装置，包括：载物台；干涉仪组，包括分别位于载物台的前侧、左侧和后侧的第一干涉仪、第二干涉仪和第三干涉仪，载物台上分别相对第一干涉仪和第三干涉仪的位置上设有第一反射镜和第二反射镜，第一反射镜和第二反射镜的正上方分别设置有第一Z向反射镜和第二Z向反射镜；光路传播部，包括第一光路传播路径、第二光路传播路径和第三光路传播路径，入射光分别沿第一光路传播路径、第二光路传播路径和第三光路传播路径进入第一干涉仪、第二干涉仪和第三干涉仪，第一干涉仪的出射光束经第一反射镜反射至第一Z向反射镜，第三干涉仪的出射光束经第二反射镜反射至第二Z向反射镜。
干涉仪组合应用安装调整装置

[发明专利]一种调制和解调信号的同步控制方法以及装置-CN202111189694.4在审
发明人：马会娟;李璟;卢增雄;杨光华;张清洋;陈进新 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-10-12 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本公开提供调制和解调信号的同步控制方法以及装置，调制和解调信号的同步控制方法包括获取外部同步脉冲以及时钟信号，形成同步信号根据所述同步信号，控制产生调制信号以及控制采集解调信号。在本公开提供的技术方案中，使用同步采集机制，可同时控制解调采集信号和调制信号输出，具有灵活的网络拓扑结构，能够完成测控系统光电信号精确的同步控制和高精度并行计算；同步信号输入到FPGA模块内，由FPGA模块进行控制，FPGA模块收到外同步信号后，同时控制解调信号采集和调制信号输出。对光信号的同步调制产生以及解调信号采集能够实现同步控制。
一种调制解调信号同步控制方法以及装置

[发明专利]数据处理方法及装置-CN201911211405.9有效
发明人：李璟;武志鹏;赵晓东;卢增雄;折昌美;谢冬冬 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：一种数据处理方法，应用于集成电路技术领域，包括：利用双通道交替采集光强信号，对该双通道采集到的光强信号分别进行解调、滤波和归一化处理，得到多个数据包，利用并行计算方法，对各数据包分别进行数据拟合，得到各数据包的对准标记位置值，对该各数据包的对准标记位置值进行位置数据融合，得到对准位置。本申请还公开了一种光刻机对准系统，可提高对准位置解算的精度和计算速度。
数据处理方法装置

[发明专利]小波阈值去噪方法、装置、设备及介质-CN202111139317.X在审
发明人：勾钺;卢增雄;齐月静;李璟;胡丹怡;卢越峰 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-09-27 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： G06T5/00 文献下载
摘要：本公开提供一种小波阈值去噪方法，包括：获取待去噪信号及理想信号；初始化去噪参数，利用去噪参数对待去噪信号进行去噪，得到第一噪声信号；计算待去噪信号与理想信号之间的均方误差作为第一适应度；计算第一噪声信号与理想信号之间的均方误差作为第二适应度；比较第一适应度及第二适应度，若第二适应度小于第一适应度，更新去噪参数，利用更新后的去噪参数对待去噪信号进行去噪，得到第二噪声信号；计算第二噪声信号与理想信号之间的均方误差，作为第三适应度；比较第三适应度及第二适应度，若第三适应度小于第二适应度，更新去噪参数进行去噪及适应度计算，以此迭代，直至获得最小适应度；利用最小适应度对应的去噪参数对待去噪信号进行去噪。
阈值方法装置设备介质

[发明专利]一种多波长光束处理装置及方法-CN202111200452.0在审
发明人：王朋辉;李璟;陈进新;卢增雄;高斌;齐威 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-10-14 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： G02B27/10 文献下载
摘要：本公开提供了一种多波长光束处理装置，包括：至少一个光束处理子装置，光束处理子装置用于对多波长光束进行合束或分束处理，包括：一主光束准直器、至少两个分光束准直器及至少两个透反射组件，其中，当光束处理子装置用于多波长光束合束时，多波长的分光束分别经过对应的分光束准直器进行准直后，经过至少一个透反射组件进行反射或透射后分别输出至主光束准直器进行合束并输出；当光束处理子装置用于多波长光束分束时，多波长的主光束经过主光束准直器进行准直后，经过对应的至少一个透反射组件进行反射或透射后分别输出至对应的分光束准直器输出。本公开还提供了一种多波长光束处理方法。
一种波长光束处理装置方法

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