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[发明专利]投影物镜-CN202011119052.2有效
发明人：郭银章 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2020-10-19 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种投影物镜，通过一柔性结构将补偿镜固定在第一气体密封腔的一端口，在外部气压发生变化时，补偿镜片在压力差的驱动下在轴向微动位移，通过补偿镜片在光轴方向微动位移对应的投影物镜的倍率变化，对外部气压变化引起的投影物镜的倍率误差进行实时自动补偿相比于现有技术通过高精度电机和传感器驱动补偿镜片实现轴向微动位移的方式，本发明驱动补偿镜片实现轴向微动位移的驱动力来源于气体压力差，投影物镜中驱动和控制补偿镜片的机械结构简单，加工要求和成本较低，降低了投影物镜的结构复杂性，提高了投影物镜的整体可靠性。
投影物镜

[发明专利]投影物镜-CN200810216441.X无效
发明人：李方红;汤波;韩政伟 -专利权人：深圳市科创数字显示技术有限公司
申请日： 2008-09-28 - 公布日： 2010-03-31 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：一种投影物镜，包括：一镜头、一平面反光镜及一曲面反光镜，平面反光镜设于镜头的光轴上并与镜头的光轴成45°；曲面反光镜设于平面反光镜的反射光轴上并与镜头的光轴成90°。本发明投影物镜具有投影距短、视场角大、离轴量大的特点，使用在前投影中可以使得观看图像场所的空间限制相对较小，使用在背投影数字电视中可以使电视的厚度减小，并且轻巧方便。
投影物镜

[发明专利]投影物镜-CN03124929.9无效
发明人：京特·贝内迪克斯;埃伯哈德·皮勒 -专利权人：卡尔蔡司耶拿有限公司
申请日： 2003-09-19 - 公布日： 2004-05-12 - 主分类号： G02B15/14 文献下载
摘要：一种投影物镜，具有可变焦距，优选地用于成象转镜矩阵或反射和/或发射LCD，所述投影物镜包括布置在共同光轴(2)上的三组透镜(G1、G2、G3)，其中从面对投影屏幕(1)的一侧开始，用于聚焦的第一组透镜(
投影物镜

[发明专利]投影物镜-CN200710086282.1无效
发明人：京特·贝内迪克斯;埃伯哈德·皮勒 -专利权人：司普罗光学有限公司
申请日： 2003-09-19 - 公布日： 2008-01-30 - 主分类号： G02B15/177 文献下载
摘要：一种投影物镜，具有可变焦距，优选地用于成像转镜矩阵或反射和/或发射LCD，所述投影物镜包括布置在共同光轴(2)上的三组透镜(G1、G2、G3)，其中从面对投影屏幕(1)的一侧开始，用于聚焦的第一组透镜(
投影物镜

[实用新型]投影物镜-CN200820212347.2有效
发明人：李方红;汤波;韩政伟 -专利权人：深圳市科创数字显示技术有限公司
申请日： 2008-09-28 - 公布日： 2009-07-08 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：一种投影物镜，包括：一镜头、一平面反光镜及一曲面反光镜，平面反光镜设于镜头的光轴上并与镜头的光轴成45°；曲面反光镜设于平面反光镜的反射光轴上并与镜头的光轴成90°。本实用新型投影物镜具有投影距短、视场角大、离轴量大的特点，使用在前投影中可以使得观看图像场所的空间限制相对较小，使用在背投影数字电视中可以使电视的厚度减小，并且轻巧方便。
投影物镜

[发明专利]投影物镜-CN01803871.9无效
发明人：沃尔夫冈·赖内克;H·林格 -专利权人：格丁根光学系统伊斯科-光学股份公司;沃尔夫冈·赖内克工程博士光学开发事务所
申请日： 2001-01-16 - 公布日： 2003-02-05 - 主分类号： G02B9/64 文献下载
摘要：本发明涉及一种投影物镜，该物镜至少包括7个其两侧均与空气邻接的透镜。该投影物镜总体满足以下条件等式u≥12.8°、100mm≤LEP≤400mm、σRBa≥1°、σRBi≤－14°，此处u为光入射一侧的孔径角(2u－总角)；LEP为进入光圈(光入射一侧)至物平面(从参考点沿投影方向的位置对应于正值的的物镜平面)的距离；σRBa为光束相对于物与物镜的第一透镜表面之间的物空间光轴所呈的倾斜角，该物镜将场边缘的束(在物中的外场点)限制成朝外(离开光轴，远离光轴)而σRBi为光束相对于物与物镜的第一透镜表面之间的物空间光轴所呈的倾斜角，该物镜将场边缘的束(在物中的外场点)限制成朝内(朝向光轴，接近光轴)。当对应光束与光轴在以下点相交时，即从物方向观察时所述点位于投影的相反方向，角度σRBa和σRBi为正。当对应光束与光轴在以下点相交时，即从物方向观察时所述点位于投影方向，所述角度为负。
投影物镜

[发明专利]一种基于补偿镜的中波红外搜索跟踪镜头-CN201810196319.4有效
发明人：李刚;高昕;刘波;李传刚 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所;中国科学院大学
申请日： 2018-03-09 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： G02B13/18 文献下载
摘要：其基本结构包括第一物镜、第二物镜、补偿镜、第一投影物镜、第二投影物镜、第三投影物镜、第四投影物镜和第五投影物镜；探测目标的光辐射被第一物镜、第二物镜和补偿镜汇聚在一次像面上，再由第一投影镜、第二投影物镜、第三投影物镜、第四投影物镜和第五投影物镜成像在外部红外热像仪的光敏面上，同时需要满足入瞳成像到外部自冷式探测器冷屏位置上。
一种基于补偿中波红外搜索跟踪镜头

[实用新型]一种基于补偿镜的中波红外搜索跟踪镜头-CN201820324965.X有效
发明人：李刚;高昕;刘波;李传刚 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所;中国科学院大学
申请日： 2018-03-09 - 公布日： 2018-10-26 - 主分类号： G02B13/18 文献下载
摘要：其基本结构包括第一物镜、第二物镜、补偿镜、第一投影物镜、第二投影物镜、第三投影物镜、第四投影物镜和第五投影物镜；探测目标的光辐射被第一物镜、第二物镜和补偿镜汇聚在一次像面上，再由第一投影镜、第二投影物镜、第三投影物镜、第四投影物镜和第五投影物镜成像在外部红外热像仪的光敏面上，同时需要满足入瞳成像到外部自冷式探测器冷屏位置上。
投影物镜补偿镜物镜镜头红外搜索跟踪成像本实用新型光辐射成像品质光学设备光学系统红外热像探测目标投影镜自冷式外部探测器光敏冷屏入瞳汇聚

[发明专利]一种双镜头组合投影式光固化生物3D打印装置-CN202310391503.5在审
发明人：贺永;乔天鸿;高岩;傅建中;高庆 -专利权人：浙江大学
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： B29C64/129 文献下载
摘要：本发明公开了一种双镜头组合投影式光固化生物3D打印装置，包括机架以及打印平台及驱动组件、料槽、光学系统和激光光源装置，所述光学系统包括：放大倍率不同的投影物镜Ⅰ和投影物镜Ⅱ；用于切换投影物镜Ⅰ和投影物镜Ⅱ之一作为工作物镜的物镜转换器，该物镜转换器同时实现投影物镜Ⅰ和投影物镜Ⅱ的安装；固定在物镜转换器底部与所述工作物镜对正的套管透镜。本发明双镜头组合投影式光固化生物3D打印装置采用准直激光作为光源，避免了冗杂的透镜系统，且采用套管透镜配合投影物镜的设计，有良好的成像效果，并且可以利用物镜转换器上投影物镜的切换，灵活有效地控制打印的精度和幅面大小
一种镜头组合投影光固化生物打印装置

[发明专利]一种投影物镜倍率调整系统和方法-CN201410830267.3在审
发明人：郭银章;汪明天 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2014-12-29 - 公布日： 2016-07-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提出一种投影物镜倍率调整系统，用于光刻设备，所述光刻设备包括掩模、投影物镜以及工件台，其特征在于，所述投影物镜光学系统中还包括一气体密封腔，通过调整所述气体密封腔中混合气体的配比来调整所述混合气体的折射率，从而调整所述投影物镜的倍率；所述气体密封腔位于所述投影物镜光学系统中气体折射率改变对倍率灵敏度高且对成像质量影响较小的光学镜片之间。本发明的投影物镜倍率调整系统和方法使机械结构更加简单，从而提高了整个投影物镜机械结构的稳定性和可靠性。同时，可以补偿投影光刻物镜在曝光过程中的热效应、投影光刻物镜在不同海拔环境下、以及投影光刻物镜使用环境的温度和压力等变化导致的投影光刻物镜倍率改变，还有实际工艺情况需要投影物镜提供倍率调整能力，从而补偿投影物镜的倍率漂移引起严重的套刻误差
一种投影物镜倍率调整系统方法

[发明专利]一种温度控制方法、装置及电子设备-CN202210201055.3有效
发明人：杜旭;高建利;高繁星;刘德;卢金剑 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-03-03 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G05D23/20 文献下载
摘要：本申请提供了一种温度控制方法、装置及电子设备，其中，该方法包括：获取当前采样时刻的真实投影物镜温度和预置投影物镜温度，计算当前采样时刻的真实投影物镜温度与预置投影物镜温度的第一投影物镜温度偏差的绝对值；确定第一投影物镜温度偏差的绝对值对应的当前温差范围；根据当前温差范围确定对应的目标调节值，将循环水对应的温度调节设备调节到目标调节值；确定调节后的真实投影物镜温度是否属于目标温度范围；若调节后的真实投影物镜温度不属于目标温度范围，则跳转到获取当前采样时刻的真实投影物镜温度和预置投影物镜温度继续执行。
一种温度控制方法装置电子设备

[发明专利]侦测光刻机中投影物镜异常的方法-CN202111422202.1在审
发明人：王磊;王彩虹 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2021-11-26 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种侦测光刻机中投影物镜异常的方法，所述光刻机包括投影物镜及运动机构，所述运动机构用于驱动所述投影物镜运动，所述投影物镜包括多个镜组，包括：所述投影物镜处于设定工作环境中，所述运动机构驱动所述投影物镜移动至标定位置，获取所述投影物镜中的每个所述镜组的第一位置信息；以及，所述运动机构驱动所述投影物镜移动，并获取所述投影物镜中的每个所述镜组的第二位置信息，并判断每个所述镜组的第二位置信息与对应的第一位置信息的偏差是否在设定范围内，当不在时，判定所述投影物镜异常；本发明能够实现快速侦测光刻机中投影物镜的异常。
侦测光刻投影物镜异常方法

[实用新型]大屏幕红外监控投影物镜-CN200820071126.8有效
发明人：王海湘;马永珍;王天洲 -专利权人：利达光电股份有限公司
申请日： 2008-06-20 - 公布日： 2009-04-22 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种大屏幕红外监控投影物镜，它包括该物镜包括设置在同一光轴上的投影物镜以及垂直于投影物镜并与其光轴呈90°布置的红外监控物镜，其中，投影物镜是由投影镜筒、投影调焦手轮、固定透镜组、分光棱镜和移动透镜组组成，红外监控物镜装在投影镜筒一侧与分光棱镜对应的部位，是由监控镜筒、监控透镜组、监控调焦手轮、滤光镜和CMOS芯片组成。该物镜安装调整简捷，能够精确地实现投影与红外监控光轴的重合，保证投影物镜与红外监控物镜像素重合一致，同时具有高分辨率、高亮度、图像失真小、亮度均匀、显示清晰、工艺性好、适合大批量生产等优点。
大屏幕红外监控投影物镜

[发明专利]一种投影物镜-CN201610608624.0有效
发明人：卢丽荣 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2016-07-29 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本发明提供一种投影物镜，所述投影物镜至少由23片透镜组成，所述投影物镜从物面到像面依次包括：第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组，所述投影物镜的有效焦距f1与所述投影物镜的物面至像面的距离L满足0.1<|L/f1|<0.75，所述投影物镜的物方远心角度θ满足5mrad<θ<7mrad。本发明提供的投影物镜至少由23片透镜组成，通过所述投影物镜的有效焦距f1与所述投影物镜的物面至像面的距离L满足0.1<|L/f1|<0.75以及所述投影物镜的物方远心角度为5mrad<θ<7mrad，既可降低本系统对于镜面上由于加工产生的不平整度的敏感度，又提高物面对畸变的灵敏度，从而具有独立调整畸变的功能，从而提高像质的补偿效果，在提高像质的同时所述投影物镜减少了透镜的数量，从而降低了投影物镜使用透镜的成本。
投影物镜透镜组物面透镜透镜组成物方远心有效焦距畸变像质镜面补偿效果不平整度独立调整灵敏度敏感度像面加工

[发明专利]曝光装置-CN201510268841.5有效
发明人：孙晶露;周剑 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2015-05-24 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种曝光装置，包括：沿光路传播方向依次设置的光源、照明模块、掩模台、投影物镜模块、成像位置调整模块和工件台，所述成像位置调整模块包括多组独立设置的调整单元，所述多组调整单元的拼接方式与投影物镜模块中投影物镜的拼接方式相同该成像位置调整模块通过对投影物镜模块所成的像进行平移、倍率、焦面等性能进行调整，保证了投影物镜模块的成像质量和投影物镜的拼接质量。投影物镜模块中不带有任何成像位置调整元件或调整机构，降低了投影物镜模块的复杂程度。
曝光装置

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