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- [发明专利]一种高分辨率蓝光干涉扫描探头及系统-CN202310880983.1在审
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马冬林;赵浩宇;徐智谋
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华中科技大学;深圳华中科技大学研究院
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2023-07-18
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2023-10-24
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G01B9/02
- 本发明涉及光学显微扫描领域，具体涉及一种高分辨率蓝光干涉扫描探头及系统。本发明包含激光发射单元、第一传输光纤、光环形器、第二传输光纤、干涉端面、大数值孔径聚焦透镜组，激光发射单元发射波长范围为400nm～500nm的第一方向蓝光，经过第一传输光纤，输入到光环形器的第一输入光口；光环形器的第二双向光口输出后，依次经过第二传输光纤、干涉端面、大数值孔径聚焦透镜组照射到被测物表面；被测物表面反射光沿第二方向经过大数值孔径聚焦透镜组在干涉端面处与第一方向蓝光形成干涉，干涉光信号经过第二传输光纤、光环形器的第三输出光口到达激光接收单元，实现对干涉光信号的光电转换和解析。该发明使用蓝光干涉扫描和相位生成载波技术，具有扫描速度快，横向和法向扫描精度高的特点。主要用于微结构和微纳光学元件测量。
- 一种高分辨率干涉扫描探头系统
- [发明专利]一种镜面MEMS扭转测量系统及方法-CN202310660430.5在审
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陈振凯;陈帅兵;周文静;于瀛洁
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上海大学
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2023-06-06
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2023-10-20
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G01B9/02
- 本发明涉及一种镜面MEMS扭转测量系统及方法，其中系统包括激光器、分光镜、镜面MEMS样本、电压输入装置、平面镜、图像接收系统和计算机；方法包括以下步骤：系统搭建与图像采集：搭建镜面MEMS扭转测量系统和迈克尔逊干涉光路，采集未通电状态及不同输入电压的通电状态下的全息图；傅里叶原位频谱跟踪，更新频谱图；相位相减及制作掩膜，获取各个输入电压下的转动相位变化；MEMS扭转量标定：基于电压与转动相位变化之间的关系，构建输入电压与镜面扭转量标定表，实现MEMS扭转测量。与现有技术相比，本发明具有结构简单、操作性强，可实现镜面物体的全息实时自动化运算等优点。
- 一种mems扭转测量系统方法
- [发明专利]利用电磁场的消色差干涉叠加的干涉方法-CN201880095711.8有效
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约阿希姆·普佩扎;费伦茨·克劳斯;特里萨·布伯尔
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马克思-普朗克科学促进协会
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2018-07-16
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2023-10-17
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G01B9/02015
- 本发明提供了一种用于利用双光束路径干涉仪进行电磁场的消色差干涉叠加的干涉仪装置，该干涉仪装置包括：分束器，该分束器被布置用于将输入光束分束成沿第一干涉仪臂(Al)传播的第一光束和沿第二干涉仪臂(A2)传播的第二光束，第一干涉仪臂包括至少一个偏转镜，第二干涉仪臂包括至少一个偏转镜，其中该第一干涉仪臂和第二干涉仪臂具有相同的光程长度；和合束器，该合束器被布置用于将第一光束和第二光束重新组合成相长输出和相消输出，其中分束器和合束器的反射表面被配置成使得与第二干涉仪臂相比，在第一干涉仪臂中提供光密介质处的一次附加菲涅耳反射，并且当第一光束和第二光束的电磁场的传播由合束器重新组合时，在两个干涉仪臂对相消输出的贡献之间导致与波长无关的相位差π，并且第一干涉仪臂包括被布置用于平衡第一干涉仪臂和第二干涉仪臂中的色散和菲涅耳损失的平衡透射元件。此外，还描述了干涉测量装置和干涉测量方法。
- 利用电磁场色差干涉叠加方法
- [发明专利]一种马赫曾德尔干涉仪工作点监测器-CN202310556929.1在审
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曾成;瞿智成;夏金松
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华中科技大学
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2023-05-17
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2023-10-10
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G01B9/02055
- 本发明公开了一种马赫曾德尔干涉仪工作点监测器，属于集成光器件技术领域，监测器自下而上依次包括：埋氧层、铌酸锂平板区域及器件区；所述器件区包括马赫曾德尔干涉仪及两个监测光栅；所述马赫曾德尔干涉仪包括波导、光分束结构和1×2型多模干涉器；所述光分束结构的两个输出端与所述1×2型多模干涉器的两个输入端之间分别通过所述波导连接，所述光分束结构的输入端和所述1×2型多模干涉器的输出端分别连有所述波导；所述两个监测光栅分别位于所述1×2型多模干涉器输出端所连波导的两侧。本发明的工作点监测器具有较大的工艺容差和光学带宽，不影响马赫曾德尔干涉仪本身的输出，同时能够实现片上集成。
- 一种马赫曾德尔干涉仪工作监测器
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